【事例】シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工にファインバブルを使用

要求される鏡面を簡単にクリアー！ファインバブルを使用して解決した事例

シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工にファインバブルを使用した事例を ご紹介します。 数種類の対策をしたが要求される超超鏡面ができず、研削液配管途中に OKノズルを設置。ファインバブルを使用して解決しました。 また、ファインバブルの破裂の衝撃によって砥石の切り刃が常に確保され、 研削キリコが洗浄され必要面粗度が得られました。 【事例概要】 ■課題：数種類の対策をしたが要求される超...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社OKエンジニアリング

【事例】シリコンウエハー（半導体）洗浄のメカニズム

洗浄できている面積割合が、92％に到達することを明らかにした事例のご紹…

シリコンウエハー洗浄のメカニズムに関する事例をご紹介します。 ウルトラファインバブルの内部が高圧になる特性を利用して、 圧力波により固体表面の微粒子を除去する効果を実験的に検証。 1ミクロン以上の微粒子が除去され観察されなくなったこと、また、 洗浄できている面積割合が、92％に到達することを明らかにしました。 【洗浄効果】 ■洗浄前：359～472um2 ■超純水洗浄後：320...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社OKエンジニアリング

【事例】マイクロバブルと工作機械

シリコンウエハーの鏡面研磨や小型金型研磨時間短縮などの応用事例をご紹介…

昨年から工作機械へのファインバブルの利用問合せが増えて来ました。 効果が顕著なのはアルミ加工と研削加工です。 「アルミ構成刃先剥離効果」をはじめ、「クーラントタンクの清掃」や 「シリコンウエハーの鏡面研磨」「潤滑油の浮上分離」などに応用可能。 ご依頼・ご質問・お見積りなどお気軽にご相談ください。 【応用事例】 ■アルミ構成刃先剥離効果 ■クーラントタンクの清掃 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社OKエンジニアリング

テーパーノズル　ＵＮＦシリーズ

ノズルがテーパー状になっており、材料の流れが良く、クリームハンダやグリ…

バレル（BPシリーズ）やニードルアダプター（UNAシリーズ）などの先端に取り付け、目的に合った吐出量を得るために使用します。...　型式　　　 内径　　 　 全長　　　 色 UNF-1.6N　　ID1.6　　　32ｍｍ　　　深緑 UNF-1.2N　　ID1.2　　　32ｍｍ　　　グレー UNF-0.8N　　ID0.8　　　32ｍｍ　　　グリーン UNF-0.6N　　ID0.6　　　3...

メーカー・取り扱い企業： ユニコントロールズ株式会社

エアーノズル『ディスクノズル』

パイプ内面の瞬間水切り、油切りに！

りを瞬時に行うエアーノズルです。 「リングノズル」と組み合わせて使用する事により、パイプ内面と 外面の水切りを同時に行うことが出来ます。 また、パイプやチューブ内面の水切り以外にも、シリコン除去、 蛇腹内部の除塵、内面コーティング液の均一除去など、幅広い用途に 対応することが可能なのも特長です。 【特長】 ■瞬時に水切り、油切りが可能 ■「リングノズル」と組み合わせて使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社システムラボ