クリーンロボット『STCR4000Sシリーズ』

半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に適したクリーンロボット！

O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『SSCR3115Sシリーズ』

小フットプリント化・軽量化を実現したクリーンロボット！

【その他の特長】 ■SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更可能 ■真空吸着でウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『STHR4000シリーズ』

半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適なツインアームロボット！

O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『SHR3000シリーズ』

半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適！

O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『SCR3100S-PMシリーズ』

装置レイアウトの小型化が可能なクリーンロボット！

O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『SCR3000CSシリーズ』

半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に最適なクリーンロボット！

】 ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『SSCR2090Sシリーズ』

小径ウエハ用のクリーンロボット！

の他の特長】 ■SSCR3115S-150-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸付仕様にも変更可能 ■真空吸着、落し込みでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル