プラズマモニタ

エッチング・スパッタ・CVD等プラズマモニタに好適！

オーシャンオプティクス社製の小型分光器は、リアルタイムでチャンバ内の プラズマ発光スペクトルを取得するために多くのお客様から選ばれています。 これらの発光スペクトルから求めたプラズマ特性を監視し、 半導体製造におけるプラズマベースのプロセス制御等に好適です。 『プラズマモニタ』は、スタンダードモデルのFLAMEをはじめ、高分解能モデルの HR4000またはバッファリング対応UV高...

メーカー・取り扱い企業： オーシャンフォトニクス株式会社

エッチング液中の過酸化水素と硫酸の定量【電位差自動滴定装置】

水酸化ナトリウム標準液による中和滴定で硫酸を定量！装置構成および試薬な…

硫酸-過酸化水素エッチング液は、銅の表面洗浄用やハーフエッチング用 として使用され、 硫酸および過酸化水素を主成分とするものです。 含有する過酸化水素が自然に分解しやすい性質から、一定のエッチング速度を 維持す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社HIRANUMA

表面分析　X線光電子分光分析（ESCA・XPS）

物理分析を行う装置を揃え、立会い分析も可能な受託分析サービスを行ってい…

S）】 ○X線をサンプルに照射して表面から数nmの深さから放出される光電子のエネルギー分析により元素を同定し組成・化学結合状態を分析する手法。 ○絶縁物の表面分析に適しており、Arイオンエッチングによる深さ分析や10μm径のビームによる局所分析が可能。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター