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21件 - メーカー・取り扱い企業
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優れた再現性で測定が可能!熱源(フィラメント)を持たない真空計
『M-320XG』は、大気圧から1×10^-2Paまでの広い範囲にわたって、 信頼性の高い測定ができるクリスタルゲージです。 水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用し、 はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能。 あら引きゲージとしての用途以外に、チャンバの大気圧ベントの検出用の 圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定など...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』
豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能!電源電圧は特注も対応いた…
『M-723HG、M-823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する 豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。 真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や APC(自動圧力制御)で有効なレンジホールド機能を標準装備。 「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージの コンビネーション及びゲージの自動切替を行うオー...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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高真空~超高真空装置搭載に好適!最大4ヶのオプションボード取付け可能で…
『M-833HG』は、ミニチュア B-A ゲージ専用のコントロールユニットです。 オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードを用意。 ミニチュア B-A ゲージと TC ゲージ(オプション)のコンビネーション及び、 ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、 大気圧~超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。 【特長】 ■見やすい液晶表...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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部品交換のみの容易なメンテナンス!1台2役でシステムのコストダウンや管…
『M-361CP』は、大気圧~中真空を測定するピラニゲージと、 高真空~超高真空を測定するコールドカソードゲージを 組み合わせたコンビネーションゲージです。 1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムの コストダウンや管理負荷低減に貢献。 また、部品交換のみの容易なメンテナンスです。 【特長】 ■測定安定性の改善 ・新開発の放電アシスト機能によりピラニとコールドカソードの切替不良...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換!ワイドレンジ電離真空計
『M-431HG』は、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。 入力電圧はワイド電圧。 外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、 CEマーキング、RoHSに対応しています。 自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロセス圧力の測定、 制御などにご使用いただけます。 【特長】 ■外部入出力 ■RS-232C通信機能を標準装備 ■入力電圧はワイド電圧 ...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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高精度、低真空領域において優れた再現性!大気圧から超高真空まで広い圧力…
『M-336MX』は、低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミ...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能!真空計として優れ…
『M-311HG』は、トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。 イオンゲージ(熱陰極電離真空計)は再現性、リニアリティーがよく、 広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。 センサは実績のあるミニチュアゲージ(MG-2Iタイプ)を使用しています。 【特長】 ■ワイドな圧力測定範囲 ■高応答アナログ出力 ■4つのエミッション電流設定モード ...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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ボタン操作1つで機器の立ち上げから測定までが可能!高い感度、安定性、応…
『HELENシリーズ』は、小型、軽量、可搬性をコンセプトに開発した ポータブルタイプのヘリウムリークディテクターです。 機動性を重視したコンパクトタイプの「M-212LD」やダイヤフラム ポンプを搭載した「M-212LD(-D)」、ハイパワーの「M-222LD」 など、さまざまな製品をご用意。 業界でも高レベルの感度、安定性、応答性を実現しています。 【特長】 ■イージー...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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表示器(1ch/3chタイプ)『M-601GC/603GC』
RS232Cインターフェース標準装備!優れた操作性で見やすい3タイプ表…
『M-601GC/603GC』は、トランスデューサ型真空計シリーズ対応表示器です。 大型デジタルLCD表示で見やすく、操作性も大幅に向上。 現場の利便性に追求した様々な工夫が詰まっています。 用途に合わせて1chタイプと3chタイプがご選択いただけます。 【特長】 ■ゲージ自動認識 ■大型デジタルLCD表示 ■RS232Cインターフェース標準装備 ■優れた操作性 ■見...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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大気とのシールは溶接構造なので、超高真空に接続可能!各種真空系の制御信…
『真空スイッチ』は、単極双投接点を備え、作動圧力の上限または下限において 同時にON・OFF2点制御信号が得られ、作動圧力の変化もわずかです。 また、真空側はすべてSUS-304を使用しており、大気とのシールは溶接構造 なので高真空に接続可能。 そのため、自動化真空装置等の保護及び安全回路用スイッチとしても 使用できます。 【特長】 ■単極双投接点を備えている ■作動圧...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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質量は200gと軽量でサイズもコンパクト!外部環境から受ける影響を最小…
キャパシタンスゲージ『M-342DG』は、高精度で安定した圧力測定、 最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。 質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。 圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用し温度や振動、 気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑えました。 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ■...
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再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし!ハードプロセス装置に対応し…
ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など さまざまな装置にお使いいただけます。 【特長】 ■耐食性の向上(Niフィラメント採用など) ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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広く鮮明な有効視野!透過率の変化や変色が少なく優れた耐放射線特性があり…
『超高真空ビューイングポート』は、真空容器内を外部より観察するための のぞき窓です。 コバールガラス、または合成サファイアとコバールを封着したものを ICFフランジに溶接しているので、10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用可能。 特にサファイア製ビューイングポートは、紫外線領域(短波長)の電磁波や 粒子線の照射に対して安定した透過特性を持っています。 【特長】 ■広く鮮...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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シール用ガスケットは銅板製で超高真空用特殊処理を採用!オス・メスなしの…
当社では、超高真空フランジとして『ICFフランジ』を取り扱っています。 当製品は、メタルシールフランジで、現在知られている超高真空用 フランジの中では特に信頼性が高く、取り扱い方法も簡単。 専用の無酸素銅製ガスケットを使用します。 【特長】 ■"Capturing"の理論により、ガスケットを弾性的にシール ■10^-10Pa以下の圧力に耐える仕様 ■-196℃より+450...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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構成部品はすべて非磁性体!真空側と大気側をベローズで完全に遮断したベロ…
『直線導入機』は、真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、 圧力が10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用できます。 オールメタルなのでハードベークが可能。超高真空系に適しています。 ベローズの伸縮を利用し真空内に直線運動を導入するため、操作中での リークの心配がありません。 【特長】 ■真空側と大気側とを、ベローズで完全に遮断したベローズ式直線導入機 ■構成部品は...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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