2軸 | イプロス医薬食品技術

【精密位置決め装置】50nm又は100nmの高分解能・高い位置決め再現…

光学式リニアスケールを搭載した高分解能Z軸用位置決めステージです。『 50nm 』(*1)又は『 100nm 』(*2)分解能でストロークは『 5mm 』又は『 10mm 』を達成しております。独自の設計により、Z軸にありがちなテーブル面の傾きの変化を極力抑えた構成になっており、自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-111

100nm分解能で位置決め！リニアエンコーダによる位置フィードバックで…

サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。そのため、再現性が必要な精密検査や研究等で使用されています。外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージコントローラ　FC-511

10nm分解能で位置決め制御！検査や研究の再現性向上に！

10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 ...型式：FC-511 接続対象ステージ：FS-10...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

ジョグコントローラ　JC-01

手元で簡単操作　位置決め対象を見ながら操作ができる

位置決め装置のステージコントローラ（シグマテック製）を手元で操作することができます。ジョグによるステージ動作だけでなくコントローラにプログラムされた動作（ティーチング機能）を実行することができます。 ...接続対象：FC-110 / FC-410 / FC-510 / FC-610 / FC-910シリーズ制御軸数：2 機能：十字JOG操作、JOG速度段階切替、JOG指令パルス量切...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージコントローラ　FC-911

1nm分解能で位置決めステージを制御！

1nmフィードバックステージを1nm分解能で制御することができます。ステージ内のリニアエンコーダの値をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行います。コマンドにより通信制御ができ、容易に位置決めシステムを構築することができます。...型式：FC-911 接続対象ステージ：FS-10□０UPX シリーズ、FS-10□0SPX(MD)Aシリーズ、FS-10□0UPX(V)シリーズ...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-114

100nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ

サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-114はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応しています。ロングスケールサブミクロンフィードバックステージを使用する...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-414

50nm分解能で位置決め！ロングステージ向けコントローラ

サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-414はスローダウンセンサとORGセンサの信号入力に対応しています。ロングスケールサブミクロンフィードバックステージを使用する場...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

サブミクロンフィードバックステージコントローラ　FC-411

50nm分解能で位置決め！フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向…

サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。...型式：FC-411 接続対象ステージ：FS-10...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

10nmフィードバックステージコントローラ　FC-514

10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載

10nmフィードバックステージと組み合わせて10nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。 FC-514はスローダウンセンサ信号とORGセンサ信号に対応しています。 10nmフィードバックステージではロングスケールタイプのステージに...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社

5nmフィードバックステージコントローラ　FC-611

検査や研究を効率化！5nm分解能で位置決め制御ができます。

5nmフィードバックステージと組み合わせて5nm分解能位置決め装置として使用できます。ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック（フルクローズドループ）制御を行っているため、高分解能かつ再現性に優れています。外部機器からコマンドによる通信制御が可能で、測定システムの一部として使用できます。 ...型式：FC-611 接続対象ステージ：FS-10□0...

メーカー・取り扱い企業：シグマ光機株式会社