【最大供給圧：120MPa】油圧比較校正ポンプCPP1200-X

最大供給圧が120MPaでの圧力供給、圧力の微調整を可能としたスピンド…

CPP1200-Xは最大120 MPaの圧力を試験器と高精度の基準圧力測定器を接続し、同じ圧力を両方の測定器に供給されます。 切り替えバルブにより、スムーズな圧力発生を可能にし、スピンドルポンプを用いて供給圧力の微調整を行えます。 任意の圧力...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

【最大供給圧：700MPa】スピンドルポンプ　CPP7000-X

最大7,000barまでの圧力供給が可能なポンプで、圧力の微調整が可能…

CPP7000-Xは、最大700MPaの圧力発生ポンプです。 比較測定による圧力計器の試験、調整、校正用の圧力発生源として実験室や作業場または現場で使用することができます。 試験品と基準圧力測定器を接続すると、同じ圧力が両方の測定器に供給さ...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

【最大供給圧：12MPa】空圧比較試験ポンプ CPP120-X

圧力入口と圧力出口もしくは真空口の2つからなり、圧力の微調整用に細かい…

最大120 barの圧力を供給するための空気圧式比較試験ポンプです。 圧力測定器の比較テスト、調整、校正のための圧力発生源として実験室や作業場、または現場で使用することができます。 試験器と十分な精度を持つ基準圧力...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

水圧用ハンドテストポンプ Model：CPP700/1000

シンプルで人間工学に基づき操作性が良く、微調整弁による正確な圧力調整が…

CPP700/1000は、比較測定による機械式および電子式圧力測定器の試験、調整、校正のための圧力ポンプとしてご使用いただけます。 圧力試験を実験室やプラントや工場の現場でも行うことを可能にします。 非常にコンパクトなサイズにもかかわらず、最大で700...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

空圧用ハンドテストポンプ Model：CPP30

正圧/負圧の切り替え、微調整弁による精密な設定が可能。シンプルで人間工…

CPP30は比較測定による機械式・電子式圧力測定器の試験、調整、校正用の圧力発生器としてご使用いただけます。 圧力測定点に正確に調整できる、微調整バルブが装備されています。 -0.95 barまでの真空発生に切り替えることができ、...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

【最大供給圧：100MPa】油圧比較校正ポンプ CPP1000

最大供給圧が160MPaで操作が良く、 測定器の位置合わせ可能な接続部…

比較測定による圧力測定器の試験、調整、校正のための圧力発生源として、実験室、作業場、現場でご使用いただけます。 高圧でもハンドスピンドルのスムーズな動作を可能にし、ポンプを動かしても本体サイズが変わりません。 試...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

【最大供給圧：100MPa】油圧スピンドルポンプ CPP1000

精密スピンドルにより使い易く、オイルタンク内蔵、取り外し可能なスターハ…

比較測定による圧力測定器の試験、調整、校正のための圧力発生器としてご使用いただけます。 最大供給圧力は100MPaですが、容量の小さい圧力測定器の試験・校正用としてもお使いいただけます。 ＜スペック＞ ・供給圧力レ...

メーカー・取り扱い企業： ビカ・ジャパン株式会社

[高精度マイクロポンプ] 圧力制御式送液システム Flow EZ

マイクロ流体アプリケーションに最適な高精度送液システム

Fluigent社の圧力制御式送液システム Flow EZは，空気圧の精密な制御によりリザーバ内の試薬を押し出すため，脈動のない非常に精緻な試薬送液を行うことが可能です。PC無しで圧力の操作や観察ができ，さらにPCと接続し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ASICON

リニアポンプ『LRシリーズ』【優れた定量性と送液精度！】

医薬・研究・食品・環境分析など幅広い用途に応える高機能！独自開発による…

minの微小流量～100mL/minまでの送液を実現。 　※ 選定したバルブモジュールによってCv値仕様範囲が異なります。 ■高精度 　高分解能・高制御。Cv値0.5〜3.0%を実現。 　圧力変動・可変時の流量変動に強い。 ■コンパクト 　人間工学に基づいた縦型ポンプモデルを採用。 　省スペースで現場での持ち運びも容易。 ※詳細はお問い合わせいただくか、PDFダウンロードから...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イワキ

圧縮エアー駆動のダブルダイヤフラムポンプ『TCシリーズ』

高圧吐出・圧力制御が容易で完全自給式。スラリー液や高粘度液、薬液の搬送…

【仕様】 ◎金属タイプ　TCS / TCA型 　最大吐出量範囲：11.5 - 800 L/min 　最大吐出圧力：0.85MPa ◎樹脂タイプ　TCP / TCG / TCD / TCV型 　最大吐出量範囲：11.5 - 760 L/min 　最大吐出圧力：0.7MPa ◎フッ素樹脂タイプ　T...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イワキ

Elveflow 空圧式ポンプ マイクロ流体フローコントローラー

高精度、安定、低脈動の流体制御を実現

空圧式ポンプ マイクロ流体フローコントローラーOB1 MK3+はマイクロ流体チップなどに液体やガスを送液するための圧力ポンプです。 最大4チャネルの流路に-900mbarから8barの圧力送液制御を行うことができます。 OB1 MK3+はピエゾ式圧力制御や付属ソフトウェアのPIDアルゴリズムにより、他社のコ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナル

ニューマシール:空気膨張シール

豊富な断面形状で用途に合わせたシール提案が可能。∅60mm以下の小径製…

バルブ,オートクレーブ、クリーンルームのドア等のシールとして使用可能です。 ● 広いシール面を、素早く、気密性高くシールしたい ● 耐荷重性能が高く、寿命が長い ● 真空下、圧力下で気密性が高い ● 付帯設備を空圧だけで簡単に済ませたい ● シールの相手面の平坦度や仕上精度が出しにくい ● 頻繁に圧力変動にさらされても耐久性が高い ● 自動圧力監視をしたい...

メーカー・取り扱い企業： 日本トレルボルグ シーリング ソリューションズ株式会社

小型高圧ハンドポンプ『HP-500』

500MPa まで加圧可能な増圧器付ハンドポンプです。

HP-500は小型の高圧ポンプで、最大圧力発生時のハンドル過重が 小さいので､腕力に自信のない方でも簡単に高圧が得られます。 圧力保持用の締め切りバルブが付属しており、長時間の高圧実験に 際して圧力の保持がより確実です。 また、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シン・コーポレーション

ドライ真空ポンプ「ISPシリーズ」

リーク性能が2ケタ向上！スクロール真空ポンプ「ISP-250E」が新発…

【その他　真空ポンプの特長】 ◆幅広い製品ラインアップ ISP-50からISP-1000Eまでの5機種に加え、DVSL・GVS・BDLシリーズと 幅広い圧力領域に対応できます。 ◆スクロール機構の採用 トルク変動が少ない機構だから低振動・低騒音です。吸入室と排気室が隣接していないので漏れが少なく高効率です。 ※一部製品を除く ◆日常メン...

メーカー・取り扱い企業： アネスト岩田株式会社

昇圧ユニット Leviboost 75/140

清浄流体・薬液・超純水の安定した圧力を！

ズは、高純度薬液・超純水等向けにのスタンドアローン型昇圧ユニットです。既存のシステムの改造無しでライン中に設置する事が可能です。 また、レビトロニクスの持つ磁気浮上型ベアリングレスポンプと高精度な圧力センサを用いてフィードバックによる流体の圧力一定制御を可能にします。 最大75Lの600Wと最大140Lの1500Wの2つのタイプがあり、小流量から大流量までタイプに応じて0.1-04MPaの昇圧...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

モーター直結型高真空ドライポンプ KHFシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。CEマーキング対応を標準ラインナップ。

■CEマーキング対応(04,01Bタイプ)。 ■到達圧力での連続運転可能。 ■ブレード交換が容易(KHAシリーズ比)。 ■運転真空度が高く、エゼクターの代替えや電子部品等の小部品の自動機(装着機等)に最適。...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

《超微量の送液を実現！》ピエゾマイクロポンプ「SDMPシリーズ」

駆動電圧・周波数での流量操作ができるコインサイズのマイクロポンプ！低騒…

＜仕様＞ 【型式：SDMP302】 ■ポンプ方式：圧電型ダイアフラム式 ■標準流量：3 mL/min ■標準ポンプ圧力：40 kPa ■駆動電圧：60 ～ 250 Vp-p ■駆動周波数：10 ～ 60 Hz ■吸引負荷圧力：-1.0 kPa （Typ.） ■動作温度：5 ～ 50 ℃ ■接液材質：樹脂...

メーカー・取り扱い企業： 高砂電気工業株式会社

手押し移動が可能な台車型超精密定量移送ユニット『入れ太郎』

押し出し機への供給用途に最適！全使用域で流量誤差±0.1％以下の高精度…

「入れ太郎」は、弊社無脈動定量ポンプを中心に、貯蔵タンク、ヒーター、制御盤、計器類等を台車上にレイアウトし、手押しで簡単に移動できる様にした一体型定量ポンプシステムです。 吸入側の負荷変動、圧力変動に左右されず常に一定の流量を確保できるので、押出機への発泡剤、塗料、老化防止剤、難燃剤などの充填補助剤などを精密に移送する用途に最適です。 押出機は連続運転による長尺物の生産用途が主流ですが、...

メーカー・取り扱い企業： 富士テクノ工業株式会社

大学の研究室にも多数納入実績あり！空冷ドライ真空ポンプ KTS型

省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ

【ラインナップ】 ○KTS015 →最大排気速度　280 L/min →到達圧力　≦3 Pa ○KTS030 →最大排気速度　500 L/min →到達圧力　≦3 Pa ○KTS060 →最大排気速度　1000 L/min →到達圧力　≦3 Pa ○KTS300 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

トレーサビリティーもばっちり。OEMピストンポンプ PBC

圧力センサーで空吸い、液ダレ、チューブの詰まりもモニタリング。その場で…

テカンの新商品　（※デモ可能。） ◎ファームウェアー（制御用基盤内）搭載で単独独立制御 ◎設定した圧力値を超えるとエラー発生設定でき、ピストンを緊急停止可能。 ◎初期化コマンドで自己診断。 ◎ピストンの脱調を即座に確認。 ◎フルストロークでCV%値を少数点2桁以下に ◎500万回ピストン往復してもメ...

メーカー・取り扱い企業： テカンジャパン株式会社

ダイアフラムポンプ 「動作原理」

それぞれのダイアフラムは押し引きの動作を繰り返します。

のダイアフラムポンプは圧縮エアを駆動源にして運転されます。 2枚のダイアフラムが1本のダイアフラムシャフトにより互いに固定され、オートエアバルブの機構によりダイアフラム裏側のエアチャンバに周期的に圧力供給することにより、それぞれのダイアフラムは押し引きの動作を繰り返します。 【特徴】 ○一方のエアチャンバに圧力をかける事により、加圧側のダイアフラムが 　押出方向に移動し、他方のダイアフ...

メーカー・取り扱い企業： タプフロー株式会社

クライオポンプ

よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域

半導体製造プロセスに欠かすことのできない「超高真空」・あるいは新材料や素粒子に関する基礎研究でも「超高真空」は、重要な役割を担っています。よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域で実現することが、先端科学技術の成果をより大きなものへと導いてくれるのです。 高い排気速度とクリーンな真空品質 豊富な空調技術から開発した独自のヘリウム圧縮機とソルベイサイクル冷凍方式に...

メーカー・取り扱い企業： ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター

磁気浮上型ベアリングレスポンプ　BPS-600

Better pump for Better Yields !

駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。 このポンプには、２種類の基本システムがあります。 単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定す...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

磁気浮上型ベアリングレスポンプ Puralev200M.U.

Low Share Design - High Cell Viabil…

生体適合性（FDA、USP-VI、BSE/ TSEと動物無料）の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。 このポンプには、２種類の基本システムがあります。 単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定するP...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

高圧 ダイヤフラム 定量 ポンプ『ハイドラセル MT8』

通常のポンプでは扱えないような腐食性、磨耗性の強い液体の送液に最適！イ…

保護のリリーフバルブを内蔵。 ■堅牢なデザイン。省スペース。 ■三連ダイヤフラムによりパルスフリー、リニアフローの送液が可能となり、アキュムレータが不要。 ■1 台のポンプで幅広い流量レンジ、圧力レンジに対応するため、さまざまな用途に転用可能。 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンコー

自動切換バルブ付き高圧シリンジポンプ『L.TEX8523型』

モータードライブの高圧バルブ装備！自動切換バルブ付き高圧シリンジポンプ

○モータードライブの高圧バルブを装備 →シリンダーへの溶媒の吸入／吐出を自動的に行うため ○シリンダー内部の溶媒を全量排出時にはバルブが自動的に切り替わり 　溶媒の吸入工程に移る ○最大使用圧力：20MPa 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社エルテックス

ナノフローシリンジポンプ『L.TEX8501型』

分析に必要な機能を内蔵！簡単操作で使用可能なナノフローシリンジポンプ

対応いたしますので、難しい問題も何なりとご相談ください。 【特徴】 ○外部からのPCコントロールも必要に応じて可能 ○従来品と比較してはるかに安価で使いやすい製品を目標に開発 ○最大使用圧力：30MPa 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社エルテックス

ルーツ真空ポンプ

メカニカルブースターポンプ

が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ（Rシリーズ）もラインアップ 　 （宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応） ○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で 　 圧力コントロールをしたりする事ができる ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【一段式でも低い到達圧力】SOGEVAC 40BI　真空ポンプ

低コストの1段式油回転ポンプでターボ分子の粗引きができます

この油回転真空ポンプは排気フィルタ、オイル回収システム、逆止弁、ガスバラストを内蔵しています。 運転音が静かなことも特徴です。 ...●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： ライボルト株式会社

ナノフローポンプ　8500型

ナノ流量から高流量域まで、シリンジポンプならではの低脈動が特徴です。

パッケージに内蔵し、簡単な操作での使用を可能にしました。 【特徴】 ○外部からのPCコントロールも必要に応じて可能 ○従来品と比較してはるかに安価で使いやすい製品を目標に開発 ○最大使用圧力：30MPa 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社エルテックス

【導入事例】高圧 ハイドラセル ポンプ 印刷機メーカー

効率的でコントロールされた印刷インクの計量事例をご紹介

包装置および関連する消耗品などを供給している印刷機メーカーへの ハイドラセルポンプ導入事例をご紹介します。 以前はインク供給に使用しているAODポンプが粘度の高いインクを送ることが難しく、高圧力、低い流量でのコントロールが困難でした。 G25型ポンプ導入により、これら課題を解決することができました。。 【ポンプ仕様】 ■ポンプコード：G25XKCGHFEYA ■液体：専門用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンコー

コンビネーション型ドライ真空ポンプ CBFシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。安全設計・低運転音・長寿命を実現。環境対応次…

CBF1515 / CBF2525 / CBF4040 ■常用真空度：推奨 60kPa以下(Vタイプ) ■常用排気圧力：推奨 60kPa以下(Bタイプ) ■常用圧力：推奨 真空度と排気圧力の合計で60kPA以下(VBタイプ) ■流量：280～685L/min(60Hz)...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

溶媒回収型真空ポンプPC3001VARIO select

混合溶媒も自動濃縮できます。 卓上エバポレーターとの組み合わせに最適…

プ、コントローラー、溶媒回収ユニットをコンパクトにまとめた高耐久、高性能真空ポンプです。 ◎内蔵の自動濃縮プログラムによりエバポレーターでの混合溶媒濃縮を自動できます。 ◎インバーター制御で設定圧力にワンポイント制御も可能です。 ◎到達圧力2hPaで、水、DMFなど高沸点溶媒の濃縮に最適です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社バキューブランド サイエンティフィック ジャパン 東京営業所

高真空型ドライ真空ポンプ KHAシリーズ

オリオン機械/真空ポンプ。到達圧力(8kPa以下)での連続運転可能。

■到達圧力(8kPa以下)での連続運転可能。 ■運転真空度が高く、電子部品等の小部品の自動機(装着機等)に最適です。...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

【資料】問い合わせシート

用途や取扱いガスの性質などの仕様の項目がある当社の問い合わせシートです

当資料は、株式会社四葉機械製作所の問い合わせシートです。 ガス組成・分子量（又は比重量）や吸入温度などといった「取扱いガスの 性質」をはじめ、吸入圧力や吐出圧力などといった「圧力」や、モーターや エンジンといった「原動力」等を記載出来る仕様の項目があります。 是非ご活用ください。 【項目（抜粋）】 ■用途 ■取扱いガスの性質 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社四葉機械製作所

無給油エア式ケミカルドラムポンプCHD1-20ASUS（V/N）

接液部材質SUS・PTFE・FFKM採用で、対応液体が弊社従来品（CH…

HD1-20ASUSN 使用可能容器：200Lクローズドラム缶（JIS規格：大栓G2/小栓G3/4） 使用液体：溶剤 使用可能粘度（cP)：100 空気消費量（L/min）：583（推奨供給圧力0.5Mpa時） 使用空気圧（Mpa）：0.4～0.6 コンプレッサ（馬力）：5 吐出圧力（Mpa）：0.035 最大吐出量（1cP時/L/min）：[CHD1-20ASUS、CHD1-20...

メーカー・取り扱い企業： アクアシステム株式会社 本社、須越工場、AQUASYSTEM(中国、タイ、ベトナム)

磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-2000

寿命がある軸受や摩耗するシールを使わない、革新的な磁気浮上式遠心ポンプ…

駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ－タ磁石とともにポンプヘッドを構成しています。 電子的にロータ回転数を制御するので、流体圧力と流量は精密に制御され脈動もありません。 このポンプには、２種類の基本システムがあります。 単独運転型は、コントローラに手動で速度を設定する操作パネルが組み込まれ、アナログ信号で速度を設定す...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

『シリンジポンプのカスタムメイド』※納期・価格のご相談承ります

スラリー送液や防爆仕様など要望に合わせたシリンジポンプ製作。組込み用途…

ジポンプの主な機能】 L.TEX8521型　シリンジポンプ ・定流量送液 L.TEX8523型　シリンジポンプ ・定流量/定圧送液 　　　・タイムプログラム（ステップワイズ） ・上下限圧力リミッター　・ポンプオフタイマー L.TEX8525型　シリンジポンプ ・定流量/定圧送液 　　　・タイムプログラム ・自動バルブによる吸入/吐出切り替え ・圧力センサー内蔵 L....

メーカー・取り扱い企業： 有限会社エルテックス

一段式ロータリーベーン真空ポンプ SOGEVAC Bシリーズ

一段式の油回転式真空ポンプ。 低い騒音レベルとスムーズな操作性。幅広…

ACは一段式のロータリーベーン真空ポンプです。オイルはポンプのシール、潤滑、冷却のために注入され、ポンプオイルリザーバーから再循環し、必要に応じてろ過されてから注入されます。潤滑システムは高い吸気口圧力（最高1000 mbar abs.）での連続運転が可能なため、ポンプはほとんどの低真空用途で多目的に使用できます（アクセサリーが必要な場合もあります）。 プロセスガスと一緒にポンプ部から排出さ...

メーカー・取り扱い企業： ライボルト株式会社

ダイアフラム式エアーポンプ

吸排気口(IN/OUT)は標準でチューブ接続！くい込み式の継手にも対応…

【仕様】 ■LVM-10/MF-1共通 ・最大流量：1.8L/min (@50Hz) ・最大真空度：-54.6kPaG ・最大圧力：63.7kPaG ・使用温度範囲：0℃～40℃ ・モーター電源電圧：AC100V 50/60Hz ・定格電流：100mA(50Hz)/90mA(60Hz) ・定格出力：3W ・重量：LV...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

ドライ真空ポンプECODRY 25 / 35 plus

小型で軽量、低騒音・低振動のドライ真空ポンプ。クリーンな真空を生成でき…

の主な特徴 【SMALL】 　軽量でコンパクト（従来品に比べ約30%ダウン）。簡単にプロセスに統合可能 　サイレンサーが内蔵されており、省スペース化を実現 【FAST】 　高圧から到達圧力までを高速排気 　真空システムのポンプダウン時間を大幅に短縮 【SMART】 　コントロールダッシュボードを備え、直感的な操作が可能 　真空計とバルブを直接接続することで圧力とバルブを制...

メーカー・取り扱い企業： ライボルト株式会社

乾燥装置用縦型ドライ真空ポンプ『TRVシリーズ』

縦型のダウンフロー構造により、凝縮液の発生に対して極めて強靭な乾燥装置…

独自に開発した汎用ドライ真空ポンプです。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質は標準のFC製の他、耐食材質の選択も可能です。　　 【特長】 ○液...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DC

同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！

省エネ型ドライ真空ポンプ　ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【無脈動超小型ポンプ】 電気浸透流ポンプ EBPシリーズ

脈動や動作音が発生しない超小型ポンプです。印加電圧で流量を制御でき、チ…

電気浸透現象（下記原理図参照）を利用した超小型ポンプです。機械的可動部分がないため、脈動や動作音が発生しません。さらに、高い圧力が出せる、バッテリー駆動が可能、印加電圧に比例して流量が増減する、等の特長があり、今後様々な分野への応用が期待されます。 チップに組み込んで内部流路の送液に用いるチップ搭載型や、隔膜を介して多...

メーカー・取り扱い企業： 高砂電気工業株式会社

極高真空対応スパッタイオンポンプ『エクセルポンプ』

40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバー…

『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。 【特...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社