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    シリコンウェハ用圧力分布測定システム

    歩留まりアップを圧力管理からサポート!

    シリコンウェハの大きさにより、センサーシートを用意しています。 ◆バッチ式だけでなく、毎葉式にも対応しています。 ◆センサーシートは厚さ約0.1mmと超薄型となっており、実使用に極めて近い状態...

    メーカー・取り扱い企業: 蒲田工業株式会社

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