【SDGs対応】高温集塵フィルター『パイロスクリーン』

PR繰り返し使うことで環境負荷削減！金属製の高性能な高温集塵フィルター。

「パイロスクリーン」は、ステンレスまたは、アルミ製の高温集塵フィルターです。 ダストを含んだ気流を強制的に方向転換させるスクリーンを10枚複合することで、90～99%以上の除塵効率を実現しました。 圧力損失が極めて小さい点、材質・構造から高強度な点が大きな特長です。 【パイロスクリーンの特長・メリット】 ■乾性・湿性どちらにも使用可能 　ステンレス製フィルターなので乾・湿どちらにも使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社布引製作所 本社

水素ガス切断サンカッター『HL-1』

｢品質｣｢生産性｣｢作業環境｣｢安全性｣の向上が図れる、水素ガス切断！

既存の切断用ガスにご不満のある方は、是非ご検討下さい。 【特長】 ■切断速度の向上 ■開先切断におけるノッチ不良の低減 ■余熱時間の大幅短縮 ■短時間切断による熱ひずみの低減 ■高温作業環境の改善 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 大陽日酸株式会社

凝固装置『シルクホープII』

高温豆乳のにがり100%寄せ！

『シルクホープII』は、 にがり0～100％に対応している絹ごし豆腐凝固 装置です。 均一な撹拌寄せを実現しました。 豆乳の高さにより羽の段数をチェンジできるため、より多品種アイテムへの 対応を可能にしています。 ワンタッチ方式を採用しているから取外しが自由なため、清掃時もラクラク 行えます。 【特長】 ■にがり0～100％に対応 ■均一な撹拌寄せ ■羽の段数を自由に変...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社間瀬

反射防止膜『樹脂 高耐熱反射防止膜』

高い耐熱性要求に応えた高耐熱反射防止膜！

【概要】 ■プラスチック基材：ZEONEX E48R、PC S3,000へのARコート品 ■高温試験：105℃x1,000Hr後に於いて ■蒸着膜の外観：クラック無し ■テープ密着性：剥がれ無し ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤光学工業株式会社 光学ハクマク事業部

コロナパワガスバーナ 「Cシリーズ」

オイルバーナに匹敵する輻射熱！耐久性に優れたパワガスバーナ

コロナパワガスバーナ 「Cシリーズ」高温を必要とする燃焼炉に最適です。 イエローフレームで燃焼し輻射熱の発生はオイルバーナに匹敵します。 内部構造はステンレスを使用、ハウジングは鋳鋼で耐久性抜群です。 バーナファン部分は本体から分離...

メーカー・取り扱い企業： コロナ株式会社

研削材

様々なご要望にお応えする！日本を代表する研削材・研磨材メーカー各社の製…

当社では、株式会社レゾナック(旧：昭和電工株式会社)の研削材を 取り扱っております。 超高圧・高温技術、砥粒処理技術を駆使して製造され、各種加工材料の 高度化・多様化・高度な精密加工技術や、生産性向上の要求に応える 超砥粒として需要家のご要望に応えています。 【ラインアップ】 ■研削...

メーカー・取り扱い企業： 東洋研磨材工業株式会社 本社

静電気防止剤　コルコートPS-169 PS-903

高温高湿環境下でも静電気防止効果が持続 プロテクトフィルムやアクリル…

【特徴】 ・コーテイング膜は温度湿度の高い環境においても安定した静電気防止効果を発揮し、耐摩擦性や耐溶剤性も優れています。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...コルコート 高透明　有機-無機ハイブリッド型静電気防止剤...

メーカー・取り扱い企業： 日本化材株式会社

コーネックス手袋シリーズ1

材質がアルミコーティングやコーネックスフェルトなどの製品をご用意！

『コーネックス手袋シリーズ1』は、高温作業において、 優れた耐久性・防災耐熱性を発揮する耐熱手袋です。 サイズは24cmで材質がコーネックス100％の「CGG2」や コーネックスニットの「CGF5(CGM5)」をラインアップ。...

メーカー・取り扱い企業： ニッシン産業株式会社

フッ素ゴム採用歯付きベルト『GTベルト FKシリーズ』

耐熱・耐油環境用途にフッ素ベルト

【用途】 ◎真空薄膜装置　◎製鉄ライン　◎工作機械 ◎高温ロールフィルム装置　　　◎半導体・液晶製造装置 【ラインアップ】 耐熱用：5GT FK、8YU FK 耐油用：5GT FKA ※詳しくはPDF資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パワーテクノ

結束バンド『オートクレーブ対応インシュロック』インシュロック

オートクレーブ滅菌・γ線滅菌に使用可能なインシュロックタイ（結束バンド…

■ オートクレーブ滅菌やγ ガンマ線滅菌に対応するインシュロックタイです。 ■ 高圧・高温・多湿環境下で連続使用しても、タイの伸びや変形が少ないため、長期間緩みなくしっかりと結束を維持することができます。...

メーカー・取り扱い企業： ヘラマンタイトン株式会社

【分析事例】熱分解GC/MSによるスマートフォン封止剤の分析

2段階の加熱によりUV硬化系素材の分析が可能

封止剤の素材解析を行いました。低温(250℃)で試料を加熱し、発生したガス成分をGC/MS測定することにより、残存モノマーや低分子添加剤（重合開始剤、酸化防止剤）を検出することができます。引き続いて高温(550℃)で加熱することにより、高分子を分解してその構成成分を推定することができます。これにより封止剤はUV硬化系の素材であることがわかりました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

近赤外線『NIRビートセンサー　ファイバー式』

リアルタイムモニタリングが可能な近赤外線分析装置

＜特長＞ ・高速　　：瞬時に測定 ・非破壊　：サンプルへのダメージなし ・非接触　：コンベア、ガラス越しに動き続けるサンプルも測定可能 ・安全　　：危険な薬品は必要なし ・耐性　　：高温、低温、酸、アルカリ、真空環境でも対応可能、 　　　　　　防水構造（IP64）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パウレック

金属検知機『お見通し』シリーズ

従来の金属検知機が苦手とする漬物・スープなどの高塩分濃度の食品、パック…

一般の包装材やアルミ蒸着包装材はもちろん、従来の金属検知機の原理では不可能なレトルトパウチやアルミ鍋などのアルミ箔包装でパックされた食品中の鉄やステンレス片を見逃しません。 弊社製品の磁界型金検は製品影響を受けにくいので、商品登録という概念がありません。様々な製品が同一感度で簡単に検査できます。 ...【特徴】 ○ユニークな検出原理 ○優れた操作性 ○作業の安全性 ●その他の機能や...

メーカー・取り扱い企業： トック・エンジニアリング株式会社

乳幼児用遊具 ロケット『PG33-SS001』

よりたくさんの遊びに出会えるよう遊具の大きさや遊び方にこだわりました！

本体はスチールとなっており、 製品サイズはL1,100×W1,100×H1,190です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■本体：スチール ■仕上げ：合成樹脂高温焼付塗装 ■製品サイズ：L1,100×W1,100×H1,190 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： タカオ株式会社

フューエルインジェクター試験装置

本装置は、フューエルインジェクターの各種性能、耐久性を試験検査するため…

目的に応じ性能試験装置（噴霧流量、噴霧角度、安定性、制御性の測定) 作動耐久試験装置(耐久性能の確認)、高温、低温作動耐久試験装置をご提供致します。 ■□■特徴■□■ 　 ●パルス周期、パルス幅、駆動電圧、作動回数、燃料温度など測定条件を設定し、 　試験を実施します。 ●ガソリンを扱うこ...

メーカー・取り扱い企業： 東レエンジニアリング中部株式会社

静止表面用L型センサ『SK-S303K』

センサーケーブル延長など、特注対応が可能！精度がクラス2の製品

『SK-S303K』は、中・高温用の静止表面用L型センサです。 校正対応、コードが約1.1m付。 測定範囲は、0～800℃、精度がクラス2。 ご用命の際は、当社へお気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■精...

メーカー・取り扱い企業： ニッシン産業株式会社

フッ素コーティングの耐熱温度は？種類で異なる耐熱性まで解説

フッ素樹脂コーティングの耐熱性について解説します。

■フッ素樹脂（PTFE）が耐熱性/耐寒性に優れる理由 PTFEの分子構造はC-C結合のまわりをフッ素原子（F）が隙間なく取り囲んだ 構造になっています。 C-C結合やC-F結合が、高温下において結合が切れること＝「PTFEの劣化」の 一つです。 C-C結合が、フッ素原子（F）に覆われ守られていることで結合が切れにくい こと。PTFE分子内のC-F結合力は他の原子間結合力に比べて非...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉田ＳＫＴ

食品機械用グリース封入ベアリング／南海精工所(SMT)

食品に偶発的に接触する可能性がある箇所に使用できる潤滑剤の規格NSF …

じたグリースの封入を短納期・1個からの 小ロットで対応いたします。 【特長】 ■NSF H1認証グリースを封入 ■HACCP対応 ■短納期・1個からの小ロットで対応 ■100℃以上の高温環境になる場合も対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 大喜産業株式会社

マグネットギヤーポンプ　シリーズ180/120/200/101

自吸式真空724mmHg・パルスレス（脈動がほとんどない）

○パルスレス（脈動がほとんどない） ○真空中からの液吸引 ○液循環用 ○安全増防爆、耐圧防爆、エアーモーター式可能（特注品） ○シールレス…マグネットドライブ ○定量吐出 ○低温から高温 ○ポンプヘッドの耐圧 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社中央理化 本社

計測の現場でも使用されている耐久性の高いアルミQRコードプレート

通常のアルミ製QRコードプレートの耐久性の低さを解決します！メタルフォ…

機関関連業界と、幅広い分野でその効果を発揮しています。 メタルフォトQRコードプレートの特長 ■サファイアガラスと同程度の表面硬度 ■耐用年数２５年使用可能な耐久力 ■屋外の暴露にも耐性 ■耐食や耐高温、耐冷温など様々な環境に対応 無償サンプルもご用意しておりますのでご検討くださいませ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社富山プレート

蒸気式ビン冷却水槽

オプションで自動温度制御仕様も製作可能！コンテナ（3個）ごとビンを入れ…

蒸気式ビン冷却水槽では、蒸気で低温水にし、高温の 製品を徐々に冷やしていくことができます。 コンテナ（3個）ごとビンを入れられ、レールにより 投入・取出し作業がスムーズに行えます。 また、オプションで自動温度制御仕様も製作いたし...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社南信テック

材料評価サービス　FPC・MPI・PTFE（フレキシブル基板）

高周波用途をはじめ、様々な特性をもったフレキシブルプリント配線板の設計…

・基材のCCL化（高温プレス保有） ・シュミレーション設計～作製（MSAP可能） ・テストサンプルの評価測定～レポート提出...

メーカー・取り扱い企業： 太洋テクノレックス株式会社 本社　和歌山

搬送機器『冷却ネットコンベヤ』

5,000～10,000枚以上の処理能力！油アゲを冷却するためのコンベ…

『冷却ネットコンベヤ』は、排出された高温の油アゲを包装するために 冷却するコンベヤです。 油揚げ製造のフライヤーが両サイドにならんでおり、自動的に排出されます。 尚、冷却するにあたり、あまり短時間に冷却すると風味が落ちるので...

メーカー・取り扱い企業： 平和ハーティ株式会社

日本レオナード商会　スチームインジェクションヒーター

タンク内昇温中における騒音も振動も解消

【特徴】 ○騒音振動が著しく小さいため、タンクや配管等の損傷が小さくなります ○低温から高温まで、昇温能力は広範囲をカバーします ○蒸気供給量をゼロまで絞り込んでもハンマリングが起こりません ●その他の機能や詳細については、カタログをダウンロードしてください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レオナード商会

直視式液面計(ガラス式液面計)

日本初のレベルゲージメーカの長年の経験・実績に培われた技術で、漏洩・白…

特殊ガラス窓を通して、液位を直視して確認します。 低温低圧から高温高圧、あらゆる産業分野に対応します。 チューブラ式・反射式・透視式液面計は現場での液位監視に、 二色式液面計はカメラでの遠隔監視にも対応します。 高品質なマイカが腐食を防ぎます。 高圧ガス認...

メーカー・取り扱い企業： BBKテクノロジーズ株式会社 ​計装部門

冬虫夏草（サナギタケ）子実体粉末

コルジピン含有量を規格化

G 外装 段ボールケース 内装 内々装：ポリエチレン袋 内装：アルミ袋　（アルミ袋に脱酸素剤入り） 原料原産国：台湾 賞味期限：製造後24ケ月（未開封） 保存方法 ：高温多湿、直射日光を避け、冷暗所にて常温で保管してください。 性状 ：黄褐色粉末、特有の風味を有する 粒度 ：≦40メッシュ 水分：≦5.0％ ...

メーカー・取り扱い企業： 大榮バイオテクノロジー株式会社

ココアパウダー『RICH TERRACOTTA』

オランダdeZaan社ブランド脂肪分20~22%のココアパウダーです!

【製品規格】 荷姿：5kg×4/ケース段ボール 賞味期限：製造日より730日 保存方法：高温多湿を避け冷暗所に保存して下さい。 原産国：オランダ 最終製品への表示例：ココアパウダー （実際の表示方法につきましては、所轄の公的機関等へお問い合わせください。）...

メーカー・取り扱い企業： サンアイ化学工業株式会社

食品添加物製剤『レモン風味パウダー』

レモンの色・酸味・香りを手軽に付与できるパウダーです！

様々なデザートの風味付け、エスニック料理の酸味出し等レモン果汁の代わりとしてご使用頂けます。 【製品規格】 荷姿：1kg×10/ケース段ボール 賞味期限：365日 保存方法；直射日光、高温多湿を避けて常温で保存してください。...

メーカー・取り扱い企業： サンアイ化学工業株式会社

高圧食器洗浄機　K-2R

弁当箱や皿、丼などあらゆる形状の食器洗浄が可能です

【特徴】 〇全長1m40cmの超小型 〇揚程22m強力な洗浄力がガンコな汚れも確実に対応 〇い80℃ の高温洗浄のため、油汚れもよく落ち、しかも除菌効果もバツグンです 〇弁当箱や皿、丼などあらゆる形状の食器洗浄が可能です 〇洗浄物の大きさ・汚れ具合・処理能力・スペース等、貴厨房にあわせて洗浄装置設計・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社KyoDo

フジロイ　ファインセラミックス

アルミナ系、ジルコニア系、窒化珪素など小ロットから製作対応！フジロイ　…

超硬合金で培った粉末冶金技術を生かしたセラミックスです。 耐食性の改善・高温特性の向上・絶縁性の改善等で お悩みの方は、ぜひご相談ください！ アルミナ系、ジルコニア系、窒化珪素など小ロットから製作いたします。 素材・加工品ともに対応が可能です。 最終製品例として、自動車...

メーカー・取り扱い企業： 冨士ダイス株式会社

環境装置のご紹介【滅菌ガス・EOG無害化／VOC酸化分解／脱臭】

国内外豊富な実績で！高い分解率と省エネルギー性を両立！お客様に最適な環…

式により高い除害効率と省エネ性を両立！ ・熱源は電気式またはガス燃焼式 ・処理量が最小100L/minから設計可能 〇直接燃焼式脱臭装置【CHシリーズ】 VOCや臭気を700～800℃の高温で酸化分解する装置です。 直接燃焼方式により省スペースかつ低コストで完全分解を実現！ 熱交換器により廃熱の有効利用が可能です。 ・直接燃焼による高い分解率（期待値99%） ・熱交換器を標準装...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社正英製作所 本社、東京支店、名古屋営業所、大阪支店、広島支店、九州支店

パイプ用 差し込みキャスター 420EU：ハンマーキャスター

パイプへ差し込み専用スパナを回すだけで脱着が簡単にできる軽荷重用キャス…

『420EU／415EU』はパイプ取付用キャスターです。 パイプへ差し込み専用スパナを回すだけで脱着が簡単にできます。 車輪の種類も多く高温・低温・油床など様々な環境に合ったものを お選び頂けます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

【分析事例】熱分解GC/MSダブルショット法による添加剤の同定

TG-DTAとGC/MSを用いた複合解析

適な温度条件を選んで未知の高分子材料及び含有する揮発性有機化合物をそれぞれ同定することが可能です。市販製品のプラスチック部分の熱分解温度を調べ、熱分解温度以下での緩やかな昇温（熱脱着法）と、その後の高温での瞬間加熱（熱分解法）の2条件でGC/MS測定を連続的に行うこと（ダブルショット法）により、このプラスチックはAS樹脂であり、添加剤として酸化防止剤：IRGANOX 1076が含まれていることがわ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

配管設備用電気ヒーター　イソテープ

フレキシブルなテープ状電気ヒーター（定出力型）

パイプラインや配管系統のバルブポンプ等における凍結、凝固防止プロセス保温、高温度域対応に適した多用途性に富んだテープ状電気ヒーターです。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤガミ 産業電熱システム事業部

定荷重圧縮試験器

ゴム材料に一定の荷重を与えながら高温中で放置し、荷重を除去した後の回復…

○試料直径：29mm ○試料厚さ：12.5～13mm ○参考規格：ASTM D 395 ○機体寸法：Ｗ１０×Ｄ１０×H２３ｃｍ ○質量　　：約７ｋｇ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...○試料直径：29mm ○試料厚さ：12.5～13mm ○参考規格：ASTM D 395 ○機体寸法：Ｗ１０×Ｄ１０×H２３ｃｍ ○質量　　：約７ｋｇ ●詳しく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東洋精機製作所

液体用磁選機 マグネットフィルター『マグ・フィルターP』

バター・味噌・チョコレートなどの高粘度液、果肉入りヨーグルトなどの固形…

・流路が広いので具材を傷めません ・高粘度液、固形を含む液に最適 ・乳製品の分散も抑制できます ・大きく分解できるので、洗浄が容易です。 ・高温仕様も対応可能。CIP洗浄、SIP洗浄もご相談ください。 ・磁力は標準の0.5T、1.0Tから選択できます。(ご相談ください) テスト機があります！ カタログからテスト機の寸法をご確認くだ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイシン

熱設備の脱炭素・低炭素化技術のご紹介【電化・ハイブリッド化】

将来的なエネルギー供給の先行きがつかめない中、ガス燃焼炉をベースとする…

を実現。 □ 電気式キュア炉・加硫炉（熱硬化性樹脂・熱可塑性樹脂の熱処理装置） 　　適した加熱制御・搬送制御をご提案。 【ハイブリッド加熱装置】 □ ハイブリッド式アルミ熱処理炉 　「高温加熱ゾーンをガスバーナー」 　「低温加熱ゾーンを省スペースで環境負荷の低い電気式」 □ ハイブリッド式加熱炉 　「ワーク加熱処理の熱源を電気ヒーター」 　「揮発成分の脱臭処理の熱源をガスバー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社正英製作所 本社、東京支店、名古屋営業所、大阪支店、広島支店、九州支店

パイプアッセンブリ

幅広い接続部形状やパイプ径に対応

仕様において高い技術及び形状要件に適合し、振動吸収や、熱膨張及び組立誤差を吸収するフレキシブルパイプアッセンブリを提案いたします。 - 用途に応じた様々なデザインを提案 - 優れた温度耐性（高温及び低温）/耐食性を実現するための適切な材料選択 - 幅広い接続部形状やパイプ径に対応 - ヘリウムリーク試験を実施 ※詳しくはお気軽にお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： ウイツエンマンジャパン株式会社 本社

高圧バイオリアクター BioXplorer Pシリーズ

BioXplorer P シリーズは、新しいバイオプロセスの発見と最適…

成の変化に対するリアルタイムの応答が可能になります ● プロセス全体を通じて便利なサンプリングを実現する高圧サンプリングシステム ● 常温から 225 ℃ までの温度に対応可能なシステムにより、高温アプリケーション、Steam in Place (SIP) オプション、および通常は専用の化学プロセス開発システムを必要とするダウンストリームプロセスの一部が可能 ● 充実の安全機能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイビック・リサーチ

東浜エアークーラー　AC-60W型

圧縮空気を供給するだけで高温空気を噴射します。

電気やその他、熱源は一切使用しておりません。...【製品の特長】 ○金属加工時のドライ・セミドライ加工及びチップの延長に ○環境対策としてのクーラントオイルを使用しない低温冷却加工に好適です。 ○金属切削加工時のチップ寿命の延長及び防止対策に。 ○ドリル加工時のドリル寿命の改善に。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 東浜商事株式会社

流速・流量計測機器　スリット式流量検出ピトー管

スリット式流量検出ピトー管は、小口径ダクト用のダクト組込型流量センサで…

小ダクトの流量検出用のピトー管です。圧力損失が小さく、高温、高圧の条件下でも使用できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡野製作所

シリコンプラグ　中空タイプ　HSTSシリーズ

中空だから入りやすい！ コスト削減に効果的！

テーパーのついた形状で1つのサイズが数種のポートにフィットするようになっています。特にパウダーコーティングや“E”コーティング仕上げシステム用に特に工夫された形状で、232℃までの極めて高い高温で安全に用いることができます。 当社シリコンプラグの出口径27.00より大きいものは全てこの中空タイプになります。 *耐薬品性に優れたHBESシリーズ（材質 EPDM）もあります。...

メーカー・取り扱い企業： シンクレア・アンド・ラッシュ株式会社

厨房向けオゾン消臭器『OZ-29』

脱臭と殺菌、鮮度保持の一台三役！

『OZ-29』は、厨房向けのオゾン消臭器です。 高温高湿に耐えられる設計の発生体を搭載しているので、 幅広い温度帯の食品保存庫で利用できます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【利用可能な食品保存庫】 ■冷蔵庫 ■冷凍庫...

メーカー・取り扱い企業： 成和サプライ株式会社

【分析事例】プリント基板からの溶出成分の分析

液体試料中の陽イオン成分の分析が可能です

日常の様々な場所で電子機器が使われるようになり、製品の信頼性確保が重要となっています。 プリント基板は高温・高湿度の環境で、配線に用いられているCuがマイグレーションを起こして不良となることが考えられるため、マイグレーションを助長する成分を評価することが重要です。 本事例ではイオンクロマトグラフィー（...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

アングルシートバルブ（Y型弁）BYシリーズ

デッドスペースを嫌う流体に適した、圧力損失の小さいバルブです。

<特長> ●蒸気での耐久性がボールバルブより高い ●流体のスムーズな流れを実現 ●高温・高圧バルブ製造のノウハウによるグランド構造 ●かしめ方式ディスクパッキンにより、安定したシート性能を実現...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

【分析事例】IGZO 薄膜の結晶性・膜密度評価

酸化物半導体のXRD・XRR分析事例

結晶性で大きく特性が変化する材料でもあり、膜質との相関を考慮することが重要です。加熱温度の異なる3種類のIGZO薄膜の結晶性・膜厚・膜密度をXRD・XRRにて測定し、比較を行った事例をご紹介します。高温では結晶化が進み、膜密度が高くなっている様子を非破壊で確認することができました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST