測定 | イプロス医薬食品技術

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AI駆動型ラベルフリーイメージングセルソーター

PR新規AIベースの細胞形態データ分析手法を利用した、新しいアプローチで、…

『VisionSort』は、ゴーストサイトメトリー技術を搭載したセルソーターです。独自に開発した光学技術により、細胞の形態的特徴を包括的かつ高速に測定・解析することができます。取得した形態情報を機械学習（AI）によって分析することによって、細胞を染色せずに、ラベルフリーで分析することができます。細胞治療/再生医療、疾患プロファイリング、創薬といった幅広い分野での研究開発にご利用い...

メーカー・取り扱い企業：シンクサイト株式会社
DRIFTCONSystem【リアルタイムPCR温度校正】

PRPCR・リアルタイムPCR装置の温度は正確に制御されていますか？申…

DriftconSystemは、お手持ちのPCRをISO承認のプローブ(機能毎対応)を用いてブロック上の温度を校正いたします。現在、欧米・中国を始め各国で年間10万台以上の校正が実施されており、この実績を元に同型機の校正結果と比較することで機種毎の合否判定も可能。測定は(装置はレンタル)お客様が実施される事でローコストでご提供できます。【特長】 ■欧米・中国を始め各国で年...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フォーディクス
【分析事例】多結晶シリコン太陽電池のPLマッピング

太陽電池セルの欠陥の位置を非破壊で特定することができます

リアが生成し、一部は発光性再結合をします。その際の発光をフォトルミネッセンス（PL）と呼びます。しかし、欠陥が存在する箇所では、キャリアが捕捉されPL強度が弱くなります。このことから、PLマッピング測定をすることで、非破壊かつ簡便に欠陥箇所を特定することができます。多結晶シリコン太陽電池セルにおいて、PLマッピング測定を行い、欠陥箇所を特定した事例を以下に示します。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】有機成分洗浄効果の評価

300mmウェハをそのまま測定できます

面の有機汚染の除去効果の分析事例をご紹介します。XPSでアミン系有機物は極微量であることが確認されている試料について、TOF-SIMS分析を行いました。微小領域においても、このように極微量の成分まで測定可能です。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】金属膜の高温XRD評価

昇温過程での相転移・結晶性変化を追跡評価

Pt をSi 基板にスパッタ蒸着させた試料に対して、昇温させながらOut-of-plane XRD, In-plane XRD 測定をそれぞれ行いました。両測定で、Pt(111) は500℃より高い温度ではピーク強度が増加し、半価幅が小さくなり、結晶化が進行していることが分かりました。また、温度が上昇するにつれ、熱膨張により...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】有機フィルムの昇温脱離ガス分析（TDS）

真空環境下における有機物の脱ガス成分を評価可能

TDSは真空環境下で試料を昇温し、脱離したガスをモニターする手法です。有機物の測定を行う場合、多量の脱ガスによる装置汚染で測定が困難となる場合がありますが、あらかじめ試料量や分析条件を調整し脱ガス量をコントロールすることにより、分析が可能となります。以下に有機フィルムについて...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】石英・ガラス中の｢水」の評価

｢重水（D2O）処理」を用いた水素の深さ方向分析

ガラス材料における水（H2O）の浸透性を、重水素（D）の分布を測定することで評価した事例をご紹介します。もともと水素（H）が存在する場合、水の影響による水素であるかを区別することが困難です。そこで、重水（D2O）による処理を行い、安定同位体である重水素の分布をSI...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】日用品中のラウリル硫酸塩の分析

製品中のラウリル硫酸塩の含有量を確認できます

剤・洗浄剤等の用途で、日用品・医薬品・工業用品などに用いられています。本資料では製品の成分としてラウリル硫酸ナトリウムが表示されている日用品（歯磨き粉・シャンプー）とラウリル硫酸塩が未表示の日用品の測定事例を紹介します。LC/MS/MSで測定することで製品中のラウリル硫酸塩の含有量を調査することが可能です。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】有機多層膜のラマン3Dマッピング

表面からの測定で、深さ方向の成分分布を確認可能です

ラマン分析では、表面からの測定で深さ方向の成分分布が確認できます。光を透過し易い物質に有効で、断面加工やイオンスパッタエッチングを併用せず非破壊での評価が可能です。本資料では、有機多層膜の各層について、ラマン3Dマッピングで...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】素子分離領域の歪解析

NBD：Nano Beam Diffractionによる微小領域の歪解…

NBD法では電子線が試料中で回折する角度（電子回折スポット位置）の変化から、格子歪に関する知見を得ることができます。任意の晶帯軸入射方向で、デバイスパターンに合わせた測定が可能です。素子分離領域（LOCOS周辺）のSi基板について測定した結果、熱処理温度・結晶方向によって歪量が異なっていることが確認できました。...

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【分析事例】ソフトコンタクトレンズの表面イメージング

水溶液中でAFM分析による表面性状の定量評価ができます

高分子には、環境によって形状変化する素材があります。試料本来の形状を観察するためには、実環境での測定が必要となります。本資料では、生理食塩水中でのソフトコンタクトレンズ表面形状を可視化した事例をご紹介します。実環境に近い条件で測定することによって、試料本来の形状を保ったままの評価が可能です。...

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【分析事例】化粧品の非破壊分析

X線CTにより製品の内部構造を非破壊で評価可能

X線CTは非破壊で試料の内部構造を測定できる分析手法であり、化粧品内部の異物、空隙、亀裂などの異常箇所の調査や、パール剤等の分散確認などの出来栄え評価に適しています。本事例ではファンデーションや口紅をX線CTで測定し、内部の構造を非...

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［XRF］蛍光X線分析法

照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光する…

蛍光X線分析（XRF： X‐ray Fluorescence）は照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。・測定範囲の全エネルギー（Na～U）が同時に短時間で測定可能・未知試料の分析に適している・非破壊分析・特殊な試料を除き、前処理不要、大気中での分析が手軽に行える・ハンドヘルド型の装置で動か...

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［PL］フォトルミネッセンス法

PL：PhotoLuminescence

発光スペクトルから、様々な情報を得ることが可能です。・バンドギャップ約3.5eVまでのサンプルを励起することが可能・マッピング機能により、広範囲の情報を得ることが可能・約10Kまでの測定が可能・一般的に非破壊の測定であり、特殊な前処理が不要 ...

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【分析事例】ポリイミド成分の深さ方向分析

TOF-SIMSによる高分子・樹脂・フィルムの表面改質層の深さ方向の評…

々な分野で用いられている材料です。表面改質を行うことで他の材料との密着性を高めることができることから、改質層の状態を把握することが重要です。今回、有機成分が壊れにくいスパッタ条件にてTOF-SIMS測定を行い、深さ方向にポリイミド成分を評価しました。GCIB（Arクラスター）をスパッタに用いると着目する有機成分を深さ方向に測定することが可能です。※GCIB：Gas Cluster Ion Beam...

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【MFM】磁気力顕微鏡法

MFMは、磁性膜でコートされたプローブを用いて、サンプル表面近傍に生じ…

・サンプルの磁気特性の情報を定性的に取得可能・漏洩磁場による引力・斥力をイメージング可能・漏洩磁場の勾配の大きさに比例した磁気力の信号を得られるが、定量評価は不可・AFM像の取得も同時に取得可能...詳しいデータはカタログをご覧ください...

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【分析事例】Si基板へのAl,Gaの拡散評価

SSDP-SIMSによる高濃度層の影響を避けた測定

クの原因と言われております。そこで、Si基板中へのAl,Gaの拡散の有無を評価するため、SIMS分析を行った事例をご紹介します。微量の拡散を正確に評価するため、Si基板側からGaN層に向けて測定を行いました。...

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【分析事例】熱履歴を考慮した異物の成分同定

熱履歴を揃えた標準試料の活用提案

ポリプロピレン（PP）などの高分子材料は、大気中で加熱されると大気中の酸素や水分と反応し、分子構造が変化します。そのため、異物や付着物が高分子材料の可能性がある場合、測定サンプルと同じ環境で処理した標準物質を比較データとして用いる必要があります。熱処理（200℃/30分）によってPP標準物質がどのように変化するかを調べるため、FT-IR及びTOFSIMS測定を...

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【分析事例】Ramanによる金属部材上の異物分析

微小領域を狙った測定が可能

評価することで、発生原因を究明し、不具合を改善することができます。本資料では、金属部材上に付着した異物の成分をRaman分析により評価した結果をご紹介します。 Ramanは約1μmの微小領域の測定が可能であり、狙った箇所の分子構造や結晶構造に関する情報を得られることから、まばらに存在する異物の定性分析に有効です。...

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【分析事例】XPSによるGaN膜の組成・結合状態評価

目的に合わせた測定条件で評価を行います

す。成膜条件や表面処理等により、組成や結合状態がどのように変わるのかを把握しておくことは、プロセス管理等に有効です。評価の際は、目的に応じて使用するX線を適切に選択することが重要です。着目ごとの測定条件を併せてご紹介します。...

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量子化学計算による色素分子UV-Visスペクトルシミュレーション

UV-Visスペクトルシミュレーションにより分子の電子的性質が調べられ…

ッド254を対象に量子化学計算に基づくUV-Visスペクトルシミュレーションを実施した事例を紹介します。シミュレーション結果を参照することで、実測データのスペクトル形状を解釈することができます。測定法：計算科学・データ解析、UV-Vis 製品分野：照明、ディスプレイ、化粧品、日用品分析目的：化学結合状態評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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テープ粘着剤の構造解析｜受託分析

熱分解GC/MS法により粘着剤の構造解析が可能

。これに用いられる粘着剤はその用途によって異なり、種々の素材が使われています。本事例では市販粘着テープの粘着剤について、熱分解GC/MS法による構造解析を行なった事例を紹介します。3種のテープの測定を行なったところ、それぞれアクリレート系・スチレン/イソプレン系・シリコーン系という異なる素材が使われていることが分かりました。...

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GC/MSによる発生ガス濃縮装置を用いたアウトガス分析

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

発生ガス濃縮装置はチャンバー内に入れた試料から発生したガスを捕集管にトラップさせる装置です。捕集管にトラップすることで微量の脱ガス成分を濃縮し、GC/MSで高感度に測定できます。試料の種類に合わせて、適したサイズのチャンバーを選択することができ、最大350℃までの加熱に対応しています。...

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【分析事例】X線CT・クライオSEMによる化粧品の3D観察

乳化粒子や無機粉体の形状確認が可能！リキッドファンデーションの塗膜をマ…

【概要】 ■測定法：X線CT法・SEM・クライオ加工・Slice&View ■製品分野：化粧品・日用品 ■分析目的：構造評価・製品調査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

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【分析事例】光ファイバーのコアとクラッドの定性評価

TOF-SIMSにより光ファイバーの材料の定性・分布評価が可能です

ーは、大きく分けてプラスチック製、石英製の2つがあります。本資料では、TOF-SIMSでプラスチック製光ファイバーの断面を分析することにより、コアおよびクラッドの材料を同定した事例を紹介します。測定法：TOF-SIMS 製品分野：光ファイバー・電子部品分析目的：定性評価、有機物評価、組成分布評価「詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...

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【分析事例】銅(Cu)表面自然酸化膜の層構造・膜厚評価

TOF-SIMSによる深さ方向の状態評価

より深さ方向分析を行うことで、各状態に応じて特徴的な分子イオンの取得が可能であることがわかりました。これらの分子イオンを用いて、金属Cu表面自然酸化膜の深さ方向の状態評価が可能となりました。測定法：TOF-SIMS 製品分野：ディスプレイ・LSI・メモリ・電子部品分析目的：化学結合状態評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】血液成分の洗浄残渣評価

TOF-SIMSによる拭き取り残渣の可視化

ぞれ塗布し、拭き取り前後の成分残渣評価をTOF-SIMSで行いました。その結果、BSAの拭き取りには水よりもエタノールの方が適していることや、基質によって拭き取り効果が異なることがわかりました。測定法：TOF-SIMS 製品分野：医療機器・医薬品分析目的：組成評価・同定・組成分布評価・故障解析・不良解析詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】ABF-STEM観察によるGaNの極性評価

Csコレクタ付STEMにより原子レベルでの観察が可能です

では、GaNの極性を環状明視野(ABF)-STEM観察により評価しました。その結果、Gaサイト・Nサイトの位置を特定することができ、視覚的にGa極性、N極性の様子を明らかにすることができました。測定法：TEM 製品分野：パワーデバイス・光デバイス分析目的：形状評価・構造評価・膜厚評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】毛髪の三次元構造解析

X線CTと画像解析技術により、毛髪の定量評価が可能です

画像解析することで、コルテックス部分の空隙体積、キューティクル間隔をヒストグラム化しました。このように、X線CTと画像解析を組み合わせることで、毛髪の三次元構造を定量的に評価することが可能です。測定法： X線CT、計算科学・AI・データ解析製品分野：バイオテクノロジ・医薬品・化粧品分析目的：形状評価・構造評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価と酸化膜厚評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

例をご紹介します。TOF-SIMSでは酸化物状態として分子情報を高感度に得ることで、表面数nm～数十nmの酸化物の分布を得ることができ、イメージ分析によって空間的な分布を評価することが可能です。測定法：TOF-SIMS 製品分野：製造装置・部品分析目的：化学結合状態評価・組成分布評価・腐食層の膜厚詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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TEM_SEMによる有機EL_OLED_ゲート酸化膜の断面観察

低加速STEM観察により、低密度な膜でもコントラストがつきます

。密度差・平均質量差・組成差が小さい有機EL膜・Low-k膜・ゲート酸化膜・TEOS膜・BPSG膜などに適用できます。 1) TEM専用機に比べて加速電圧が低いSEM装置によるSTEM観察測定法：TEM・SEM 製品分野：LSI・メモリ・ディスプレイ・太陽電池・照明分析目的：形状評価・膜厚評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】Si系太陽電池のBSF層の評価

断面イメージングSIMSにより面内分布のある不純物評価が可能

ンプロファイルを用いてドーパント分布を濃度変換し、面内の不均一の度合いを数値化しました。太陽電池以外にもパワーデバイスなどの深い接合評価、トレンチ間・内部の不純物分布評価などに適用できます。測定法：SIMS・SCM・SNDM 製品分野：太陽電池分析目的：微量濃度評価・組成分布評価・形状評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】雰囲気制御下での有機金属錯体の定性分析

酸化の影響を受けない条件でTOF-SIMSによる質量分析が可能です

シド）について、雰囲気制御下と大気暴露後において、どのように変化するかTOF-SIMSを用いて調べた事例を示します。 MSTでは雰囲気制御により、大気酸化の影響を受けずに錯体の評価が可能です。測定法：TOF-SIMS 製品分野：バイオテクノロジ・医薬品・化粧品・日用品分析目的：劣化調査・信頼性評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...

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【分析事例】量子化学計算によるアゾベンゼン類の電気化学特性評価

電池などに用いられる有機化合物の酸化還元特性・電子状態を予測・評価

検討が有用です。本資料では、量子化学計算によりアゾベンゼンとそのカルボン酸誘導体塩の還元電位、分子軌道計算を行った事例を紹介します。このようにシミュレーションで物質の電気化学特性を推定できます。測定法：計算科学・AI・データ解析製品分野：二次電池分析目的：化学結合状態評価「詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】微小ビアのイメージ分析

微小領域の分布評価が可能です

評価に有効な手段です。本資料では、Si基材に設けられた0.5μmφ程度のビアに、Cuを充填したサンプルを分析した事例を示します。正イオン分析結果より、CuおよびSiの分布が確認できました。測定法：TOF-SIMS 製品分野：LSI・メモリ・電子部品分析目的：組成分布評価・故障解析・不良解析詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
【分析事例】半導体パッケージのはんだ濡れ性試験_C0699

劣化加速試験後の電極のはんだ濡れ性試験が可能です。

濡れ性を評価することは部品の信頼性を評価するうえで重要です。今回は疑似的に試料を劣化させ、はんだの濡れ性がどうなるかを検証しました。恒温恒湿試験後、電極表面の濡れ性が変化することが分かりました。測定法：恒温恒湿試験,はんだ濡れ性試験製品分野：パワーデバイス,LSI・メモリ,電子部品分析目的：劣化調査・信頼性評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...

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【分析事例】金属材料の蛍光X線分析事例

金属組成評価として、始めにXRF分析での元素スクリーニングをお勧めしま…

たデータを紹介します。 mmオーダーの広範囲にて面分析を行うことで材料中の金属元素の分布をおおまかに調べ、特徴的な箇所のXRF点分析結果から元素組成を算出することで金属材料の推定を行いました。測定法：XRF 製品分野：製造装置・部品・日用品分析目的：組成評価・同定・組成分布評価・故障解析・不良解析詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】薄いカーボン膜の深さ方向分析

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)やグラフェンの深さ方向分析が可能

ヤモンドライクカーボン(DLC)層は2層構造となっており、表面側では窒素が含まれるC層、奥側でCのみの層となっていることが分かりました。この方法を応用して、グラフェン膜の深さ方向分析も可能です。測定法：TOF-SIMS 製品分野：電子部品・製造装置・部品分析目的：組成評価・同定・組成分布評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】高電子移動度トランジスタの評価

Csコレクタ付STEMにより結晶整合性および組成分布の評価が可能

GaN HEMTデバイスを解体し評価した事例をご紹介します。 HAADF-STEMにより、AlGaN/GaN界面近傍の結晶整合性を確認しました。また、EELSにより組成分布の評価を行いました。測定法：TEM・EELS 製品分野：パワーデバイス分析目的：構造評価・膜厚評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】生体材料中成分の分布状態の可視化

生体材料の切片作製から分析までまとめて承ります

ができます。生体の各器官に合わせて切片作製を行い、成分をイメージングすることが可能です。また、薬物動態研究や医薬品の研究開発において、生体材料中に投与した成分の分布状態の可視化にも有効です。測定法：TOF-SIMS 製品分野：バイオテクノロジ・医薬品分析目的：組成分布評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】垂直入射法による深さ方向分解能の向上

SIMS：二次イオン質量分析法

■極浅深さ方向分布の測定法（1）斜入射法における深さ方向分解能の限界斜入射法における深さ方向分解能の一次イオンエネルギー依存性をδドープ試料を用いて調査しました（図1）。斜入射法においては、クレータ底面の粗れにより...

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【分析事例】毛髪のキューティクル表面の成分分布を可視化

有機分子の分布をTOF-SIMSイメージ分析で比較

キサン系のヘアケア剤を用いた毛髪の「断面および表面」と、毛髪の「表面」をイメージ分析した結果を示します。毛先表面と根本表面のキューティクルには、成分分布状態に違いがあることが確認できました。測定法：TOF-SIMS 製品分野：医薬品・化粧品分析目的：組成評価・同定・組成分布評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】二次電池負極粒子表面の分布評価

一粒の粉体表面に分布する成分の評価が可能

質量分析法（TOF-SIMS）は、二次イオンのマススペクトルから表面の有機物・無機物の定性・イメージに適した手法です。分解能よく分析することが可能なため、微小異物やしみなどの分布評価に有効です。測定法：TOF-SIMS 製品分野：二次電池分析目的：組成分布評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】シームレスカプセルの三次元構造観察および膜厚解析

X線CTによりシームレスカプセルの評価・解析が可能

、皮膜内部に異物が確認されました。また、皮膜の膜厚分布を3Dイメージおよびヒストグラム化しました。このようにX線CTを用いることで、内部構造の確認、異物の調査、膜厚分布等を非破壊で評価可能です。測定法：X線CT法製品分野：医薬品分析目的：構造評価・膜厚評価・製品調査詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】ジンセノサイド（Ginsenoside）の分析

高麗人参サポニン26種のLC/MS/MS一斉分析が可能です

、中枢神経興奮作用があるトリオール系等に分類され、そのバランスが重要であるといわれています。LC/MS/MSを用いて、高麗人参に含まれるジンセノサイド類26種の一斉分析を行った事例を紹介します。測定法：LC/MS 製品分野：食品分析目的：組成評価・同定詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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二次電池正極導電助剤の分散状態評価

Raman分光法によるカーボンの結晶性評価

晶性の2種類あり、単剤もしくは合材として使用されています。本資料では、正極の導電助剤のカーボン種について結晶性を指標として特定し、面内分布を可視することで分散状態を評価した事例を紹介いたします。測定法：Raman・SEM 製品分野：二次電池分析目的：組成分布評価・構造評価・製品調査詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラム観察

Csコレクタ付STEMによる高分解能STEM観察

となりました。本事例では、チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラムを観察した事例をご紹介します。EDX元素分布分析を組み合わせることで、視覚的に原子の分布を明らかにすることができます。測定法：TEM・EDX 製品分野：LSI・メモリ分析目的：形状評価・構造評価詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

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【分析事例】リチウムイオン二次電池バインダの成分分析｜受託分析

熱分解GC/MSによる有機成分の同定

ています。各材料の物性や組合せはデバイスの特性・信頼性に大きく反映されますので、材料の正確な解析・評価が必要となります。今回、リチウムイオン二次電池の負極を熱分解GC/MS（pyro-GC/MS）で測定した結果、本バインダ材料はSBR（スチレンブタジエンラテックス）系であることが分かりました。この他にバインダの分解物、反応生成物と推測される芳香族物質も検出されました。...

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【分析事例】ビタミン剤のLC/MS/MS分析

水溶性ビタミン5種（B1・B2・B6・B12・ナイアシン）の一斉分析

ビタミンB1は同じ機能を持つ複数の成分（チアミン・ヒドロキシエチルチアミンおよびその類縁体）で構成され、それらの総量で含有量が決定されます。本事例ではマルチビタミンサプリメントをLC/MS/MSにて測定し、水溶性ビタミン5種の各成分について定性分析を行いました。一斉分析を行うことで効率的に着目成分の含有の有無を確認することが可能です。その他の水溶性ビタミンについても分析可能ですのでお問い合わせくだ...

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【分析事例】XPSにおける吸着酸素の影響

XPS： X線光電子分光法

組成・結合状態に関する知見を得る手法ですが、イオン照射によるスパッタエッチングを組み合わせることで、試料内部や深さ方向分布の評価も可能です。但し、スパッタエッチングを伴う評価ではXPSの原理及び測定機構から、吸着酸素の影響を受けて酸素量が本来の組成より過大評価される場合があり、注意が必要です。酸素が吸着し易い試料(Ti,TiN,AlN等)の評価や微量酸素に着目した評価の場合には吸着酸素の影...

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【分析事例】指定外酸化防止剤（TBHQ）のLC/MS/MS分析

高い回収率で低濃度の食品中TBHQ定量分析を実現

れていません。そのため、輸入食品にTBHQが含まれていることがあり、国内で検出された場合は自主回収などの措置がとられます。本資料ではさまざまな食品に0.1ppmのTBHQを添加し、LC/MS/MSで測定した事例を紹介します。いずれの食品でも80%以上の回収率でTBHQを分析できました。輸入食品・原材料の安心・安全の保証にお役立てください。...

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【分析事例】XAFSによるシリコン酸化膜評価

シリコン周囲の局所構造解析、中間酸化物の定量、バルク・界面の評価

膜はMOSデバイスやリチウムイオン二次電池の負極材料として広く利用されていますが、中間酸化物の有無や界面での結合状態がデバイス特性に大きな影響を与えることが知られています。放射光を用いたXAFS測定では試料表面から数十nmの深さの情報を検出するため、非破壊でバルク・界面における構造および結合状態を解析することが可能です。本資料ではXAFSを用いてシリコン酸化膜の中間酸化物の有無を調査した事...

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【分析事例】毛根の成分分析

TOF-SIMSを用いた生体成分のコレステロール・脂肪酸の可視化

人の毛髪（抜け毛と引き抜いたもの）の毛根部をSiウェハに押し付け、転写された成分についてイメージング測定（面分析）を行いました。抜け毛は毛根の先端にのみ、■K, ●リン脂質が強い傾向が見られます。また、毛根部全体には、■CnHmCOOH(ｎ=17～31)の脂肪酸（人の皮脂由来）、●角栓由来のアミド系成...

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【分析事例】CFRP炭素繊維強化プラスチック内部の繊維配向解析

X線CTによるCFRPの解析事例

い強度や剛性を持つことが特長です。 CFRP内部の繊維構造についてX線CTを用いて観察しました。その結果、直径約7μmの炭素繊維の集まりを観察することができ、また繊維の配向性解析を行いました。測定法：C-SAM 製品分野：酸化物半導体・パワーデバイス・LSI・メモリ分析目的：形状評価・故障解析・不良解析・製品調査詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...

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【分析事例】半導体基板中軽元素の高感度分析

SIMS分析によりH, C, N, O, Fなどを1ppm以下まで評価…

手法では評価が難しい半導体基板中のH,C,N,Oを1ppm(約5E16atoms/cm3)以下まで、Fを1ppb(約5E13atoms/cm3)以下の濃度まで検出可能です。実際のFZ-Si中における測定例（図1）とIII-V族半導体のバックグラウンドレベルを紹介します（表2）。III-V族半導体以外にも、金属膜・絶縁膜など各種材料で標準試料をとりえ揃えており、高感度な定量分析が可能です。半導体基板...

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【分析事例】GCIBを用いた有機材料劣化成分の深さ方向分析

雰囲気制御下でのGCIBを用いた有機EL層構造および劣化層の成分評価

とで劣化が生じる有機材料について、GCIB（Arクラスター）を用いて劣化成分を深さ方向に分析した事例を紹介します。実験には有機EL原料のルブレンを用いました。大気暴露したサンプルをTOF-SIMSで測定をした結果、ルブレンペルオキシドと推定される質量（m/z 564）や、低分子のベンゼン系の質量（m/z 77,105）が検出されました。これらの劣化に起因する成分は、表面から約1μm以上の深さにわた...

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【分析事例】高分子フィルムの多層構造の解析

GCIBを用いた低ダメージスパッタリングで多層フィルムの層構造を明瞭に…

エチレン系多層フィルムの層構造を評価しました。 FT-IRで主にポリエチレンで構成されていることを確認したフィルムに対し、GCIB（Arクラスター）をスパッタに用い、TOF-SIMSで深さ方向に測定することで、10μmの厚みの中でポリエチレンとナイロン6とが積層されている構造を明瞭に可視化することができました。...

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【分析事例】有機EL素子の成分分析

Slope面出し加工された有機多層構造試料のTOF-SIMS成分分析

属錯体)で形成されていると推定された有機EL素子（図1）について、TOF-SIMS分析を行いました。多層構造試料についてはスパッタを併用した深さ方向分析も行われますが、今回は構成成分の結合を壊さずに測定するために、Slope面を作製して各層を露出させました。Alq3, NPD, CuPcと推定される分子量関連イオン・フラグメントイオンが得られ、Slope面のTOFSIMS分析が有機多層膜の成分分析...

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【分析事例】海水中のTOC量評価

塩を含む溶液中のTOC濃度の分析が可能です

TOC（全有機炭素：Total Organic Carbon）計は、試料中に含まれる有機物の量を評価することができます。TOCの測定値は、河川や工業用水の水質汚濁を監視・管理する指標として広く採用されています。今回はNPOC法（不揮発性有機体炭素：Non-Purgeable Organic Carbon）を用いた海水の分析...

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【分析事例】デヒドロアスコルビン酸の分析

飲料中のデヒドロアスコルビン酸の分析が可能です

剤として含まれているL-アスコルビン酸の酸化によっても生成されるため、試料中の正確な値を得るためには、試料開封後速やかな分析が必要です。本資料では試料開封後の時間経過に伴うデヒドロアスコルビン酸量を測定しました。...

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【分析事例】エッセンシャルオイル中のにおい成分の評価

固相マイクロ抽出(SPME) を用いたにおい成分の濃縮分析

人がにおいとして知覚する揮発成分の濃度は非常に低い場合があり、揮発成分の分析に使用されている通常のHS（ヘッドスペース）法によるGC/MS測定では検出できない場合があります。固相マイクロ抽出（Solid-Phase Micro Extraction : SPME）を使用することで、揮発成分を濃縮してGC/MSに導入することが可能となり...

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【分析事例】アルミニウム(Al)表面のOHの分布、状態評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捕らえることが可能

電極の腐食原因の一つであり、アルミニウム表面の状態を調査することは不良原因の調査に欠かせません。TOF-SIMSは最表面での深さ方向分解能に優れ、無機物の状態をモニターしながら高感度に深さ方向分布を測定することが可能です。OHと併せて深さ方向分布を評価することで、酸化膜厚の変化を伴わずにOHが増加していた現象を見出しました。このようにTOF-SIMSでは元素分析では得られない、無機物の分子情報の深...

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