【エコで安全！】ノンフロン汎用機器ソリューションのご紹介

PRエコなノンフロン汎用機器へ更新しませんか？※「ノンフロンソリューション…

サーモフィッシャーサイエンティフィックでは、 環境に配慮して冷却機能がついた機器のノンフロン化を推進しています。 オゾン層を破壊せず、地球温暖化を促さないノンフロン冷媒を使用した機器や、ペルチェ冷却機能を搭載し、 より安全なノンコンプレッサー仕様の汎用機器製品群をご紹介します。各製品の機器更新の際に、ぜひご検討ください。 ※仕様詳細はPDFをダウンロードしてご覧ください。詳しくはお気軽にご相談...

メーカー・取り扱い企業： サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社／Thermo Fisher Scientific K.K.

現場環境を快適に！『暑さ対策特集』

PRまだ間に合います！暑い季節の到来に備え、工場の職場改善を始めませんか

株式会社山善が展開する暑さ対策をご紹介いたします。 エネルギー効率を向上させ、冷暖房費を削減するシーリングファンを はじめ、空調の新設/更新やエアーカーテンなど様々な対策をご用意。 当社は、職場環境改善に全力でお手伝いいたします。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■シーリングファン ■空調の新設/更新 ■エアーカーテン ■断熱シート・遮...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山善

［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法

電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定…

EELS分析とは、電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定する手法です。物質の構成元素や電子構造を分析することができます。 TEMに付属している元素分析装置（EDX)と比較して、下記の特徴があります。 ・EDXに比べて軽元素の感度が良い ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）

EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギ…

EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。EDS： Energy Dispersive X-ray Spectroscopyとも呼ばれます。 多くの場合、SEMまたはTEMに付属し...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

絶対PL量子収率測定

絶対PL量子収率測定は、材料の発光効率を求める手法です。

絶対PL量子収率測定は、材料に吸収された光（エネルギー）に対し、どのくらいの効率で発光が得られるか、つまり材料の発光効率を求める手法です。 ・分光器付きの励起光源を用いているため、様々な波長（約350～800nm）での励起が可能 ■MSTの...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［UPS］紫外光電子分光法

試料表面の組成の定性・定量や仕事関数評価に

UPSは、紫外光照射により放出される電子の運動エネルギー分布を測定し、試料極表面（数nm程度以下）の価電子状態に関する知見を得る手法です。その一方で、高いエネルギー分解能を利用して各種金属材料の仕事関数評価にも用いられています。 XPS分析と併...

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［XPS］X線光電子分光法

試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類、存在量、化学結合状態評価に有…

XPSは、Ｘ線照射により放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）に存在する元素の種類・存在量・化学結合状態に関する知見を得る手法です。化学結合状態に関する知見が得られるため、別名ESCA : Electron Spe...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［RBS］ラザフォード後方散乱分析法

固体試料にイオンビームを照射し、ラザフォード散乱によって後方に散乱され…

RBSは固体試料にイオンビーム(H+,He++)を照射し、ラザフォード散乱によって後方に散乱されてくるイオンのエネルギーおよび強度を測定する手法です。 散乱されたHeイオンの運動エネルギーを測定し、衝突した原子の質量数を調べることで分析サンプルの成分や層構造を評価することができます。 また、固体試料にHe...

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［XRF］蛍光X線分析法

照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光する…

蛍光X線分析（XRF： X‐ray Fluorescence）は照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。 ・測定範囲の全エネルギー（Na～U）が同時に短時間で測定可能 ・未知試料の分析に適している ・非破壊分析 ・特殊...

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［AES］オージェ電子分光法

試料表面（数nm程度の深さ）の元素の種類・存在量の評価

AESは、電子線照射により放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）に存在する元素の種類・存在量に関する知見を得る手法です。 ・固体材料の表面（深さ数nm）の定性・定量が可能 ・微小領域（数十nm～サブミクロン程...

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【分析事例】垂直入射法による深さ方向分解能の向上

SIMS：二次イオン質量分析法

■極浅深さ方向分布の測定法 （1）斜入射法における深さ方向分解能の限界 斜入射法における深さ方向分解能の一次イオンエネルギー依存性をδドープ試料を用いて調査しました（図1）。斜入射法においては、クレータ底面の粗れにより深さ方向分解能の向上に限界があることがわかります（図2）。 （2）垂直入射法による深さ方向分解能の...

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分子動力学計算によるカーボンナノチューブ曲げ変形シミュレーション

ナノ材料に外力を加えた時の形状変化、歪みエネルギーの評価が可能

資料では、分子動力学計算を用いて単層カーボンナノチューブの曲げ変形シミュレーションを行った事例を紹介します。シミュレーションを行うことで、実測からは評価が難しい原子レベルでの形状変化の観察や歪みエネルギーの算出が可能です。...

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蛍光寿命測定

Fluorescence lifetime measurement

物質に光（紫外・可視光）を照射すると、物質はその光の一部を吸収します。光の吸収により、安定なエネルギー状態（基底状態）にあった電子は、一時的に高いエネルギー状態（励起状態）へと遷移します。励起された電子が基底状態に遷移する際に発光が生じることがあり、フォトルミネッセンス（PL)や蛍光・りん光等と...

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【分析事例】半導体のイオン化ポテンシャル評価

UPS：紫外光電子分光法

半導体では、価電子帯立ち上がり位置(VBM)と高束縛エネルギー側の立上り位置(Ek(min))より、イオン化ポテンシャルを求めることが可能です。 表面有機汚染除去程度のArイオンスパッタクリーニング後に測定を行っています。 ■価電子帯立ち上がり位置(V...

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【分析事例】極浅ドーパント分布の高精度分析

高い再現精度で評価可能

デバイスの微細化により、極浅い領域における不純物の深さ方向分布評価が必要とされています。正確な評価を行うためには、通常よりも低いエネルギー(1keV以下)の一次イオンビームを用いたSIMS分析が必要になります。今回、B+を低エネルギーでイオン注入したSiウエハを1keVの酸素イオンビームを用いて、日をまたいで、6回測定した結果から...

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【分析事例】極浅注入プロファイルの評価

極浅い領域においてもドーパント分布・接合の評価が可能

デバイスの微細化により、極浅い領域における不純物の深さ方向分布評価の必要性が高まっています。 正確な評価を行うためには、通常よりも低いエネルギー(1keV以下)の一次イオンビームを用いたSIMS分析が必要になります。図1にBF2+ 1keV, P+ 1keV, As+ 1keVで注入されたSiウエハを一次イオンビームエネルギー250eV...

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【分析事例】ケミカルシフトによる金属酸化物の価数評価

XPS：X線光電子分光法

XPS分析ではX線照射により得られた光電子のエネルギーを観測することにより、物質表面の結合状態評価を行います。金属元素が酸化状態にあるかどうかの評価はもちろん、酸化によるエネルギーシフト（ケミカルシフト）が大きい元素では、複数の価数の存在、及び存在...

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［IP法］Arイオン研磨加工

IP法は、研磨法の一種でイオンビームを用いて加工する方法です

IP法は、エネルギー及び方向を揃えたイオンビームを試料に照射したときに試料表面から試料原子が弾き飛ばされるスパッタリング現象を利用して、試料表面を削り取る方法です。 イオン種は通常試料との化学反応の心配のない希ガ...

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第一原理計算によるワイドギャップ半導体GaNにおける欠陥準位解析

点欠陥の形成エネルギー、電荷、光学遷移など様々な物性情報が得られます

ワイドギャップ半導体である窒化ガリウム（GaN）は主にパワーデバイスの分野で用いられ、近年では急速充電器や5G通信基地局用途としての需要が高まっています。高信頼性を有するGaNの開発にあたっては、結晶中の欠陥量の低減や欠陥がもたらす電気/光学特性などへの影響の理解が重要です。本資料では第一原理計算を用いてGaN中の窒素欠損（VN）が形成する欠陥準位の解析を行った事例を紹介します。本解析は欠損だけで...

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［DSC］示差走査熱量測定

DSCは、加熱することによって生じる熱量変化からサンプルの物性などを評…

熱流束型DSCは基準物質とサンプルを同時に加熱した時の温度差を連続的に記録します。ここから転移・反応の温度及び熱量、熱容量などの情報が得られます。この温度差が単位時間当たりの熱エネルギーの入力差に比例するように設計されている点がDTAと異なります。 電気炉（ヒーターブロック）の温度を一定の速度で上昇させていくと、基準試料、測定試料も同じ速度で上昇します。この時、測定試料に...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

放射線測定サービス

工業製品・大気中・水・食品など、放射線の測定はおまかせください

ルに準じた測定が可能 ★放射性物質による表面汚染のスクリーニング検査サービス 輸出製品の放射能表面汚染量を確認します 。JIS Z 4505「放射性表面汚染の測定方法－β線放出核種（最大エネルギー0.15MeV以上）及びα線放出核種」に即した測定が可能です。 ★放射線による大気汚染の環境測定サービス 大気（空間）の放射線量率測定...

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【分析事例】量子化学計算による有機分子のスピン結合定数の解析

NMR測定と計算の組み合わせにより分子構造の詳細な解析が可能です

造を持つ化合物や新規化合物などの同定が可能となります。本資料では、スピン結合定数の測定値と量子化学計算による計算値との比較に基づき、フッ素化合物の立体配座について解析した事例を紹介します。配座のエネルギー計算により安定性の比較も可能です。 測定法：計算科学・AI・データ解析、NMR 製品分野：医薬品 分析目的：化学結合状態評価、構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせ...

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AFM-MAによる 食品（ロースハム）の機械特性評価

食感を機械特性パラメータで定量化

ライザー等による応力の評価で行いますが、微小領域の測定や薄い試料の測定は困難です。 AFM-MAは表面の凹凸の形状の評価に加え、機械特性の硬さを表すヤング率、質感のパラメータの凝着力、および、エネルギー散逸のデータを微小領域で計測することが可能です。このため、食感等に関係する物理特性を極微小な領域で評価するために有効です。...

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【分析事例】多結晶シリコン太陽電池のPLマッピング

太陽電池セルの欠陥の位置を非破壊で特定することができます

太陽電池に禁制帯幅以上のエネルギーの光を照射するとキャリアが生成し、一部は発光性再結合をします。その際の発光をフォトルミネッセンス（PL）と呼びます。しかし、欠陥が存在する箇所では、キャリアが捕捉されPL強度が弱くなります。この...

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【分析事例】FIB低加速加工

FIB：集束イオンビーム加工

FIBを用いたTEM観察用薄膜試料作製法では、高エネルギーのGaイオン（加速電圧30kV)を用いており、加工面にダメージ層が生じ、TEMの像質低下の原因となっています。そこで従来より低加速(2kV)の加工を行うことでダメージ層が低減でき、像質が改善され...

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LDI-MS（レーザー脱離イオン化質量分析法）の概要と特徴

LDI-MSとMALDI-MSの違いについて

LDI（レーザー脱離イオン化法）とは、紫外レーザーのエネルギーのみを利用して分子を昇華・イオン化させる方法です。一方のMALDI(マトリックス支援レーザー脱離イオン化法)はマトリックスと混合した試料に紫外レーザーを当てることで分子を昇華・イオン化させる方法...

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［SXES］軟X線発光分光法

SXESは、物質から発光される軟X線を用いて化学結合状態を評価する手法…

発光を生じさせるための励起源としてエネルギー可変、高強度などの特長を持った放射光を用います。...

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［XAFS］X線吸収微細構造

XAFSは、物質にX線を照射することで得られる吸収スペクトルを解析する…

ち上がり（=吸収端）が見られます。 この吸収端近傍±50 eV程度に現れる微細構造をXANES（=X-ray Absorption Near Edge Structure）と呼び、吸収端から高エネルギー側1000 eV程度に現れる振動構造をEXAFS（=Extended X-ray Absorption Fine Structure）と呼びます。 またXANESとEXAFSを合わせた領域をX...

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［FT-IR］フーリエ変換赤外分光法

数十μm角程度の領域の測定が可能

トの変化を伴う振動によって生じることから、振動スペクトルとも言われます。 分子に赤外線を照射すると、赤外線の振動周期と原子の振動周期が一致する場合に、個々の原子、原子団はそれぞれの周期に応じてエネルギーを吸収し、振動は基底状態から励起状態に変化します。この吸収が赤外線スペクトルの吸収となって現れます。原子は分子構造に応じた固有の振動を持っていますので、スペクトルを解析することで分子構造に関する...

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［Raman］ラマン分光法

試料の分子構造や結晶構造に関する情報を得る

励起光ν0に対して振動エネルギーに対応する波数νの異なった光が散乱される現象がラマン散乱です。 ラマン分光法では入射光と異なる波数νで放出されるストークスラマン光を検出してスペクトルを得ることで、分析試料に含まれる原子団の振...

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X線CT法

X-ray Computed Tomography

データから、X線CT（Computed Tomography）像を構築します。 ・非破壊で、試料の内部構造や欠陥形状などの確認が可能。 ・3D像や任意箇所での断面像を構築可能。 ・X線エネルギーは30 kV～160 kVの間で設定できるため、有機材料から電子部品まで幅広く対応可能。 ・専用ステージにより、引張/圧縮や冷却/加温した状態で試料のX線CT測定が可能。 この資料では、...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）

電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによ…

EDXは、電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。EDS：Energy Dispersive X-ray Spectroscopyとも呼ばれます。 多くの場合、SEMまたはTEMに付属...

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