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    【分析事例】撥水箇所の成分分析

    TOF-SIMSは複数成分の広域イメージング評価が可能です

    密着不良などの不具合の原因を探るためには、ウエハやデバイスの表面の知見を得ることは重要です。今回、シリコンウエハ上に撥水箇所が確認されたため、TOF-SIMSで広域イメージングを実施しました。その結果、撥水箇所からはシリコーンオイル、CF系グリース、パラフィンオイルと推定される成分が確認されました。T...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

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