• 低価格マスフローコントローラ MC-10RC series 製品画像

    低価格マスフローコントローラ MC-10RC series

    分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備え…

    気体用マスフローコントローラ MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 【特長】 ○ラバー...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所

  • 高温マスフローコントローラ MC-3000L-TC series 製品画像

    高温マスフローコントローラ MC-3000L-TC series

    多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローコントローラMC-3000L…

    独自の特許技術で1.0%F.S.の高精度を実現した、1.125インチサイズの高温用デジタルマスフローコントローラです。 水蒸気などの高温ガス制御に最適です。 【特長】 ○RoHS対応 ○使用温度120℃、ベーキング温度150℃(非通電)が可能 ○デジタルインターフェイスRS-485を装備 ○独自特許技術のセンサを搭載 ○高温対応・高精度のデジタルMFC ※その他機能や詳細に...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所

  • デバイスネット対応マスフローコントローラ MC-5000L 製品画像

    デバイスネット対応マスフローコントローラ MC-5000L

    デバイスネットDeviceNet対応の超高性能マスフローコントローラで…

    当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用(米国、日本特許)し、各種面実装規格(1.125インチ)に対応したデバイスネット対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デバイスネットインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ   (SEMI E54, ODVA SEMI SIG MFC Profile) ○高性能(メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応) ○+11〜24V...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所

  • 高速応答マスフローコントローラ『MC-7000シリーズ』 製品画像

    高速応答マスフローコントローラ『MC-7000シリーズ』

    Auシール、ピエゾアクチュエータを採用!各種デジタルインターフェイスに…

    MC-7000シリーズ』は、サーマルセンサで200msec以下の高速応答を 実現した高速応答マスフローコントローラです。 リンテック独自の自己温度補正方式を採用することで、腐食性ガスや 液化ガ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所

  • 高性能マスフローコントローラ MC-3000L series 製品画像

    高性能マスフローコントローラ MC-3000L series

    当社独自の自己温度補正方式(米国、日本特許)のセンサを採用した高性能デ…

    独自の特許技術で1.0%S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格(1.125インチ)に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ   (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証)、デジタル制御) ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所

  • 低差圧マスフローコントローラ MC-3000S series 製品画像

    低差圧マスフローコントローラ MC-3000S series

    SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです

    独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所

  • バリアブルレンジ対応マスフローコントローラ MC-700 製品画像

    バリアブルレンジ対応マスフローコントローラ MC-700

    低価格でありながらマルチレンジに対応したマスフローコントローラです

    MFC上部あるロータリスイッチにより各種ガスや各種レンジに変更可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○短納期対応モデル ○高速・高性能なピエゾアクチュエータ搭載 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○ロータリスイッチにより各種ガスや各種レンジに変更可能 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロー...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所

  • EtherCAT対応マスフローコントローラ MC-5000C 製品画像

    EtherCAT対応マスフローコントローラ MC-5000C

    EtherCATに対応した高精度マスフローコントローラです

    当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用(米国、日本特許)し、各種面実装規格(1.125インチ)に対応したEtherCAT対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デジタルインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ   (SEMI E54. 20-1108) ○高性能(メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応) ○+11〜24V DC の単電源動作 ○各種面実装規格...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社リンテック 東京営業所

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