ツインアーム防水ロボット『STWCR4000シリーズ』

ウェーハ交換時間の短縮！ツインアームを採用した4軸円筒座標型防水ロボッ…

『STWCR4000シリーズ』は、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付き 4軸円筒座標型ツインアーム防水ロボットです。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保しており、アーム関節部 防水構造にVシールを使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『SWHR3156シリーズ』

酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適な防水対応クリーンロボット！

『SWHR3156シリーズ』は、300mmウエハ対応反転+エッジグリップ機能 付の3軸円筒座標型防水対応クリーンロボットです。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中の ウエハ搬送に適しております...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『STHR4000シリーズ』

半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適なツインアームロボット！

、さまざまなクリーンロボットを取り扱っております ので、是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは95mmと156mmの二種類 ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■ツインアーム採用によりウエハ交換時間短縮 ■装置レイアウトに合わせてベースタイプとフランジタイプの選択可能 ※詳しくはカタログをご覧頂...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『STWHR4156シリーズ』

酸・アルカリのミスト雰囲気中のウエハ搬送に最適！

他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは156mm ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■アーム部はテフロンコーティングにより耐蝕性を確保 ■アーム関節部防水構造にVシール使用 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『SHR3000シリーズ』

半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適！

社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っております ので、是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mmから選択可能 ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算3kgf以下 ■装置レイアウトに合わせてベースタイプとフランジタイプの選択可能 ■動作モニター装備 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

クリーンロボット『SCR3100S-PMシリーズ』

装置レイアウトの小型化が可能なクリーンロボット！

他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mm ■Z軸バリエーションは200mmと300mm ■可搬重量はアーム第3関節換算0.5kgf以下 ■装置レイアウトに合わせてベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ■動作モニター装備 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル