『液体・ペースト充填』『チューブシール』『チューブ刻印』

PR高粘度液体やペースト状製品の充填、アルミやプラスチック及びラミネートチ…

GRISONA MAは、液体及びクリーム状のものを100mlまで正確に充填出来ます。 少量生産、又は研究所での充填作業に好適です。 GRISONAは、高粘度液体やペースト状製品を充填する装置です。 5種類のポンプを選定することにより、0.8～1000mlの充填が可能です。 GRISOTUB MSは、充填されたメタルチューブの開口部を折り込む装置です。 1回のサイクルで2～8本のチューブを折り込...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アキュレックス 本社、大阪営業所

画像処理ビジュアルプログラミングツールFacilea

PRもう画像処理なんて怖くない！ドラッグ＆ドロップと簡単な設定入力で誰でも…

生産性向上を目的に工場の自動化ニーズが高まっている中で、 IoTやAIなどのデジタルテクノロジーの活用が進んでいます。 専門知識が必要とされる検査工程の自動化において、当社が20年以上培ってきた 画像処理技術を応用し、簡単に使うことのできるプログラミングアプリケーションを開発いたしました。 プログラミングスキルがなくてもドラッグ＆ドロップと簡単な設定入力の3ステップで 画像検査システムを構築す...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

組成比勾配のあるSi(1-x)Gex 試料の定量化

2点の問題を解決するために濃度既知の試料を3点以上分析。

歪 Si デバイスに用いられる組成比勾配を持つ Si(1-x)Gex膜の深さ方向に 対するGeの濃度分布を正確に定量するのに SIMS(2 次イオン質量分析法)が 用いられます。 SIMS で Si(1-x)Gex 膜を分析する際に 2 点解決しなければならない問題があり、 1点目はSi に対する Ge の2次イオン強度が組成比の変化に伴い大きく変化 するので、組成比毎の相対感度因子...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

アルミイオン注入深さ分析

検出下限を1E16n/cm3に下げることが出来ました。SIMSによる分…

半導体材料開発には不純物分析が重要ですが、高感度で分析できる二次イオン 質量分析（SIMS）が適しています。 SIMS(アルバックファイ：ADEPT-1010)によって、シリコンへアルミニウムを イオン注入したサンプルを分析した結果を紹介します。 アルミニウムの質量数はシリコンと隣接しているため Q ポール型 SIMS では 測定が困難ですが、測定条件を最適化することによって検出...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

砒素イオン注入深さ分析

SIMSによる、シリコンへ砒素をイオン注入した分析結果を紹介。

当ページでは、SIMS (アルバックファイ：ADEPT-1010)によって、シリコンへ 砒素をイオン注入したサンプルを分析した結果を紹介します。 砒素（75As）はマトリックスであるシリコンと残留ガスである酸素あるいは 水素との複合分子（29Si30Si16O など）が干渉するため、質量分解能が 3190 必要です。 Q ポール型 SIMS では質量分解能が 200 程度しかなく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

SiC 基板へのAl イオン注入深さ分析

SiC基板へアルミニウムをBOX 注入したサンプルを分析した結果を紹介…

SIMS(アルバックファイ：ADEPT-1010)によって、SiC基板へアルミニウムを BOX 注入したサンプルを分析した結果を紹介します。 SiC 基板は絶縁性が高いため、1次イオンビームを試料表面に照射すると 電荷が蓄積するため正確な測定が出来ません。そこで 1次イオンビーム 照射部分に低速電子ビームを同時照射し、電荷の蓄積を抑制することで 正確な測定が行えるようになりました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター