機械、製薬、食品、半導体、空調、工業、処理場などさまざまな分野で活躍！ 駆動部が無く、常に安定した動作で監視します。 (英)EGE社製 フロースイッチはセンサー内部に二つのサーミスターが組込まれています。 二つのサーミスターは、常に一定の熱量がアンプより供給されています。 サーミスターR2は、熱伝導の悪い樹脂に覆われていて、 常に一定の熱量で維持されています。 そして、サーミスターR1は配管内に流れる流体の流速に応じ 冷やされる方向にあるため、R2との熱量に差が生じます。 この熱量の差により流速を求めています。

減圧・常圧プロセス用高効率気化器　VU-430A 液体マスフローメータLM-3000Lシリーズとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です（US PAT.5372754）。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 　 各種液体を流量制御し、効率よく気化（US PAT.5372754） ○減圧プロセスから常圧プロセスまで可能 ○最高200℃の高温加熱が可能 ○コンパクトなボディサイズ ○キャリアガスの流量に応じた豊富なバリエーション（50CCM-4SLM) ○RoHS対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

減圧・常圧プロセス用気化器　VU-206 液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です。 【特長】 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 　 各種液体材料（TEOS、TEB、TEPO、etc）を精密流量制御する 　 と同時に高効率で気化可能 ○ピエゾバルブ採用 ○常圧プロセスから減圧プロセスまで対応 ○最高160℃の加熱が可能 ○コンパクトなボディサイズ ○RoHS対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

当社独自センサにより各種液体流量を精密制御します ノーマリオープンタイプの液体用マスフローコントローラです。 0.01〜2.0g/min (C2H5OH換算) の流量制御が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。 【特長】 ○リンテック独自の周囲温度補償方式の流量センサによる長期流量安定 ○ボディ面幅28.6mm、バルブ一体型構造のコンパクト設計 ○汎用デジタルインターフェイスを装備（RS-485準拠） ○ピエゾアクチュエータ採用による高速応答 ○ダイアフラムバルブ構造を採用 　 （デッドスペース極小、気泡が発生しにくい構造） ○バイパスレス構造 　 （液体導入、内部パージが容易、取付姿勢自由） ○RoHS対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

デバイスネットDeviceNet対応の超高性能マスフローコントローラです 当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデバイスネット対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デバイスネットインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ 　 (SEMI E54, ODVA SEMI SIG MFC Profile) ○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応） ○＋11〜24V DC の単電源動作 ○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.) ○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許） ○コネクタ方式（横・上）選択可能 ○完全デジタル操作 ○超高性能1.125インチ幅 ○面実装ガス　インターフェイス対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デジタルマスフローコントローラです 独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ 　 (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○SEMI STD.の各種面実装に対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

駆動部がなく誤作動しにくい！低流速・低流量にも対応！安価で信頼性の高い製品です。 EGE社『熱線式フローセンサ・フロースイッチ』は、駆動部がないため 誤作動を起こしにくく、低流速(0.01m/s)・低流量(1cc/min.)の検知が可能。 標準型のほか、センサー長25/31ｍｍの短胴型や80/120mmの長胴型、内径4～20mmのインラインタイプ、 -10℃～150℃まで対応できる高温用、気体用・防爆対応まで豊富にラインアップ。 ※これらの製品が多数掲載された「総合カタログ」を無料プレゼント中！ 「カタログダウンロード」からすぐにご覧いただけます。 【特長】 ■不純物を含む液体に対応 ■センサ材質の種類が豊富 ■LEDライトにより動作状況を一目で確認可能

SDSなど低差圧にて動作可能なマスフローコントローラです 独自の技術で低圧においてもガス流量が制御可能なマスフローコントローラです。 【特長】 ○独自の低圧損構造により、6Torrの差圧で10SCCM(N2)を制御可能 ○AsH3やPH3などのインプラ用途や、液体を加温なしで気体制御も可能 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール、内面精密研磨のウルトラクリーン仕様 ○高速・高性能なピエゾアクチュエータを搭載 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

ダイレクトサーマルマスフロー計測原理を応用した質量流量計 MASS-VIEW流量計は通常の面積式流量計、ロータメータのデジタル式代替器です。 OELD技術を取り入れ、実ガス流量をデジタルバーグラフで表示する手法を採用。これによりあらゆる角度からはっきり観ることが可能です。 又、流量単位、ガスタイプ、積算値も表示されます。 フローコントローラは圧力補正用メンブレンを搭載し、供給圧力変動の影響を低減することができます。 【NEW!】 新たに最大流量500 slmのMASS-VIEW MV-108/MV-308が登場しました。 【特徴】 ○明瞭で、ワイドアングルなOLED表示 ○視差による読み取り誤差無し ○実質的に圧力、温度変化の影響なし ○低圧損、高速応答、高精度 ○ワイドフローレンジ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

高速応答で高精度！幅広い流量レンジと運転条件に対応可能なEL-FLOW Selectシリーズを掲載 ガス用マスフローメータ・コントローラEL-FLOWシリーズのハウジングは、研究所やクリーンなプロセス環境用に設計されています。 ELFLOWシリーズは1つのシリーズで流量レンジ0.014…0.7 mln/minから8…1670 ln/minまでをカバーし、運転圧力は真空から40 MPaに対応します。こうした幅広い流量レンジと運転条件に対応可能なEL-FLOWシリーズは、ブロンコスト製品の中で最も代表的で実績のある製品です。 【特徴】 ○高速応答、高再現性 ○高精度 ○実質的に圧力・温度影響なし ○圧力レーティング最大40 MPa ○オプションで金属シールやダウンポートタイプも対応可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

無脈流チューブポンプや微小流量計、ディスポーザブル圧力センサーなど幅広く掲載しています。 【掲載内容】 ■微小流量計 最小８μL/minから測定可能な流量計です。 流路はストレート構造で置換性に優れています。 接続方法は、特別な冶具が不要なタイプで簡単に接続可能です。 接液部材質は、PTFE、石英ガラスです。 ■無脈動チューブポンプ 無脈動で送液可能なチューブポンプです。 圧力計と流量計を内蔵し、精密な流量コントロールが可能なＬタイプと、使い捨て圧力センサーを内蔵したLDタイプの2種類をラインナップしました。 ■ディスポーザブル圧力センサー アンプ部とダイアフラム部が取外し可能な圧力センサーです。 ダイアフラム部はガンマ線滅菌やEOG滅菌可能でクリーンな環境が保てます。 ダイアフラム部はナットを回すだけで簡単に取付け可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

エアーの流量テストやリークテストに最適 今日の生産工場では、製品によっては、高い製造品質を維持して行くために、全品の「漏れ検査」が必要とされてます。 エアーフローリークテスターは、検査が必要な完成品・部品に規定圧力を加圧しマスフローセンサーにて流量測定する装置です。 検査の数値化、自動化が可能です。 詳しくはカタログダウンロードして下さい。

今まで計測できなかった微小な流量が観測できる流量計！液体のモニタリング、コントロールを行うために、ご提案いたします。 『微小流量計　NTF型』は、最小8μｌ～最大35ml/minまで計測可能な熱式流量計です。 再生医療や、バイオ、分析、食品、飲料水など、様々な業界で実績がございます。 【特長】 ■最小8μｌ～最大35ml/minまで計測可能 ■熱式測定で独自のデジタル処理により、高精度の測定を実現 ■流路がストレート構造のため、置換性に優れる ■接液部はPTFEと石英ガラス ■USBでPC接続し、リアルタイムモニター可能（別売りアダプター） ※詳しくはPDF資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

EtherCATに対応した高精度マスフローコントローラです 当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したEtherCAT対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デジタルインターフェイスのデジタルマスフローコントローラ 　 (SEMI E54. 20-1108) ○高性能（メタルシール、ピエゾバルブ、高精度、マルチガス対応） ○＋11〜24V DC の単電源動作 ○各種面実装規格に対応 (SEMI STD.) ○リンテック独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許） ○完全デジタル操作 ○超高性能1.125インチ幅 ○面実装ガス　インターフェイス対応 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。