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      • 低ガス放出の真空構造材『0.2%BeCu』 製品画像

        低ガス放出の真空構造材『0.2%BeCu』

        ウルトラクリーンを創造!製造工程、分析工程に革新をもたらします

        『0.2%BeCu』は、熱伝導率が良く、熱輻射率が低い、アウトガスを抑制する 真空構造材です。 用途としては極・超高真空環境が必要な真空チャンバー、高精度分析装置の分析室の素材、 質量分析計のイオン…

      • 受託サービス:デバイスの質量ガス分析 製品画像

        受託サービス:デバイスの質量ガス分析

        高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。封止デバイス内部や接合ウェハー界面のガス分析を行います。

        当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析(リーク量測定)を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2%BeCu合金製の真空構造…

      • 受託サービス:質量ガス分析<分析システムの解説付き資料進呈> 製品画像

        受託サービス:質量ガス分析<分析システムの解説付き資料進呈>

        高精度の四重極型質量分析システムによる受託分析サービス。極微小リークも検出

        当社では、高精度の四重極型質量分析システムにより、お客様から受領した サンプルのガス分析(リーク量測定)を行うサービスを提供しております。 分析装置に“低ガス放出”の0.2%BeCu合金製の真…

      • 極微小リークの計測方法でお困りで はありませんか? 製品画像

        極微小リークの計測方法でお困りで はありませんか?

        答えはこちら!極微小リーク検査のソリューションと事例をご紹介!

        『WATMASS-MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計 「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材(0.2% BeCu合金)の 技術を組み合わせた新しい発想のガス分析…

      • 質量分析で過度の水素ピークが出てしまいお困りではありませんか? 製品画像

        質量分析で過度の水素ピークが出てしまいお困りではありませんか?

        答えはこちら!質量分析のソリューションと事例をご紹介!

        『WATMASS』は、10-7~10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるようにイオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計です。 熱陰極イオン源および、センサーニップル菅(ICF70)を…

      • 極微小リーク分析 製品画像

        極微小リーク分析

        極微小リーク量の測定が求められる自動車用のMEMSセンサーデバイスをご紹介!

        刻々と変化している自動車を取り巻く環境の中で自動車用エレクトロニクス としてのMEMSセンサーデバイスは非常に重要品となり、高い信頼性を 求められるものとなっております。 MEMSセンサーデ…

      • 多様な質量分析を可能にする東京電子のラインナップ 製品画像

        多様な質量分析を可能にする東京電子のラインナップ

        極微量ガス分析から大気圧サンプリングまで、単体での計測からシステムアップした分析装置として、高性能なモデルをそろえた質量分析計!

        多様な質量分析を可能にする東京電?のラインナップをご紹介します。具体的にはこのような質量分析が可能になります。 【特徴】 ■E-15Pa・m3/secの極微量ガス分析が可能 ■極?真空下にお…

      • 差動排気型 質量分析計『Transpector CPM』 製品画像

        差動排気型 質量分析計『Transpector CPM』

        あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計(ガス分析計)、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適!

        INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計(ガス分析計)で、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適です。また、ドライ化された排気システム…

      • 超高感度 質量分析装置 WATMASS-MPH DAシステム 製品画像

        超高感度 質量分析装置 WATMASS-MPH DAシステム

        【新発想の質量分析法】MEMSやライフサイエンスデバイス、半導体などの封止デバイス内の超微量リーク検査に!

        『WATMASS-MPH DAシステム』は、当社の超低ガス放出残留ガス分析計 「WATMASS」の技術と、超低ガス放出真空構造材(0.2% BeCu合金)の 技術を組み合わせた新しい発想の質量分析…

      • 超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』 製品画像

        超低ガス放出残留ガス分析計『WATMASS』

        低省費電力化とイオン源の低温化により、ガス放出を大幅低減!一般的な四重極残留ガス分析計での計測が難しいXHVガス分析が可能!

        『WATMASS』は、10-7~10-13Pa台の残留ガス分析を高精度で行えるように イオン源を改良した、超低ガス放出残留ガス分析計(質量分析計)です。 熱陰極イオン源および、センサーニップル…

      • 極高真空計『3B-Gauge』 製品画像

        極高真空計『3B-Gauge』

        X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド!極高真空計

        『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、 ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が 可能な新しいタイプの測定子です。…

      • 高性能残留ガス分析計『Transpector MPH』 製品画像

        高性能残留ガス分析計『Transpector MPH』

        新設計のセンサによるMTBFの向上とランニングコストの削減を実現!

        『Transpector MPH』は、プロセスの不具合を解消し、歩留まりの向上と 装置のダウンタイムの短縮を目的として設計された高性能残留ガス分析計(質量分析計)です。 RGAイオンソースのデ…

      • 四重極型質量分析計『Transpector MPS&MPH』 製品画像

        四重極型質量分析計『Transpector MPS&MPH』

        業界最高クラスのデータ収集速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現!

        『Transpector MPS&MPH』は、どちらも業界最高クラスのデータ収集 速度、最小クラスの検知分圧、S/N比を実現しています。 残留ガス分析計(質量分析計) (RGA) の技…

      • 『魔法のニップル』 製品画像

        『魔法のニップル』

        0.2% BeCu合金製材料の特性を活かしたアイディア商品をご紹介!

        『魔法のニップル』は、0.2%BeCu合金材料の特性を生かしたアイディア商品です。 BAゲージなどの熱陰極電離真空計は、ゲージ点灯中にゲージポート付近に 触ってみると、かなり温かくなっているは…

      • 真空計『コンビネーションゲージ CC-10(NW25)』 製品画像

        真空計『コンビネーションゲージ CC-10(NW25)』

        大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で!センサー・回路部・ディスプレイ一体型の真空計

        クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 …

      • 真空計『コンビネーションゲージ CC-10(ICF70)』 製品画像

        真空計『コンビネーションゲージ CC-10(ICF70)』

        大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で!センサー・回路部・ディスプレイ一体型の真空計。コンパクトで設置スペースも節減!

        クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 …

      • B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ IG-10(NW25)』 製品画像

        B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ IG-10(NW25)』

        センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計です。16種類のガスに対応し、金属製センサーも使用!

        広帯域(1.33×10-7Pa)?(6.65Pa)の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを …

      • B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ IG-10(ICF70)』 製品画像

        B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ IG-10(ICF70)』

        センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計です。16種類のガスに対応し、金属製センサーも使用!

        広帯域(1.33×10-7Pa)?(6.65Pa)の高真空領域までを 高精度測定ができる『イオンゲージ真空計』です。 ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを …

      • 電源装置『高電圧半導体スイッチ』 製品画像

        電源装置『高電圧半導体スイッチ』

        スイッチング素子としてSiC-MOSFETを採用し、電力損失を大幅低減

        『高電圧半導体スイッチ』は、高電圧で 高速なパルスを発生させる、電源装置です。 FETを90段直列に接続し、最大90kVのスイッチングを実現しました。 運転周波数は直流から5kHzまでのパル…

      • ピラニ真空計 PG-20 製品画像

        ピラニ真空計 PG-20

        小型なボディで装置組込みの省スペース化!

        熱を奪われたフィラメントが常に一定温度となるよう、加える電力を自動的に調節する定温度型のピラニ真空計です。 小型なボディで装置組込みの際に省スペース化を図ることができます。 表示は操作しやすいデジ…

      • コールドカソードゲージ コントローラ CG-20 製品画像

        コールドカソードゲージ コントローラ CG-20

        堅牢な冷陰極型電離真空計

        帯域(4.0×10-7Pa)?(3.0×10-2Pa)の圧力を1レンジで測定できる、コールドカソードゲージコントローラです。

      • マイクロ真空計 製品画像

        マイクロ真空計

        高真空の計測が可能なマイクロ真空計

        新技術を利用し、熱伝導方式のマイクロ真空計ではこれまで困難だった高真空の計測を実現。 数百ミクロン角の大きさで、ピラニ真空計の測定範囲をカバー。

      • 定温度型ピラニゲージコントローラ PG-30 製品画像

        定温度型ピラニゲージコントローラ PG-30

        熱伝導を圧力に変換して、真空計測を行えます。

        帯域(1.0×10-1Pa)?(1.0×10 4Pa)の低真空を測定できる、ピラニ真空計です。

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