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最先端の電子顕微鏡観察手法を駆使し、医薬分野のお客様のニーズにお応えし…
試料の極表面や断面をナノオーダーで電子顕微鏡観察・分析するには、加工によるダメージや汚染のない試料作製技術が不可欠です。 当社は、これまでに培った試料作製技術により最適な方法で試料加工した上で、極低加速電圧走査電子顕微鏡(ULV-SEM)や収差補正走査透過電子顕微鏡(Cs-STEM)による最先端の観察・分析データをご提供いたします。...極低加速電圧SEM装置と特徴 <装置> ZEISS社製...
メーカー・取り扱い企業: JFEテクノリサーチ株式会社
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【分析事例】酸化ガリウムGa2O3 イオン注入ダメージ層の評価
イオン注入後のアニール条件の違いによる差異を確認
酸化ガリウムGa2O3は、SiCやGaNよりもバンドギャップが広く、優れた物性を有することから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。デバイスの開発には、特性を左右する不純物濃度や結晶性の制御が重要です。本資料では、イオン注入による結晶構造の乱れから生じるダメージ層及び表面粗さの変化を、アニール条件毎に観察した結果を示します。 測定法:TEM・AFM 製品分野...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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