ピュアスチーム発生装置

PR省スペースを実現。ピュアスチーム発生量に比例して供給水量を制御。

本装置は、独自に開発した高効率の上昇流下液膜方式の蒸発缶を採用。 さらに、独自の圧力制御（予測制御）により発生蒸気圧力を安定して供給することが可能です。 SUS316L＋EP仕様でピュアスチーム発生量ごとにラインアップしております。 【特長】 ■蒸発缶と気液分離缶を一体化させることで省スペースを実現 ■始動より定格運転までの立上がりが早い ■飛沫同伴が生じないサイクロン方式の気液分...

メーカー・取り扱い企業： クリーンメカニカル株式会社 本社

撹拌機「AJITER」×水圧モータ「NADS」

PR水の力で撹拌機を動かす！エアーを使わないので空気が綺麗、電気を使わない…

水道水を作動流にするNADSの水圧モータを使用した撹拌機です。 エアーを使わないので空気が綺麗、電気を使わないので環境に配慮した 安全・安心な撹拌機です。 【NADSとは？】 NADSはNACOL株式会社の新・水圧技術（ADS: Aqua Drive System）を 使用したポンプやモータ、リリーフ弁、ソレノイドバルブ等を展開する シリーズ。空圧や電気駆動では難しかった高性能な駆...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社島崎エンジニアリング 本社

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。 プロセス中の品質管理や残留ガス分析などに...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』

圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換！ワイドレンジ電離真空計

ニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。 入力電圧はワイド電圧。 外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、 CEマーキング、RoHSに対応しています。 自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロセス圧力の測定、 制御などにご使用いただけます。 【特長】 ■外部入出力 ■RS-232C通信機能を標準装備 ■入力電圧はワイド電圧 ■CEマーキング、Ro...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

イオンゲージ『M-311HG』

再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れ…

『M-311HG』は、トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。 イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、 広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。 センサは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。 【特長】 ■ワイドな圧力測定範囲 ■高応答アナログ出...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

【高コスパ】キャパシタンスゲージ/コールドカソードピラニゲージ

各種真空システム搭載に好適な真空計

■『キャパシタンスゲージ』は、高精度で安定した絶対圧力を測定できる温度補正型の隔膜真空計です。 　　優れたゼロ点の安定性、低温度依存性、優れた対振動性が特長です。 ■『コールドカソードピラニゲージ』は、堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

測定球『ミニチュアゲージ』

取付場所の選定が容易！プロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が…

球の大きく 割れ易いという欠点を除いた金属製の小型ゲージ球です。 取付場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等の ゲージの性能を損なうことなく小型化(従来の1/20当社比)。 到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの 圧力計測が1つのゲージで行なえます。 【ラインアップ】 ■MG-2 ■MG-2M ■MG-2I/NW16、25 ■MG-2I/...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

クリスタルゲージ『M-320XG』

優れた再現性で測定が可能！熱源（フィラメント）を持たない真空計

『M-320XG』は、大気圧から1×10^-2Paまでの広い範囲にわたって、 信頼性の高い測定ができるクリスタルゲージです。 水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用し、 はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能。 あら引きゲージとしての用途以外に、チャンバの大気圧ベントの検出用の 圧力スイッチと...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』

豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能！電源電圧は特注も対応いた…

823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する 豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。 真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や APC（自動圧力制御）で有効なレンジホールド機能を標準装備。 「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージの コンビネーション及びゲージの自動切替を行うオートフィラメント機能の ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ワイドレンジ電離真空計『M-833HG』

高真空～超高真空装置搭載に好適！最大4ヶのオプションボード取付け可能で…

ション）のコンビネーション及び、 ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、 大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。 【特長】 ■見やすい液晶表示形式 ■圧力及び、種々のメッセージが液晶にて表示 ■圧力レンジは自動切換 ■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能 ■セットポイントを 2点標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力…

真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『真空スイッチ』

大気とのシールは溶接構造なので、超高真空に接続可能！各種真空系の制御信…

『真空スイッチ』は、単極双投接点を備え、作動圧力の上限または下限において 同時にON・OFF2点制御信号が得られ、作動圧力の変化もわずかです。 また、真空側はすべてSUS-304を使用しており、大気とのシールは溶接構造 なので高真空に接...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

キャパシタンスゲージ『M-342DG』

質量は200gと軽量でサイズもコンパクト！外部環境から受ける影響を最小…

キャパシタンスゲージ『M-342DG』は、高精度で安定した圧力測定、 最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。 圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

軽量でコンパクト！隔膜真空計『キャパシタンスゲージ』

圧力センサ部に小型シリコンMEMSチップを採用。外部環境からの影響を最…

温度補正型の隔膜真空計、キャパシタンスゲージ『M-342DG』 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ・優れたゼロ点安定性 ・低温度依存性 ・優れた対振動性 ■コンパクト・低消費電力 ・質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト ・消費電力0.5W ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』

40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバー…

『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。 【特...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空計『ピラニゲージ』

低・中真空領域の測定に好適！スタンダードタイプ、セットポイント付タイプ…

用として、食品、自動車、医薬品をはじめ、 様々な産業でご使用いただけます。 【特長】 ■高いコストパフォーマンス ■5×10^-2Paから大気圧 ■様々な産業で使用可能 ■粗引き系の圧力測定、排気系の圧力モニタ、制御などの用途がある ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』

新設計により視認性と機能アップ！自動化装置・遠隔操作用装置に適していま…

【その他の特長】 ■電流値・電圧値のモニタ時の表示可能最小値の改善、圧力表示の追加、各種保護機能など、 　高電圧電源に必要な基本機能を高いレベルで実現 ハードプロセス対応 ■セットポイント2点標準装備など各種I/O標準装備で外部制御に対応 停電自動復帰(選択可能) ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社