低価格マスフローコントローラ　MC-10RC series

分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備え…

気体用マスフローコントローラ　MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 【特長】 ○ラバー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

高温マスフローコントローラ　MC-3000L-TC series

多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローコントローラMC-3000L…

独自の特許技術で1.0％F.S.の高精度を実現した、1.125インチサイズの高温用デジタルマスフローコントローラです。 水蒸気などの高温ガス制御に最適です。 【特長】 ○RoHS対応 ○使用温度120℃、ベーキング温度150℃（非通電）が可能 ○デジタルインターフェイスRS-485を装備 ○独自特許技術のセンサを搭載 ○高温対応・高精度のデジタルMFC ※その他機能や詳細に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

デバイスネット対応マスフローコントローラ　MC-5000L

デバイスネットDeviceNet対応の超高性能マスフローコントローラで…

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデバイスネット対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デバイスネットインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ 　 (SEMI E54, ODVA SEMI SIG MFC Profile) ○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応） ○＋11〜24V...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

高性能マスフローコントローラ　MC-3000L series

当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デ…

独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ 　 (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

低差圧マスフローコントローラ　MC-3000S series

SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです

独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

バリアブルレンジ対応マスフローコントローラ　MC-700

低価格でありながらマルチレンジに対応したマスフローコントローラです

MFC上部あるロータリスイッチにより各種ガスや各種レンジに変更可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○短納期対応モデル ○高速・高性能なピエゾアクチュエータ搭載 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○ロータリスイッチにより各種ガスや各種レンジに変更可能 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

EtherCAT対応マスフローコントローラ　MC-5000C

EtherCATに対応した高精度マスフローコントローラです

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したEtherCAT対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デジタルインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ 　 (SEMI E54. 20-1108) ○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応） ○＋11〜24V DC の単電源動作 ○各種面実装規格...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所