色彩・反射/透過率・光沢・ヘーズ・濁度・色度の測定器総合カタログ

PR「分光測色色彩計・色差計」「光沢計・ミラー反射率計」「ヘーズ・分光ヘー…

当社は、様々な分野で活用される、色彩測定機を 幅広く取り扱っている専門メーカーです。 ただいま、製品ラインアップを多数紹介した「総合カタログ」を進呈中。 固体・液体・粉体・ペレット・フィルムなどに適した分光色彩計「SE 7700」、 ハーゼン色数（APHA）などを測定可能な液体測定専用器「TZ 7700」といった 高性能・高品質の製品を多数収録しています。 【製品カテゴリ】...

メーカー・取り扱い企業： 日本電色工業株式会社

細胞培養液成分を最大16項目同時測定する分析装置！分析解説資料有

PR【細胞培養液分析解説資料進呈】最大16項目を4分30秒で同時測定・分析…

『BioProfile FLEX2』は、細胞培養液成分を最大で16項目同時分析可能な細胞培養環境自動分析装置です。 わずか4分半で代謝・増殖・分化などの培養状況を数値化でき「細胞製造プロセスの継続判断」「大量生産を見据えた培養環境づくり」「GMP対応に向けた品質管理・基準の文書化」などの効率化に貢献します。 複数の形状のサンプル容器を備え、必要な検体量は135～265μLと少量。化学物質、ガス測定...

メーカー・取り扱い企業： ノバ・バイオメディカル株式会社

分析装置『ESCA』

当社のESCAはX線プローブ径を5μmまで絞れます！面分析も可能です。

『ESCA』は、X線プローブ径を5μmまで絞ることが可能な X線光電子分光分析装置です。 X線を走査しながら照射することによって発生する二次電子像 （SXI：Scanning X-ray Image）により測定場所を特定して、局所的な 組成および化学結合状態の分析が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

技術情報誌 202402-02 核酸医薬品不純物

イオンモビリティーを用いて核酸医薬品中の不純物の分離条件を検討し、核酸…

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 核酸医薬品は、その合成過程でヌクレオチド欠損体や付加体、脱硫体等の不純物を生じる。また、核酸医薬品としての安全性や有効性の向上を目的としたチオリン酸化修飾は、リン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

粉体流動性分析装置パウダーレオメータ『FT4』

動的流動性測定・せん断測定・バルク測定などの結果を元に粉体流動性を多面…

粉体流動性分析装置パウダーレオメータ『FT4』は、1台で3通りの 粉体流動性を測定し、対象サンプルの多面的な評価ができます。 従来の測定方法(粒度分布、安息角測定など)では、違いが分からなかった 粉体特...

メーカー・取り扱い企業： ライフィクスアナリティカル株式会社

振動分析

機械装置から原因不明の振動や騒音などの問題を当社が分析！原因究明のお手…

「機械装置から原因不明の振動や騒音が…」 「バランスは取れてるはずなのに…」 そういう時は分析を行って原因を究明するしかありません。 当社には幅広い分野での分析実績があります。 現場でのデータ収集、モーダル解析による実証、有限要素法による シュミレーションなど数々の手法を駆使して原...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メイコウ

分析・測定『放射能検査』

食品や井戸水、土壌、飼料、廃棄物など、あらゆる媒体の放射能を測定

【検査項目】 ■測定項目 　・ヨウ素131、セシウム134、セシウム137 ■検査方法 　・ゲルマニウム半導体検出器を用いた 　　ガンマ線スペクトロメトリーによる核種分析法 ■検査機器 　・ゲルマニウム半導体検出器(キャンベラ製 GC3020) ■納期：5営業日 ■必要量：2L容量(2Kg程度) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日吉

【分析事例】特殊形状試料のSIMS測定

固定方法の工夫により特殊な形状でも分析可能

通常、SIMS測定では数mm角で表面が平坦なチップを用いて分析を行いますが、1mm 角以下の小さなチップや特殊な形状の試料についても固定の前処理を施すことで分析が可能です。 微量成分を調べたい試料の中には、微小チップやワイヤー状試料など、通常では分析には適さ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】X線CT・クライオSEMによる化粧品の3D観察

乳化粒子や無機粉体の形状確認が可能！リキッドファンデーションの塗膜をマ…

当財団が分析した、X線CT・クライオSEMによる化粧品の3D観察の事例を ご紹介します。 プラスチック基材に塗布したリキッドファンデーションをX線CTおよび クライオSEMで観察し、試料内部の分散状態...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【無線アンドンシステム】ログデータの分析で問題を見える化！

どこでいつ呼ばれ、いつ対応しているか。ログデータを分析して潜在的な問題…

しすることで番号が消えます。 受信表示機とパソコンをLANケーブルでつなぐことでログデータを管理することができます。 【メリット】 どこでいつ呼ばれたか、いつ消されたかのデータを蓄積・分析することで ・誰が一番リリーフを呼んでいるのか。 ・どの工程で一番リリーフが呼ばれているか。 ・問題を解決するのに要した時間。 ・まったく押されない箇所はどこか。 など、見えなかった問...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パシフィック湘南

ダイオキシン類分析

MLAP認証を取得！各種環境分析・測定を全国ネットワークで迅速に対応し…

当社では、ダイオキシン類分析サービスを承っております。 MLAP認証を取得しており、計量法特定計量証明事業者認定制度に基づく 認定特定計量証明事業者です。 大気環境基準、水質環境基準、土壌環境基準、大気排出基準、...

メーカー・取り扱い企業： エヌエス環境株式会社 営業本部

【分析事例】銅(Cu)表面自然酸化膜の層構造・膜厚評価

TOF-SIMSによる深さ方向の状態評価

大別して「Cu」「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」の状態にわけられることが知られています。 市販の標準品である「Cu2O」「CuO」「Cu(OH)2 」粉末をTOF-SIMSにより深さ方向分析を行うことで、各状態に応じて特徴的な分子イオンの取得が可能であることがわかりました。 これらの分子イオンを用いて、金属Cu表面自然酸化膜の深さ方向の状態評価が可能となりました。 測定法：TOF-...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

”食品”品質保証体制構築コンサルティング｜HACCP制度化対応！

HACCP制度化、対応できていますか？衛生管理体制の構築や従業員の教育…

SUNATECでは、30年以上にわたり、様々な食品検査、品質管理、衛生管理に携わってまいりました。 このような長年の経験に基づき、お客さま毎に適切な品質保証体制の構築、運用に関するコンサルティングを行っております。 2018年6月にはHACCPが義務化が決定致しました。すべての食品事業者様にHACCPの考え方に基づく衛生管理が求められています。 準備や導入支援など、食の安全確保のために必...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人食品分析開発センターSUNATEC

【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価

XAFSとXPSの複合解析によって高精度なバンドギャップ評価が可能

薄膜試料のバンドギャップはこれまでUV-Vis・PL・XPSなどの分析手法で測定されてきましたが、材料・膜厚・基板などの試料構造の制約から評価可能なケースが限られていました。 今回、XAFSとXPSの複合解析によって、試料構造の制約を少なく、かつ従来よりも高精度なバ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】量子化学計算による有機分子のスピン結合定数の解析

NMR測定と計算の組み合わせにより分子構造の詳細な解析が可能です

核磁気共鳴分析(NMR)は有機化合物の構造解析に用いられる手法です。NMRスペクトルは化合物を構成する原子核のスピンの影響を相互に受け、その影響はスピン結合定数で示されます。このスピン結合定数を評価することで複雑...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

業務紹介　排ガス測定／ダイオキシン類分析

排ガス測定：計量証明事業（濃度）。ダイオキシン類分析：特定計量証明事業…

●排ガス測定：ガスタービン・ボイラ・ごみ焼却場の排ガス、脱硝装置・ＧＨＡ・ＥＰの性能試験、大気汚染防止法に関わる排ガス濃度の計測。 ●ダイオキシン類分析：排ガス、飛灰、燃え殻、排水、土壌、環境大気、作業環境の分析...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＨＩ検査計測

阻害活性分析によって分かること

医薬品を含め、様々な用途に数多くの阻害剤が開発されています！

当社で行う、「阻害活性分析」についてご紹介いたします。 酵素など反応の触媒として機能する物質は量ではなく、その活性で評価。 酵素は生体や環境中での膨大な反応に関与しており、その活性を抑制すること によって特定の酵素反応をコ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社同仁グローカル

テープ粘着剤の構造解析｜受託分析

熱分解GC/MS法により粘着剤の構造解析が可能

粘着テープは日用品としての用途をはじめ、医療用・建築用・絶縁用等、幅広い用途に使用されています。これに用いられる粘着剤はその用途によって異なり、種々の素材が使われています。 本事例では市販粘着テープの粘着剤について、熱分解GC/MS法による構造解析を行なった事例を紹介します。3種のテープの測定を行なったところ、それぞれアクリレート系・スチレン/イソプレン系・シリコーン系という異なる素材が使われて...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】リチウム二次電池負極表面の劣化評価

大気非暴露で前処理から測定・観察まで行います

ン二次電池負極表面を大気非暴露で評価した結果、100～200nm程度のCoを含む付着層が確認され、Coは金属状態であることがわかりました。 適用可能な手法観察手法：FIB‐TEM, SEM 表面分析：SIMS,XPS,AES,TOF‐SIMS その他構造評価等も可能です。 測定法：SEM・FIB・TEM・XPS・EDX 製品分野：二次電池 分析目的：化学結合状態評価・形状評価・組成評価...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラム観察

Csコレクタ付STEMによる高分解能STEM観察

ができます。 HAADF-STEM像との同時取得で、より詳細な構造解析が可能となりました。 本事例では、チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラムを観察した事例をご紹介します。EDX元素分布分析を組み合わせることで、視覚的に原子の分布を明らかにすることができます。 測定法：TEM・EDX 製品分野：LSI・メモリ 分析目的：形状評価・構造評価 詳しくは資料をダウンロード、または...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

環境アセスメント

生活環境影響調査や条例アセスメントなどに関する支援、環境影響評価(環境…

当社では、自然と生活環境の調和のとれた優しい、住みよい環境の 維持、創造をお手伝いすべく、環境に係る各種調査及び コンサルティングサービスをご提供いたします。 大気汚染、水質汚濁、騒音・振動・低周波音、悪臭、土壌汚染、 自然環境(動物、植物、生態系、地形、地質等)などの環境調査を実施。 環境影響評価の対象事業における環境調査、環境影響評価書の作成、 住民説明会の開催支援に実績が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クレハ分析センター

【分析事例】リチウムイオン二次電池内ガスの評価

電池内ガス成分の定性・定量

分解したガス成分を高感度に検出することができます。 GC-TCDでは8成分(H2, O2, N2, CO, CH4, CO2, C2H4, C2H6)の組成比、GC/MSでは様々な分解物などを定性分析可能です。ラミネート型だけでなく、コイン型、角型のセル、さらにイオン液体を使用したセルにおけるガス分析にも対応しております。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】セラミックス材料に含まれる微量金属の価数評価

ppmオーダーの微量金属も評価可能です

各種材料の特性を設計・制御するにあたって、母材に微量含まれている元素の種類や量、またそれらの存在状態を明らかにするのは非常に重要です。このうち元素の種類や量に関してはSIMS(二次イオン質量分析法)やICP-MS(誘導結合プラズマ質量分析法)などによって評価可能ですが、価数・化学結合状態などといった存在状態の評価には放射光を用いたXAFS(X線吸収微細構造)測定が有効です。本資料では測定例...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】AFMによる毛髪表面の微細構造観察

大気中の分析により変質を抑えた定量評価が可能

毛髪表面にあるキューティクルの状態を、AFMにより解析した事例をご紹介します。 AFM は、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。大気中で分析を行うため、有機物の変質や脱ガスなどを起こさず、試料本来の形状を評価可能です。本事例では、キューティクルの開き具合や付着物成分の分布、領域ごとの粗さ評価を画像で評価した他、数値処理により定量的に凹凸...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】錠剤タイプ頭痛薬の成分評価

新品と過酷試験後の成分比較・不明成分の構造推定

市販されている錠剤タイプの頭痛薬に含まれる成分が、過酷試験前後でどのように変化するかLC/MS分析を行い比較しました。LC/MSのTIC（トータルイオンクロマトグラム）により、過酷試験後には新品に存在しない特徴的な成分が確認され、MSスペクトルにより精密質量を特定しました。 さらにLC/MS/...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】海水中のTOC量評価

塩を含む溶液中のTOC濃度の分析が可能です

測定値は、河川や工業用水の水質汚濁を監視・管理する指標として広く採用されています。 今回はNPOC法（不揮発性有機体炭素：Non-Purgeable Organic Carbon）を用いた海水の分析事例を紹介します。TOCを再現性良く測定することができ、他にも塩を含む溶液、メッキ液、研磨剤等幅広い分野に適用可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】クリーンルーム内有機化合物の評価方法

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

ンルームでは、パーティクルだけでなく分子レベルの化学汚染（分子状汚染）を把握することが重要です。浮遊分子状汚染物質としては酸・塩基性ガスや凝集性有機物質、ドーパント、金属などが挙げられ、成分に応じて分析方法は異なります。 ここでは凝集性有機物質の詳細と、代表的な捕集方法である“吸着剤捕集”と“ウエハ暴露捕集”について紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】アクリル樹脂の定性

TOF-SIMS分析による成分の推定が可能です

などの窓ガラス、レンズやプリズムなどの光学用器具・医療用材料・日用品・工芸品などの広い用途があります。代表的なアクリル系の標準試薬について、TOF-SIMSで質量スペクトルを取得しました。MSTでは分析対象の質量スペクトルと標準試薬の質量スペクトルとを比較することで、検出されたフラグメントイオンから、アクリル樹脂の推定が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】NPT-IGBT中ドーパント調査

イメージングSIMSによって局在する元素の評価が可能

NPT-IGBTエミッタ側の50μm角の領域についてイメージングSIMS測定を行いました。図1に分析によって得られた11B,Asのイオンイメージを示します。11BとAsは同じ領域に注入されていることがわかります。 また、通常の分析では検出領域全体の各元素の平均濃度が算出されてしまいますが、イメー...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】バンプの広域断面観察

イオンポリッシュによる断面作製で微小特定箇所の広域観察が可能です

が可能です。加工位置精度も向上し、微小部位を含む広域断面作製も可能です。結晶の損傷が少ないため、綺麗な結晶パターンが得られます。また、機械的応力の影響がないため、内部構造を忠実に保存したまま、AES分析・SEM観察・EDX分析などにより、詳細に特定部位の断面構造を評価できます。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】HF処理前後における骨の状態評価

ラマン分析を用いた薬液処理前後の状態評価

に危険な薬品であり取り扱いには注意が必要です。 このHFによる骨の侵食は、アパタイトとして骨中に存在するCaとHFが反応することでCaF2が生成してしまうことによるものです。この反応の変化をラマン分析で評価した事例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】スマートフォンケース内の液体評価

GC/MSによる液体成分のノンターゲット分析が可能です

2016年4月に国民生活センターから注意喚起がなされ、場合によっては成分を変更した液体が使用されています。 ここでは注意喚起がなされる前に市販されたケース内の液体についてGC/MSでノンターゲット分析を行いどのような成分が入っているか調査しました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】真空中での有機成分の脱離評価

複合解析により特定の有機成分の脱離について温度依存性評価が可能です

TDS（昇温脱離ガス分析法）は真空中（1E-7 Pa）で試料を昇温しながら脱離成分と脱離温度を確認できる手法です。さらに有機物を同定できるGC/MS（ガスクロマトグラフィー質量分析法）とTDSの結果を組み合わせて解析するこ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】薄膜表面処理後の仕事関数評価

ITO表面プラズマ処理後のUPS分析

なされており、それらの効果を検証することは重要です。 本資料では、有機ELや太陽電池等の電極材料として用いられるITO（SnドープIn2O3）について、表面プラズマ処理前後での仕事関数変化をUPS分析により評価した例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】酸化ガリウムGa2O3膜表面近傍の金属元素濃度評価

極浅い領域でも高感度に分析

ことから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。ウエハの開発には、特性を左右する不純物濃度の制御が重要です。本資料ではGa2O3膜の表面近傍について、金属元素の定量分析を行った事例を示します。 TOF-SIMSでは極浅い領域でも高感度に評価が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】テクスチャ付きGaN系LEDの元素分布評価

凹凸のある構造でも平坦化加工により深さ方向分布評価が可能

GaN系LEDは照明用途としても広く用いられるようになりました。光の取り出し効率を高めるため、取り出し面に凹凸を設けることがありますが、この凹凸が深さ方向分析における深さ分解能の劣化を招きます。 テクスチャ凹凸面に平坦化加工を施すことにより深さ分解能の劣化を抑えて深さ方向濃度分布を評価した事例と、バックサイド(基板側)から分析を行った事例をご紹介します...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

定期オイル分析

定期オイル分析は「機械の血液検査」！オイルの分析に関する事なら何でも御…

当社は、オイル分析による無駄の無いオイル交換を提案します。 定期的にオイル交換を実施する事により、機械性能の低下を防ぎ、 設備故障を低減し、設備保全経費の節減に繋がります。 メンテナンスの一環に取り入れ...

メーカー・取り扱い企業： 三泰産業株式会社 本社

【分析事例】UVセンサ　AlGaN中不純物濃度の高精度評価

様々なAl組成のAlGaN標準試料をラインアップ

SIMS分析において、より確かな濃度定量値を算出するには測定サンプルと組成の近い標準サンプルを用いることが不可欠です。 紫外LEDやUVセンサに用いられるAlGaNについて、Al含有量に応じたAlGaN標準試...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ZnO膜の組成・不純物の三次元分布評価

イメージングSIMS分析により面内分布を可視化

デバイス作成の要素の一つである膜組成の均一性と不純物の分布状態をイメージングSIMS分析により評価しました。 測定後のデータ処理により、平面イメージ（図1）・断面イメージ（図2）・任意箇所の深さ方向分布プロファイル（図3, 4）・ラインプロファイルを得ることができます。構成材料・不純...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】プラスチック容器の表面金属汚染評価

XRFによる高分子材料中不純物の組成・分布評価

XRFは構成元素の組成及び分布を評価する分析手法です。特徴として測定に際して特殊な前処理が不要であり、1.2mm～数cmの広範囲において、非破壊で測定できる点が挙げられます。 XRFによる元素分析事例として、薬品保存容器の高分子材料に含まれ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】表面酸化膜のある異物の状態評価

水酸化アルミニウムAl(OH)3と酸化アルミニウムAl2O3の評価が可…

金属の異物を定性評価したい場合、最表面のみを分析すると異物表面に存在する酸化膜の情報となってしまうため、異物そのものの情報が得られないことがあります。 TOF-SIMSにより深さ方向に分析を行うことで、酸化膜より深い位置にある異物そのものの組成...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

マイクロESCAによる分析

当社のESCAは X 線プローブ径を5μmまで絞ることができます。

400LPI の銅メッシュ（メッシュ間隔：63.5μm）をマイクロ ESCA （Quantum-2000）により分析した例を紹介します。 二次電子像から分析視野を指定してその領域の銅の面分析を行いましたが、 二次電子像に対応した銅の分布が得られました。 さらにこのデータから測長機能を利用してメッシュ間距...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

【分析事例】室内空気環境測定事例

室内空気中のアルデヒド・ＶＯＣ（揮発性有機化合物）の分析が可能です

nds：トルエン、キシレン、パラジクロロベンゼン等）はシックハウス、シックスクール症候群の原因とされています。 パッシブ法によりサンプリングした室内空気中に含まれるホルムアルデヒド・トルエン濃度を分析した事例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】MSDMについて

TOF-SIMS：飛行時間型二次イオン質量分析法

TOF-SIMSの深さ方向分析では平面上の位置情報(x,y)を無視すると、各深さ(z)で質量スペクトルが存在するため、深さ・質量・スペクトル強度の3次元データが得られます。この3次元データを1枚の画像として可視化したものが、MS...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【受託試験】油材分析・金属性状・精密測定

お客様の課題テーマに対応した受託試験！幅広く対応可能です

当社では、「油材分析・金属性状・精密測定」の受託試験を行っております。 精密測定機器や性状・油材分析機器を利用した 油材分析、金属性状、精密測定が可能。 自動車開発で数々の実績を持つ経験豊富なエンジニアが...

メーカー・取り扱い企業： ジヤトコエンジニアリング株式会社 本社

自動比色分析装置　ＡＱ400（エーキュー400）

ディスクリート方式により試薬の添加・秤量・比色までの工程を全自動で行い…

多種類の試薬の添加、混合、希釈、発色から比色定量まで全自動で行うことができます。試薬の添加、混合、希釈工程をカスタマイズして使用することができます。多項目の測定が同時に可能です。...試薬の消費量が少なく簡便に比色定量が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： ビーエルテック株式会社

【分析事例】SiN膜中の金属汚染評価

ICP-MSによる高感度分析

Siウエハ上のSiN膜（Si3N4）を溶解した溶液中には、着目している不純物金属元素以外に膜由来のSiマトリックスが含まれています。そのため、溶解した溶液そのものでは精度よく高感度分析ができません。 そこで、Siウエハ上のSiN膜を溶解後、別途処理を施すことでSiマトリックスの影響なくSiN膜中不純物金属元素の分析を可能としました。市販品のSiN膜付きSiウエハを用いてICP-...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST