撹拌機「AJITER」×水圧モータ「NADS」

PR水の力で撹拌機を動かす！エアーを使わないので空気が綺麗、電気を使わない…

水道水を作動流にするNADSの水圧モータを使用した撹拌機です。 エアーを使わないので空気が綺麗、電気を使わないので環境に配慮した 安全・安心な撹拌機です。 【NADSとは？】 NADSはNACOL株式会社の新・水圧技術（ADS: Aqua Drive System）を 使用したポンプやモータ、リリーフ弁、ソレノイドバルブ等を展開する シリーズ。空圧や電気駆動では難しかった高性能な駆...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社島崎エンジニアリング 本社

全自動＆半自動キャッパー　※PPキャップなど様々なキャップに対応

PR様々なキャップに対応可能な巻締機！飲料、化学薬品業界で実績がある全自動…

吉村鉄工所の全自動＆半自動キャッパーは、どちらにも対応可能で、 全自動では10～40本／分の巻締めが行え、様々なサイズのキャップに対応可能です。 溶液に応じた材質の変更や防爆仕様での製作も可能です。 飲料、化学薬品業界などで多数採用いただいております。　 ★本製品は自動キャップ巻締機「E-3B（K）-O（PP;CC;SC）型」、 半自動キャップ巻締機「AF-3i-O（PP;CC;SC）型」のオ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社吉村鉄工所

マイクロマノメーター　Model 6850

安定性に優れた微差圧センサーにより高い精度で差圧計測が可能

・2つの場所の圧力の差を表示することができます。 ・ハンディタイプのデジタル式で、携帯に便利です。 ・オプションのピトー管を使用すれば、風速・風量の計算と表示が可能です。 　表示部はLCDフルカラーディスプレイ...

メーカー・取り扱い企業： 日本カノマックス株式会社

テンシオメータ『DIK-3210』

煩わしいケーブル配線が不要のテンシオメータ！

【本体仕様】 ■電源：単2電池2本（測定間隔60分で約1年間の寿命） ■ポーラスカップ：セラミック（φ18ｍｍ） ■受感部長さ：10～100cm（10cm刻み） ■測定圧力範囲：0～-100kPa ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 大起理化工業株式会社

水及び水性液用高圧高精度微小流量計『P234MZ』

広域測定レンジにわたり低圧損と高精度！4－ピストンタイプ高圧（21MP…

量測定及び制御などの用途でご利用いただけます。 【特長】 ■流量測定範囲　 ：1～2000cc/min ■精度（粘度1cp）：読取値±0.4%以下（100:1以上のレンジ） ■最大使用圧力　 ：２１MPa　 ■パルス出力　　 ：180p/cc（一方向）5V電圧パルス 　　　　　　　　　　A/B相各90p/cc（正逆流測定） ■電圧出力　　　 ：±10VDC/電流：±4-2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東洋コントロールズ

差圧センサ『FDA602S1K』

流速が計測できる差圧センサ！コンパクト設計ながらコネクタと一体化

【仕様】 ■過負荷許容量：計測範囲の3倍 ■コモンモード圧力：700 mPa ■精度：±0.5%m.v(計測範囲内) ■基準温度：25℃ ■温度ドリフト：最大1.5%m.v. ■温度補正範囲：0～70℃ ■計測範囲 　温度：-10～60℃ 　湿...

メーカー・取り扱い企業： セントロニック株式会社

リークテスタ（低価格タイプ）　NT-600

サービス部門などに最適なローコストリークテスタ

リークテスタとは製品、部品の気密（漏れ）検査において圧力変化を高精度差圧センサーで電気的に捉えるテスタです。 水没検査と違い、ワークを濡らさず、個人差が無く、数値的な検査が出来る検査器です。 自動機への組み込みが容易です。 ナックのリークテスタは気密検...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナック

流量計『ガスフローメーター』

4ミリ秒単位での測定が可能！測定結果のデータロギングができるTSI社製…

当社では、流量、温度、絶対圧力、体積、低差圧および湿度を1つの装置で 測定できるTSI社製の『ガスフローメーター』を取り扱っております。 テストのセットアップを簡素化するだけでなく、複数の機器を購入および 保守しないこ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本サイエンスコア

デジタル圧力計『DG-980シリーズ』

従来の価格帯を越えた高精度・多機能の圧力計！

『DG-980シリーズ』は、高精度・多機能を実現した絶対圧用の デジタル圧力計です。 操作がとても簡単で、作業効率アップが可能です。また、低ドリフトで 長期安定性があります。 本体には、データメモリ機能・自己診断機能が付いていて、 RS-232Cインターフェ...

メーカー・取り扱い企業： 東京航空計器株式会社 東京航空計器株式会社

フィルムテスター厚み測定器　ハンディタイプ※デモ受付中！

コンパクトボディで持ちやすいハンディシリーズ

Handyシリーズ オリジナルのエアレリーズにより、測定子の下降スピードが一定。 フィルムへのダメージを軽減し、測定者によるバラツキを抑えます。 【特長】 ■手軽にどこでも測定が可能 ■測定圧力が小さい為、フィルムへのダメージを抑え正確な測定が可能。 ■豊富なオプションをご用意 ※新横浜デモルームにてテスト受付中！オンラインデモも実施中。お気軽にお問合せください。 カタログダウンロード...

メーカー・取り扱い企業： 松尾産業株式会社 東京支店

内圧疲労試験装置

オプションアタッチメントで外圧疲労試験に応用も可能です

により可燃性の液体（ガソリン・油など） でも試験可能です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■1秒間に50回の超高速加減圧で試験時間を短縮 ■30MPaまでの圧力を任意に設定・管理 ■試験液体を選ばない ■加減圧可能な全ての単品部品に対応 ■試験を外部委託から内製化へとシフト可能　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社システック

ロードセル　製品カタログ

超小型圧縮ロードセルやワッシャ型ロードセル、デジタルパネルメータなどを…

どを掲載しています。 ただいまカタログを無料進呈中！ 【掲載製品】 ■超小型圧縮ロードセル ■小型高容量「トップハット」圧縮ロードセル ■ワッシャ型ロードセル ■高速USB出力　圧力トランスデューサ ■4桁、6桁表示　デジタルパネルメータ　ほか ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 東洋計測器株式会社

二軸セグメント押出機 2D30W2（ラボプラストミル用小型押出機

セグメント方式のスクリューを採用した、混練・押出成形評価試験装置『ラボ…

■L/D：30 ■加熱温度： 350℃（電気加熱） ■最大許容トルク：300N・m ■ヒートゾーン：5ゾーン ■シリンダー：圧力（温度）検出孔 5ヶ所 　　　　　　　内径∅25mm　空冷機能付　 　　　　　　　ベント孔 2ヶ所（ベントポート1組付） ■スクリュー：セグメント型　同方向（2倍速回転） ■定量フィーダー（...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東洋精機製作所

【リミット・ポジションスイッチ】磁気近接センサ ラインアップ一覧

さまざまなコンタクト構成がSPST(単極、ダブルスロー)で利用可能！ …

ドから構成。 マグネット式で、磁場がスイッチに向かって移動すると動きます。 さまざまなコンタクト構成がSPST(単極、ダブルスロー)で利用可能です。 【特長】 ■スイッチには物理的な圧力がかからないため、標準的な摩耗はなし ■電圧不要 ■信頼性が高く、コンパクト ■リードスイッチを収納しているガラスチューブによって腐食から保護 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気...

メーカー・取り扱い企業： アールエスコンポーネンツ株式会社

ショブ式全自動反発弾性試験機 SB-A1

ＪＩＳ Ｋ６２５５（２０１３）に準拠！ リュプケ式とデータに相関性が…

0.02m/s 〇リリース方式：電磁石電流切断による開放 ○供給装置：リボルバー式20個 ○試験片：Φ29.0±0.5mm、厚さ12.5±0.5mm 〇保持力：200±20N 〇エアー圧力：0.4MPa以上 〇使用環境：５~35℃　35~85％RH　結露なきこと 〇機体寸法：約W550×D700×H880mm 〇質量：約100ｋｇ 〇電源：AC100V　単相　50/60Hz ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東洋精機製作所

超マイクロン級センサー組立プロセス

磁気センサー組立や感度試験などを実施！当社の組立プロセスについてご紹介

【その他特長】 ■高感度圧力センサーパッケージング組立 ■感度試験 ■超マイクロン級センサーの新型パッケージング技術 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： Diagsensor

TMP103 グリセリン封入オールステンレス圧力計

Trafag（トラファグ社）製のグリセリン充填型オールステンレス圧力計…

Trafag（トラファグ社）製のグリセリン充填型オールステンレス圧力計です。 ブルドン管・株・ケース・ムーブメント等の主要部品はステンレス製です。そのため、厳しい流体・外部環境でもご使用いただけます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エルシーアイ

プレッシャーセンサー『HPMシリーズ』

接続部に耐食性を持つフッ素樹脂を採用！インラインタイプで省スペースに取…

ご紹介です。 接続部に耐食性を持つフッ素樹脂を採用し、インラインタイプで省スペースに 取り付けが可能。 デッドスペースを抑えた流路構造により、内部の容積量を最小限に抑えました。 圧力種類がゲージ圧の「HPM-M6-1.5」や、連成圧の「HPM-M6-1.5-D20A」を ラインアップしています。 【特長】 ■インラインタイプで省スペースに取り付けが可能 ■デッドスペ...

メーカー・取り扱い企業： サーパス工業株式会社 本社

シールドガス節約器『エコノ・ダイヤル』

CO2削減をご提案すると共に、コスト削減を応援いたします！

安定したガス流量を保ちながら、溶接の品質を 損なうことなく、省エネとスムーズなアークスタートをする事ができます。 また、用途に合わせてラインアップをご用意しております。 【特長】 ■圧力バランス式構造を採用 ■取付角度を自由に選択可 ■流量設定を溶接条件に的確に合わせることができる ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社千代田精機 本社

ラジアルピストンタイプ高精度微小流量計MODEL『P234MZ』

水及び水溶液用に開発された4-ピストンタイプ高精度微小流量計

2000cc/min 出力：・パルス：180p/cc(一方向)5V電圧パルス 　　　　　　　　A/B相各90p/cc(正逆流測定) 　　　・電圧：±10VDC/電流：±4-20mA 最大使用圧力：21MPa ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東洋コントロールズ

ATI フッ素イオン濃度計『Q46F型』

一定のサンプル水を供給すれば、自動的に流量・圧力・pHをコントロールし…

『Q46F型』は、排水、放流水、飲料水中のフッ化物イオンの連続測定にご使用頂けます。 フッ素イオン選択電極(ISE)を採用しており、0.1PPMから 最高1000PPMまでのフッ化物イオンを測定できます。 シンプルな構造で、低コストでフッ化物イオンの連続測定ができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【仕様】 ■測定対象：フッ素イオン...

メーカー・取り扱い企業： サニー・トレーディング株式会社 営業本部

テストホースキット『Fluke 700TTH10K』

トランスミッター接続用のツール不要！定格68,950kPaのテストホー…

『Fluke 700TTH10K』は、校正器/テスト・ポンプと使用できる、使いやすい プレミアム圧力トランスミッター・テスト・ホース・キットです。 定格68,950kPaで、校正器またはテスト・ポンプに恒久取り付けできる 1/8インチNPT接続同梱。 また、トランスミッター接続用のツ...

メーカー・取り扱い企業： ニッシン産業株式会社

ブラストノズル内径ゲージ　103

ワックスペンが12本入り！オリフィスの摩耗状態を知る事ができます

当製品は、ブラストノズルのオリフィス寸法をすばやく容易に 測定する為のゲージです。 ゲージの正しい使用により、噴出圧力の低下やベンチュリ効果の 低下などの原因になるオリフィスの摩耗状態を知る事ができます。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【仕様(一部)】 ■測定範囲：6.4～16mm、...

メーカー・取り扱い企業： Elcometer株式会社 エルコメーター

SUS製 液体減圧弁 　RF-S シリーズ

接液部がSUS316、316(L)、FKM、POMなので、様々な液体に…

サイズ ● グリスレス 　 ・接液部にグリスは不使用 ● 禁油仕様 　 ・禁油室での組み立て ●低コストを実現 【仕様】 ■型式：RF-S-4-2 ■使用流体：非腐食性液体 ■圧力設定範囲(MPa)：0～0.4 ■1次側圧力範囲(MPa)：MAX1.0 ■使用温度範囲(℃)：5～50 ■配管接続口径：Rc1/4 ■質量：0.15ｋｇ ※詳しくはPDF資料をご覧い...

メーカー・取り扱い企業： 藤倉コンポジット株式会社

粉流発生装置『Gas Flow Visualizer FH-3』

安定且つ密度調整可能な粉流を実現！

【仕様】 ■粉量：50cc以下（食品添加タルク） ■圧力：大気圧～100kPa ■電源：DC12V、1A ■重量：約1.5kg ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： LLAT

ポータブル型リークテスター『PLT-3221FR』

検査はボタン１つ押すだけ！

【仕様】 ■検査圧力範囲：±100,000pa ■最小表示・判定値：1pa ■使用温度範囲：+7～-40℃ ■使用湿度範囲：10～80％ ■寸法（mm）：W130×D295×H310 ■質量：6.5kg ...

メーカー・取り扱い企業： 高千穂精機株式会社

フロート式　SIKAレベルスイッチ

シンプルなレベル計測に最適

警報に最適 ■防水保護等級（IP65） ■最高流体温度 　110℃(金属タイプ)、100℃(プラスチックタイプ) ■最高流体温度 　80℃(端子箱付タイプ)、110℃(ケーブル付タイプ) ■流体圧力 　25bar(金属タイプ)、10bar(プラスチックタイプ) ■材質 　ステンレス1.4571(SUS-316ti相当)、ブラス2.0401 　プラスチックPPO Noryl GFN3、他 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東洋信号通信社 計量機器Gr

Blancett GasQuickSert ガス用タービン流量計

耐久性の高いガス用タービン流量計です。

410/304、ベアリング：タングステンカーバイド 精度：±1.0％（読取値）（モニターまたはフロートランスミッターによる計測時） 校正：空気ベースで実施（NISTトレーサビリティ対応） 最大圧力：真空から15.3MPa 温度範囲：-40～165℃...

メーカー・取り扱い企業： サニー・トレーディング株式会社 営業本部

BODsバイオセンサ

連続監視運転を重視した充実の機能と優れた測定精度＜BODsバイオセンサ…

活性汚泥や各種細胞を簡単に固定化できる固定化キットを用意しました。有機汚濁の検出以外に活性阻害成分の検出などに応用できます。 ・連続監視運転に適した構成 高精度電子冷熱方式温調、圧力センサによる配管閉塞の自動検知などの機能を充実し安定な自動運転をサポートします。...

メーカー・取り扱い企業： 王子グループ　機能材カンパニー

総合カタログ　層流形空気流量計『LFEシリーズ』　

空気流量を低圧力損失で高精度に計測

当カタログは、エンジンやブロワなどの空気流量計測に適した 層流形空気流量計『LFEシリーズ』の総合カタログです。 層流形空気流量計（ラミナフローメータ）は低圧力損失を特性とし、 また経年変化の少ないソニックノズルは流量制御に優れた性能を発揮します。 【特長】 ■定格流量10mL/分～500L/秒まで全31モデル ■圧力損失0.8kPa以下、直線...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社司測研 本社

【鍛造品】木田バルブ・ボールが誇る高度な鍛造技術　　

鍛造（たんぞう）は金属を打撃加圧することで素材の強度を高めます。

･製品形状に沿ったメタルフロー（鍛流線）が得られ強度アップ。 ・最大能力2500tプレスの圧力を加えることにより組織が緻密となり、 　内部欠陥がない。 ・形状に近い形に鍛造する事で、機械加工軽減、重量節減。 ・同じ強度を保ちながら肉厚を薄くする事での軽量化。...

メーカー・取り扱い企業： 木田バルブ･ボール株式会社

PR53GC コンパクトプロセス屈折計

本屈折計は、酸、アルカリ溶液、アルコール、炭化水素、溶媒などのさまざま…

トでありながら、汎用性の高いヴァイサラPolaris PR53GC コンパクトプロセス屈折計は、最も強度の化学薬品を含め、濃度の計測を目的とした、化学工業やその他の産業向けの製品です。超広域の温度と圧力が一般的なプロセスには、オプションの冷却カバーを利用することができます。 この計測機器は箱から出してすぐに使用でき、現場での調整は必要ありません。ヴァイサラの500を超えるライブラリから屈折率値...

メーカー・取り扱い企業： ヴァイサラ株式会社

多系統のラインをコンパクトに集合配管　スーパーマニホールド

流量計、電磁弁、バルブなどが集中する配管部分をコンパクトにします。施工…

・口径１インチ。大流量向き。 ・最大10連結まで ・自由な流路設計 使用流体：工業用水、水 最高使用圧力：1.0MPa 流体温度：0-60度 その他の仕様はお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

温度の基礎知識Vol.1　ヒートブリッジとは？

資料進呈中！ヒートブリッジの仕組みや温度の基礎知識などをご紹介！

湿度・温度・露点・圧力の機器を取扱う当社のノウハウ・知見をまとめた 『温度の基礎知識Vol.1　ヒートブリッジとは？』を無料進呈中です！ ヒートブリッジの仕組みや、正確な温度を知るための工夫などを解説。 わずか...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社第一科学

流量管理に好適『SIKA製・パドル式フロースイッチ』

マグネット制御で耐久性の向上・長年のノウハウにより動作点の安定性を実現…

る事により、水、油等、様々な流体にて使用する事が可能です。 又、パドル式のため、さまざまな条件下にて実流量による検知が行えます。 【特長】 ■マグネットの反発を利用、機械的劣化が少なく長寿命 ■圧力損失がごく僅か ■耐酸化に優れ、火花の発生も防ぐリードスイッチを採用 ■スイッチはA接点・B接点の切替可能　 ■動作点の微調整可能　 ■パイプ付タイプ（8～50A）、直接取付タイプ（20～200A）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東洋信号通信社 計量機器Gr

ガーレー式デンソメーター（透気度試験機）

紙などの透気度（通気度）測定に用いられるガーレー式の透気度試験機（ガー…

■参考規格：JIS P 8117、L 1906、ISO 5636 ■試料クランプ方式：レバー操作による定荷重方式 ■内筒重量（圧力）：567g ■空気透過率：25、50、75、100、150、200、250、300、350ml ■透過面穴径：28.6mm（6.45cm2） ■オプション：小型プリンター【型式PS-B1】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東洋精機製作所

Badger Meter インペラ式流量計

インペラ式流量計は6枚羽の特徴的なデザインをしています。

＜仕様＞ ・流量、温度(オプション)で熱量測定も可能 ・流量レンジ：0.15～9.14m/sec ・使用圧力：20barg最高 ・使用温度：105℃最高 ・測定精度：±1%FS ・ボディ材質：SUS、PVC、PVDF...

メーカー・取り扱い企業： サニー・トレーディング株式会社 営業本部

ETI温度表示計

水銀温度計からの代替品としてFDA CFR Part113対応デジタル…

Ellab社よりデジタル式温度・圧力表示計が発売されました。 水銀を含んだ製品の製造・輸出入を禁止する条約に対応できるよう開発された製品です。 既に欧米諸国では水銀温度計からの代替が進んでいます。 【特長】 ■デジタル式白...

メーカー・取り扱い企業： エラブジャパン株式会社

超音波流量計｜時間差式流量計 「SL1168＆SL1168P」

手軽さとハイスペックを両立した次世代の超音波流量計！

超音波流量計は、配管の外側に検出器を設置するだけなので、配管の加工を必要としません。その為、工事費用を大幅に削減できるほか、圧力損失が無く、流体非接触なので純水や薬品等の計測にも適しています。...

メーカー・取り扱い企業： ハイテック株式会社

熱処理向け　露点計・酸素濃度計・温湿度計・湿度計・油中水分計

雰囲気炉中の露点計・酸素濃度計・オイル中水分計・腐食性ガス中水分計等計

理炉、浸炭炉・焼入炉・乾燥炉などの雰囲気管理が必要な炉において当社は多くの実績を持ちます。熱処理炉の場合、結露やごみの処理、液化が懸念される溶剤などのガス、腐食性ガスなどの混入の危険性があり、同時に圧力・温度のコントロールが重要です。これらの問題を解消するために制御盤も自社製作しております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクネ計測

精密機器　製造・販売サービス

『誠意・熱意・創意』ガス制御機器の総合エンジニアリング ユタカ社

ユタカ社は、さまざまなお客様のニーズにお応えし、 Crownブランドの高圧ガス用圧力調整器他の各種ガスコントロール機器を、 ISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、 設計・製造・販売しています。 また、経済産業省高圧ガ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユタカ

光学泡圧式表面張力計

ゲル化濃度も測れる！新規方式に光学的泡圧式を採用した表面張力計をご紹介…

『光学泡圧式表面張力計』は、従来測定できなかったゲル、エマルジョン、 高粘度液体の表面張力が測定できます。 圧力に対する曲率半径の挙動から、正確なゲル化濃度が測定可能。 新規方式に光学的泡圧式を採用し、圧倒的な測定数による高精度を実現 しました。 【特長】 ■光学的泡圧式を採用 ■従来測定で...

メーカー・取り扱い企業： テック・ワーク株式会社

フィールドデータキャッチャー

アナログの計測値を無線データ転送

1.アナログ出力を持った計測器やセンサーからの入力電圧を無線でデータ転送します。 2.変位、圧力、温度、風速、湿度、傾斜などのアナログ信号を無線でロギング 3.ソフトウェアで演算→解析→レポート出力まで連動...

メーカー・取り扱い企業： 九州計測器株式会社

バイアル全数漏れ試験装置｜MSQ-2002 series

水没試験にかわる非破壊検査の決定版！

処理能力：最大100個 / 分（処理能力変更については要相談）、 検査精度：最小可検孔径 φ 5 μm ～（検査対象物や検査条件により変動有り） 試験方法：密封チャンバー法（圧力変化洩れ試験法１、JP18無菌医薬品包装漏れ試験法） 外観寸法：W 1500 × D 1650 × H 2100 mm ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フクダ

圧力計『標準形圧力計』

基本圧力計として幅広くご利用いただけます

『標準形圧力計』は、JIS B 7505ブルドン管圧力計規格に基づいて製作 されている圧力計です。 生産実績を豊富に有している信頼性の高い製品で、基本圧力計として 幅広くご利用いただけます。 【...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社高島計器

ミューレン破裂試験機 E（アナログ型）

アナログタイプのミューレン破裂試験機（ミューレン形破裂強度試験機）です

紙や織物などの破裂強さを評価試験するミューレン破裂試験機で、低圧形と高圧形があります。E型は、従来型のアナログタイプです。 低圧形は2500kPaまで、それを超える圧力の試験には高圧形を使用します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東洋精機製作所

RF　スペクトラルメータ

RFインラインを乱すことなく、チャンバー内の様々な異常を検知し、歩留り…

・装置内のガスクリーニングの終わりを検知できます。 ・ウェハのハンドリングミスやガスリーク、圧力変化、電力変化も検知できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー