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8件 - メーカー・取り扱い企業
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半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に適したクリーンロボット!
O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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小フットプリント化・軽量化を実現したクリーンロボット!
【その他の特長】 ■SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更可能 ■真空吸着でウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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各種アタッチメントも取り付け可能!無給油で幅広い分野の製造ラインに対応…
『SUS-RBステンレスチェーン』は、ピンとブシュの間にRBセラミックスの 複合材スリーブを組み合わせて、従来のステンレスチェーンと比較して 摩耗寿命(摩耗伸び寿命)が10倍以上になりました。 標準タイプはブシュチェーン、ダブルピッチチェーンはブシュチェー...
メーカー・取り扱い企業: 大喜産業株式会社
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半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適なツインアームロボット!
O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に最適なクリーンロボット!
】 ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適!
O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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装置レイアウトの小型化が可能なクリーンロボット!
O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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小径ウエハ用のクリーンロボット!
の他の特長】 ■SSCR3115S-150-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸付仕様にも変更可能 ■真空吸着、落し込みでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能 ■被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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