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    テカンはインターフェックスへ出展します!

    PR医薬品・化粧品の研究・製造に関わる製品・技術・サービスが出展する最大級…

    インターフェックスWeek 2024 ファーマラボEXPO 出展 日程:2024年6月26日(水)~28日(金)10:00~17:00 場所:東京ビッグサイト https://www.interphex.jp/tokyo/ja-jp.html ファーマラボEXPOのラボオートメーションゾーンへ出展します。 以下の製品を紹介いたしますので、ぜひお越しください。 ・自動分注機Fluen...

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    メーカー・取り扱い企業: テカンジャパン株式会社

  • 【分析事例】めっき試料の脱ガス評価 製品画像

    【分析事例】めっき試料の脱ガス評価

    Ni/Auめっきの昇温脱離ガス分析(TDS)

    めっき膜にガスが含有されている場合、はがれや膨れ、膜中の気泡など不良の原因となる場合があります。めっき膜に含有されているガスについて調査するには、高真空中で試料を昇温させて脱離したガスを測定できるTDSが有効です。 SUS部材上にNi/Auめっきを施した試料について、TDS分析を行った結果を示します。めっき膜からH2, HCN, H2S, HClの脱離が確認できました。また、定量値の算出を行いま...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】プラズマ処理によるぬれ性変化の原因調査 製品画像

    【分析事例】プラズマ処理によるぬれ性変化の原因調査

    TOF-SIMSによる高分子・樹脂・フィルムの表面改質層の最表面の評価…

    細胞培養シャーレの表面では、細胞の密着性(接着性)を高めるために、疎水性のプラスチック表面を親水性に変える処理が行われています。今回、親水処理を行ったシャーレの表面についてXPS,TOF-SIMSで評価した結果、OH,CHOが増加していることがわかりました。XPSで定量的な評価を行い、TOF-SIMSで定性的な評価を行うことで、表面がどのように変化したかを捉えることが可能です。 ...詳しいデー...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】フラックスの洗浄残渣評価 製品画像

    【分析事例】フラックスの洗浄残渣評価

    微小・極薄の残渣をイメージとして捉えます

    近年のPbフリーハンダ導入に伴い、フラックス成分も改良(活性度が高い、熱耐性がある等)が進み、腐食性が大きくなり、残渣の問題も重要度を増しています。そのため、フラックスを除去することが求められています。プリント基板電極部の異物について、TOF-SIMSを用いた分析を行った結果、フラックスの成分が検出されました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】リチウムイオン二次電池 セパレータの評価 製品画像

    【分析事例】リチウムイオン二次電池 セパレータの評価

    サンプルを冷却しセパレータの形状をより正確に評価

    電池の主要構成材料であるセパレータは、この材料の多孔性・形状等が電池の特性・安全性を左右します。現在主流のポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、あるいはその複合材料等高分子系材料は軟化点が低くPEでは125℃程度、PPでは155℃程度となります。軟化点の低いPP製のセパレータ構造観察において、試料の冷却を行って変質を抑えて評価した事例をご紹介します。...詳しくは資料をダウンロード、または...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】消毒前後における不織布マスクの表面形状観察 製品画像

    【分析事例】消毒前後における不織布マスクの表面形状観察

    アルコール消毒前後でマスク表面の形状を比較

    ウイルスによる感染症予防のためマスク使用の頻度があがっています。しかしながらその使用方法や耐性についての根拠となる構造的なデータは乏しい状況です。本資料では、アルコール消毒前後のマスク表面の繊維をSEMで観察した結果を紹介します。アルコール消毒後では、繊維の形状が変化し、また消毒前の特徴的な凸形状が少なくなっていることがわかりました。 測定法: SEM 製品分野:日用品、ウイルス対策関連品 ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】粘着テープの残渣評価 製品画像

    【分析事例】粘着テープの残渣評価

    TOF-SIMSにより表面付着物成分を同定します

    粘着テープの残渣は、製造工程において密着不良・剥離の原因となります。不良の原因として残渣が疑われる場合、表面付着物の成分とその分布を調べることができるTOF-SIMSが有効です。 粘着テープをSiウエハ表面に張り、剥がした後のSiウエハ表面および粘着テープの表面をTOF-SIMSで測定した事例をご紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】ウエットエッチングによる有機付着物除去 製品画像

    【分析事例】ウエットエッチングによる有機付着物除去

    表面汚染を除去してXPSによる評価を行います

    XPSは表面敏感な手法のため、大気等による有機付着物由来のCが主成分レベルで検出されます。こういった有機付着物由来のCの影響を減らすことは、膜本来の組成を評価する上で重要です。 通常、有機付着物の除去にはArイオンスパッタを用いますが、スパッタによるダメージにより膜本来の組成,結合状態が評価できない場合があります。Arイオンスパッタを使用せず、表面酸化層をウェットエッチングを用いて除去することで...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】有機膜材料の配向角評価 製品画像

    【分析事例】有機膜材料の配向角評価

    XAFS:X線吸収微細構造

    配向性有機膜である自己組織化単分子膜(SAM膜)は表面の濡れ性や吸着性といった膜の機能・物性が配向性・配向角によって変化します。 放射光を用いたXAFSでは、ピーク強度のX線入射角依存性を解析することで有機膜材料の配向性・配向角の評価を行うことが可能です。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】HfZrOx膜の結晶構造同定・含有割合の算出 製品画像

    【分析事例】HfZrOx膜の結晶構造同定・含有割合の算出

    XRD・XAFSによる複合解析で、より詳細な評価が可能

    high-k材料や強誘電体として注目されているHfZrOx膜は、結晶構造によって誘電率等の物理的性質が大きく変化することから、結晶構造の同定・各結晶構造の含有割合の算出が重要な評価項目です。 通常XRDやXAFSによって評価可能ですが、一方の手法だけでは詳細な解析が困難な場合でも、これら2つの手法を組み合わせることでより詳細な情報が得られます。今回、XRDとXAFSの複合解析によって、HfZrO...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】エポキシ樹脂の硬化温度・ガラス転移温度調査 製品画像

    【分析事例】エポキシ樹脂の硬化温度・ガラス転移温度調査

    DSC(示差走査熱量)測定による熱物性評価

    二液混合型のエポキシ樹脂について、DSC(示差走査熱量測定法)を用いて硬化温度及び耐熱性の指標となるガラス転移温度(Tg)を調査しました。硬化前の樹脂をDSC測定したところ、約103℃付近から急激な発熱反応が開始するのが確認されました(図1)。これは昇温加熱により樹脂の重合(硬化)が起きたためです。更に、硬化後の樹脂を室温まで空冷した後、再度DSC測定したところ、樹脂のガラス転移に起因するベースラ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】プリント基板からの溶出成分の分析 製品画像

    【分析事例】プリント基板からの溶出成分の分析

    液体試料中の陽イオン成分の分析が可能です

    日常の様々な場所で電子機器が使われるようになり、製品の信頼性確保が重要となっています。 プリント基板は高温・高湿度の環境で、配線に用いられているCuがマイグレーションを起こして不良となることが考えられるため、マイグレーションを助長する成分を評価することが重要です。 本事例ではイオンクロマトグラフィー(IC)を用いて、プリント基板から溶出した陽イオン成分の定量分析を行った事例を紹介します。このよ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】フッ素系潤滑剤・高分子の同定 製品画像

    【分析事例】フッ素系潤滑剤・高分子の同定

    汚染成分を同定し、汚染発生工程を推定

    フッ素系の化合物はさまざまな種類が存在します。汚染原因調査の際、フッ素系の種類の定性を行うことで、原因となった工程を調べることが可能となります。そこで、表面敏感なTOF-SIMSを用いて水はじきのよい場所に何が付着しているか分析を行いました。 各工程で使用しているフッ素系のオイルは、種類によってフラグメントパターンが異なることを利用し、指紋照合を行ったところ、工程Bのオイルに相当する物質が付着し...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】TDSによるSiN膜の昇温脱離ガス分析 製品画像

    【分析事例】TDSによるSiN膜の昇温脱離ガス分析

    薄膜の表面吸着ガス、膜中からの脱離ガスを評価可能

    Si基板上SiN膜に関するTDS分析結果を示します。 100℃近傍までの低温域では脱ガスが少なく、試料の表面に吸着成分が少なかったことが分かります。 一方、試料の温度が上昇するに従い、m/z 2(H2)、m/z 18(H2O)、m/z 27(C2H3:有機物のフラグメント成分)が脱離しているのが分かります。高真空下(1E-7Pa)で分析を行うTDSは膜表面の吸着ガス成分や膜中の微量ガス成分の評...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】部品表面のシミ・水はじきの原因調査 製品画像

    【分析事例】部品表面のシミ・水はじきの原因調査

    切断できない大きな部品でも表面汚染を適切にサンプリングして測定

    Al材表面に水はじきのよいシミがあることがわかりました。そのシミ部をテープに付着(転写)させ、TOFSIMSで分析を行いました。 「シミ部を転写させたテープ表面」からは、「Al材表面のシミ部」と同じフラグメントが検出されており、シミの原因物質がテープに転写されているものと考えられます。このように、原因物質をテープに転写させて採取するこの方法は、切断ができない部品に有効です。...詳しいデータはカ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】有機EL層の定性分析 製品画像

    【分析事例】有機EL層の定性分析

    雰囲気制御下での測定面出し加工により成分の変質を抑制

    有機ELを搭載した市販のデジタルオーディオプレーヤーについて、雰囲気制御下で測定面を出すことで加工による変質を抑えて、成分の定性分析を行いました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】三次元SEMによる活物質体積の数値評価 製品画像

    【分析事例】三次元SEMによる活物質体積の数値評価

    Slice&Viewデータから各物質の体積計算が可能

    Slice&View(FIB加工とSEM観察を繰り返し数十枚の連続画像を得る手法)のデータを用いて、粒子などミクロンオーダーの体積計算を行うことが可能です。これにより、一定体積中の各物質の存在比率や平均体積等の情報を得ることができます。 本事例ではリチウムイオン二次電池正極のSlice&View分析結果から活物質の体積を計算し、存在比率を算出した事例をご紹介します。...詳しいデータはカタログを...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】液晶パネルの異物・汚れ成分の同定・推定 製品画像

    【分析事例】液晶パネルの異物・汚れ成分の同定・推定

    ミクロンからセンチオーダーの異物・汚れをイメージとして捉えます

    液晶パネルの量産化において、欠陥(異物・汚れ)を除去することが求められています。そこで、原因となる異物・汚れが何に起因するか調査することは、歩留まり向上に有効です。 液晶パネルの異物・汚れを評価した事例を紹介します。TOF-SIMSではμm~cmオーダーの洗浄残渣をイメージとして捉えることが可能です。また、標準スペクトルとの比較により、成分の推定が可能です。...詳しいデータはカタログをご覧くだ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】マイクロサンプリング法 製品画像

    【分析事例】マイクロサンプリング法

    FIB:集束イオンビーム加工

    試料から直接小片を取り出し(マイクロサンプリング)、FIB加工を行うことができます。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】SEM装置での歪み評価 製品画像

    【分析事例】SEM装置での歪み評価

    EBSD:電子後方散乱回折法

    TEM(NBD:Nano Beam Diffraction)のような薄片化加工を行うことなく、バルク状態での測定が可能です。 SEM特有の高い空間分解能を持ち、比較的高い歪み感度を持っています。 また、局所的な格子歪みをテンソルデータとして検出できる可能性があります。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】2次元検出器を用いたX線回折測定 製品画像

    【分析事例】2次元検出器を用いたX線回折測定

    XRD:X線回折法

    2次元検出器を用いて測定を行うと、回折角(2θ)に加えてあおり方向(χ)の情報も同時に得られます。観測される2次元回折像は材料の結晶性や配向性などの特徴を可視化することが出来るため、配向性が特性に影響する材料の評価に有効です。...詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】電子回折の種類と特徴 製品画像

    【分析事例】電子回折の種類と特徴

    TEM:透過電子顕微鏡法

    透過電子顕微鏡での電子回折法は、試料への電子線の入射の仕方によって3つに分類されます。それぞれの特徴とデータ例を示します。評価対象物のサイズや分析目的に応じて、適切な手法を選択する必要があります。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • [XPS]X線光電子分光法 製品画像

    [XPS]X線光電子分光法

    試料表面(数nm程度の深さ)の元素の種類、存在量、化学結合状態評価に有…

    XPSは、X線照射により放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面(数nm程度の深さ)に存在する元素の種類・存在量・化学結合状態に関する知見を得る手法です。化学結合状態に関する知見が得られるため、別名ESCA : Electron Spectroscopy for Chemical Analysis とも呼ばれています。 ・固体表面(約2~8nm)の元素の定性・定量が可能 ・化...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • [ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法 製品画像

    [ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法

    導結合プラズマ(ICP)を励起源として用いた無機元素分析の手法です

    ICP-MSは溶液を分析するため、固体分析では作製が難しい標準試料を比較的容易に調製することが可能です。そのため、溶液中の極微量な無機元素を精確に定量する場合に頻繁に用いられています。 ・高感度・低バックグラウンドな測定が可能なため、無機元素分析用装置としては最も低い含有量(ppt*あるいはサブpptレベル)を検出できます。(*:ppt:10-12g/g) ・定量分析の比較基準となる標準試...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • [FT-IR]フーリエ変換赤外分光法 製品画像

    [FT-IR]フーリエ変換赤外分光法

    数十μm角程度の領域の測定が可能

    赤外分光法は、分子の振動による赤外線吸収を測定することで、分子構造の情報を得る手法です。 ・非破壊での測定が可能 ・真空下での測定により、大気成分であるCO2やH2Oの影響を除去することが可能 ・顕微測定により、数十μm角程度の領域の測定が可能 ・透過法、反射法、ATR法などを用いることで、様々な形状や状態の試料を測定することが可能...■赤外分光法 最もよく利用されるのは、中赤外の...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • [XAFS]X線吸収微細構造 製品画像

    [XAFS]X線吸収微細構造

    XAFSは、物質にX線を照射することで得られる吸収スペクトルを解析する…

    ・試料中の着目元素周囲の局所構造(原子間距離、配位数)や化学状態(価数、配位構造)の評価が可能 ・環境(高温・高圧・雰囲気)を問わず、測定が可能 ・様々な試料形態(固体・液体・気体、薄膜、非晶質物質など)の測定が可能 ・適用可能な濃度範囲が広い(主成分元素から微量元素まで) ・非破壊測定 ・測定方法によっては、バルクだけでなく、表面敏感な測定も可能 ...物質にX線を照射するこ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • [SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法 製品画像

    [SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法

    ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能

    SSRMは、バイアスが印加された試料の表面を導電性探針で走査し、抵抗値の分布を二次元的に計測することで探針直下の広がり抵抗を可視化する手法です。 シリコン半導体素子を計測した場合、空間分解能に依存しますが、キャリア濃度1016個/cm3以上に感度があります。 ・ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能 ・半導体のドーパント濃度分布計測に有効 ・半導体の極性(p型/n型)の判定は不可 ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • [XRR]X線反射率法 製品画像

    [XRR]X線反射率法

    XRR:X-ray Reflectivity

    XRRは、X線を試料表面に極浅い角度で入射させ、その反射強度を測定します。この測定で得られた反射X線強度プロファイルをシミュレーション結果と比較し、シミュレーションパラメータを最適化することによって、試料の膜厚・密度を決定する手法です。 ・膜厚の評価が可能 (2~300nm 程度) ・密度の評価が可能 ・表面粗さの評価が可能(Rms = 5nm 以下) ・非破壊で分析が可能 ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • PV(太陽電池)各種評価事例集 製品画像

    PV(太陽電池)各種評価事例集

    太陽電池(PV)の組成評価や同定・膜圧評価・形状評価・結晶構造評価など…

    PV EXPO2013(国際太陽電池展)展示会にご来場いただけなかった方、MSTブースにお立ち寄りいただけなかった方、もう一度MSTの展示会資料をご覧になりたい方、ぜひご覧ください。 太陽電池の研究・開発・製造に必要な部品・材料、装置、セル・モジュールが一堂に出展する展示会『PV EXPO 2013』で使用したパネル資料全6枚のご紹介です。 [掲載内容] 有機薄膜太陽電池の活性層の...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • [TG-DTA/TG-DTA-MS]示差熱天秤-質量分析法 製品画像

    [TG-DTA/TG-DTA-MS]示差熱天秤-質量分析法

    サンプルを加熱することによって生じる重量変化・示差熱・熱量および揮発成…

    TG-DTAは、加熱によって生じる重量変化(TG)、吸熱・発熱の熱挙動(DTA)を同時に評価します。 またTG-DTA-MSはTG, DTAの評価に加え、揮発成分の評価(MS)を連続して行います。 ・TGにより、%オーダーの重量変化を捉えることが可能 ・DTAにより、熱分解・融解・昇華・酸化・燃焼・相転移等の反応の知見を得ることが可能 ・MSにより、揮発成分や分解物の構造推定が可能 ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • サンプルの送り方 製品画像

    サンプルの送り方

    分析を行うサンプルをMSTにお送りいただく際の送り方をまとめました。

    ご不明な点はお気軽にお問い合わせください。...◆ウェハ ・元素分析 枚葉ケース・FOSB・チップケースなどでお送りください。 ・有機汚染評価 できれば、同一試料を2枚ご用意いただき、測定面同士を合わせて、アルミホイル艶消し面で、二重に包んでください。 ◆微小片サンプル ピンセットでの取り扱いに注意を要する微小片サンプルはサンプルを外側から確認できる透明なチャック袋などでお送り...

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  • [XRD]X線回折法 製品画像

    [XRD]X線回折法

    XRDは、回折パターンから試料の結晶構造情報を得る手法です。

    ・結晶性物質の同定が可能 ・結晶子サイズの評価 (数nm~100nm)が可能 ・結晶化度の評価が可能 ・配向性の評価が可能 ・歪み量・応力の評価が可能 ・非破壊で分析が可能 保有装置の特徴 ・室温~1100℃までの加熱分析が可能 ・ビーム径100μmまでの微小部測定が可能 ・N2、He、Ar、真空での雰囲気制御が可能 ...XRDの評価対象である『結晶』とは、物質を構成する...

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  • [GDMS]グロー放電質量分析法 製品画像

    [GDMS]グロー放電質量分析法

    特定の質量イオンを解離・フラグメント化させ、質量分析計で検出

    GDMSは固体試料の組成について、主成分から微量成分まで同時に分析し、試料内に存在する不純物の半定量分析を行う手法です。濃度換算には装置付随の相対感度係数(RSF)を使用します。分析値は主成分元素と目的元素のイオン強度と、RSFから算出した値であり、半定量値です。 ・微量元素(ppbレベル)から主成分レベルまでのバルク分析が可能 ・μmオーダーの深さ方向分析、薄膜分析が可能 ・導電性材料...

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  • [SCM][SNDM] 製品画像

    [SCM][SNDM]

    キャリア分布を二次元的に可視化

    SCM/SNDMは、導電性の探針を用いて半導体表面を走査し、キャリア分布を二次元的に可視化する手 法です。 ・SCM:1015~1020cm-3, SNDM:1014~1020cm-3程度のキャリア濃度に感度がある ・半導体の極性(p型/n型)の識別が可能 ・キャリア濃度に相関した信号が得られるが、定量評価は不可 ・AFM像の取得も可能...■電気容量変化によるキャリア分布の可視化 ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法 製品画像

    [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法

    試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であるこ…

    試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です。 スパッタイオン源を用いて、深さ方向に無機・有機物の分布分析が可能です。 ・有機・無機化合物の構造解析・同定が可能 ・異物検査装置の座標データとリンケージが可能 ・ミクロンオーダーの微小異物から数cmまでの定性が可能 ・最表面を感度よく分析することが可能 ・イメ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • [Slice&View]三次元SEM観察法 製品画像

    [Slice&View]三次元SEM観察法

    FIBでの断面出し加工とSEMによる観察を細かく繰り返し、取得した像を…

    FIB付き高分解能SEM装置を用い、FIBでの断面出し加工(Slice)とSEMによる観察(View)を細かく繰り返し、取得した像を再構築することで立体的な構造情報を得ることができます。また、SIM(Scanning Ion Microscope)像についても同様にSlice & Viewが可能です。 ・二次電子(Secondary Electron;SE)像、反射電子(BackScatte...

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  • ご依頼からの流れ 製品画像

    ご依頼からの流れ

    ご依頼から納品までの流れをまとめました。

    まずはお気軽にお問い合わせください!...◆お問い合わせ まずはお問い合わせください。 info@mst.or.jp または 電話03-3749-2525まで、お気軽にどうぞ。 ↓ ◆お打ち合わせ・お見積もり MST営業担当があなたの元へお伺いして打ち合わせ後、お見積書を発行します。 ↓ ◆サンプル受け渡し 分析する材料・製品は、お打ち合わせ時に直接お預かり可能です...

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    [SRA]広がり抵抗測定法

    SRA:Spreading Resistance Analysis

    SRAは測定試料を斜め研磨し、その研磨面に2探針を接触させ、広がり抵抗を測定する手法です。 SRP(Spreading Resistance Profiling)とも呼ばれます。 ・ 導電型(p型/n型)の判定が可能 ・ 深さ方向のキャリア濃度分布の評価が可能 ・ 濃度約1E12~2E20 /cm3の広範囲のキャリア濃度の分析が可能 ・ 約20μm×100μm以上の大きさのパターン試...

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  • [SIM]走査イオン顕微鏡法 製品画像

    [SIM]走査イオン顕微鏡法

    高分解能(加速電圧30kV:4nm)でのSIM像観察が可能

    ・高分解能(加速電圧30kV:4nm)でのSIM像観察が可能 ・SEM像に比べてSIM像の方が極表面層の情報が得られる ・金属結晶粒観察が可能(Al, Cu等) ・分解能はSEM像より劣る(SIM:4nm, SEM:0.5nm) ■MST所有装置の特徴 ・試料サイズ最大直径300mmφのJEIDA規格ウエハ対応が可能 ・FIB(集束イオンビーム)加工との組み合わせで連続的な断面SI...

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  • [SIMS]二次イオン質量分析法 製品画像

    [SIMS]二次イオン質量分析法

    二次イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含ま…

    イオンを試料表面に入射させると、試料表面からは電子・中性粒子・イオンなど様々な粒子が放出されます。SIMSは、これらの粒子のうちイオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行う手法です。 ・高感度(ppb~ppm) ・HからUまでの全元素の分析が可能 ・検出濃度範囲が広い(主成分元素から極微量不純物まで) ・標準試料を用いて定量分析が可能 ...

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  • [ED]電子回折法 製品画像

    [ED]電子回折法

    EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を…

    EDは、電子線を試料に照射することで得られた回折パターンから結晶構造を調べる手法です。 ・物質の結晶学的情報が得られます。 透過電子顕微鏡の場合、単結晶では規則正しく並んだ回折斑点(スポット)、多結晶では同心円状の円環、非晶質ではブロードな円環状の電子回折図形となります。 ・透過電子顕微鏡で観察される微小領域の結晶構造を調べることができます。 ・結晶構造とEDX法での元素分析結果とを組...

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  • 白色干渉計測法 製品画像

    白色干渉計測法

    非接触・非破壊で3次元測定可能

    白色干渉計測法は、高輝度白色光源を用いて試料表面を「広視野・高垂直分解能・広ダイナミックレンジ」で非接触(非破壊)三次元測定が可能な装置です。 ・高輝度白色光源を用いた表面形状測定装置 ・非接触・非破壊で三次元測定が可能 ・広い視野(50μm×70μm ~ 5mm× 7mm) ・高垂直分解能(0.1nm) ・広いダイナミックレンジ(<150μm)...走査型白色干渉計は高輝度白色光源...

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  • 走査型マイクロ波顕微鏡法_SMM 製品画像

    走査型マイクロ波顕微鏡法_SMM

    Scanning Microwave Microscopy

    SMM は、導電性プローブを用いて計測試料を走査し、その凹凸形状を観察します。同時に、マイクロ波を探針から試料に照射して、その反射応答を計測することで、特に半導体の場合にはキャリア濃度に相関した信号を得ることができる手法です。SMM 信号の強度はキャリア濃度に線形に相関するため、定量性が高いことが特徴です。 ・Si デバイスの場合、1015~1020cm-3程度のキャリア濃度に感度がある ...

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  • [Raman]ラマン分光法 製品画像

    [Raman]ラマン分光法

    試料の分子構造や結晶構造に関する情報を得る

    Raman(ラマン分光法)は、入射光と分子との相互作用の結果、入射光の振動数が変化するという光散乱現象(ラマン効果)を利用し、分子中の構造についての情報を得る手法です。 ・試料の分子構造や結晶構造に関する情報を得ることが可能 ・レーザー光を用いることにより、FT-IRよりも微小領域の測定に対応可能(ビーム径約1μm)...励起光ν0に対して振動エネルギーに対応する波数νの異なった光が散乱さ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【書籍】エレクトロニクス用セラミックス(No.2059BOD) 製品画像

    【書籍】エレクトロニクス用セラミックス(No.2059BOD)

    【技術専門図書】製造プロセスを省エネ化するには? インフォマティクスを…

    書籍名:エレクトロニクス用セラミックスの開発、評価手法と応用 -------------------------- ★ 誘電、圧電、絶縁、耐熱性等 様々な特性の制御方法を詳解! ★ 最新の製造、開発手法を一挙掲載! ■ 本書のポイント ◆電子デバイス材料用セラミックスの開発と応用事例 ◆セラミックスの加工技術、コーティング技術 ◆新規セラミックスの開発、作製の省エ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社技術情報協会

  • 『マイクロオプトードポートフォリオ』 製品画像

    『マイクロオプトードポートフォリオ』

    多くの異なるアプリケーションに対して費用対効果の高い研究を提供

    Unisense社製『マイクロオプトードポートフォリオ』は、パフォーマンス 向上のため、近赤外色素を用いシグナル/ノイズ比(S/N比)を改善し、より早い 応答時間を実現するため、光ファイバー技術を応用しています。 2ポイントでのキャリブレーションや温度補正は使いやすく、多くの異なる アプリケーションに対して費用対効果の高い研究を提供します。 【マイクロオプトードセンサーの特長】 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社セントラル科学貿易

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