【事例】『DSMC-Neutrals』シャワーヘッド型CVD解析

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…

シャワーヘッド型CVD装置内のガス流れのシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

受託加工『CVD-SiCコーティング』

高硬度、耐熱、半導体特性、化学蒸着法炭化ケイ素 CVD-SiC

『CVD-SiCコーティング』は、高硬度、耐熱性、耐磨耗性に優れた 半導体特性を持つ薄膜です。 当社独自のCVD法により半導体装置部品等にも適応可能なグレードを保ち、 高純度のSiC膜を最大2mm以上析出してバルクのSiCを作成しております。 【特長】 ■高硬度 ■優れた耐熱性 ■優れた耐磨耗性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターフェイス

技術情報誌 202305-01 水銀プローブによるSiO2膜評価

Si基板上のSiO2膜の電気特性と膜質を、成膜方法ごとに詳細に調査した…

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品質管理等のお役に立つ分析技術の最新情報です。 【要旨】 水銀プローブ（Hg-Probe）および各種物理分析手法を用いて、Si基板上に異なる方法で成膜したSiO2膜の電気特性と膜質との関係を詳細に調べた。熱酸化SiO2膜と比べて、化学気相蒸着法（CVD）で成膜したSiO2膜は水分や水酸基含有量が高く、SiO2ネットワーク構造の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【技術資料】エキシマランプを用いた薄膜製造のプロセスの可能性

「高出力型のキセノン・エキシマ・ランプ」を利用！光CVD法の製膜速度に…

膜することにより、材料表面の 機械的性質、熱的性質、化学的性質、電気的性質をコントロールする ことができます。 この表面改質に用いる薄膜の製膜方法には、真空蒸着法やPVD法、 プラズマCVD法など、様々な方法を採用。今後とも新たな製膜方法の 探索や開発が続けられていくものと考えられます。 そこで当資料では、「高出力型のキセノン・エキシマ・ランプ」を 利用した薄膜製造プロセスの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クォークテクノロジー

気相成長株式会社　事業紹介

主に気相成長技術（CVD法）に関するケミカルを取り扱っています！

株式会社は、主にファインケミカルの研究開発、ファインケミカル及び その関連部品・関連装置の製作・販売、ファインケミカルに関するコンサルタント を行っている会社です。 当社は気相成長技術（CVD法）に関するケミカルを主軸に、米国、日本、中国、 台湾の4ヵ国で7件の特許を所有しています。 また、委託成膜(Contract CVD)も承りますので、お気軽にお問い合わせ下さい。 【...

メーカー・取り扱い企業： 気相成長株式会社

【事例】『DSMC-Neutrals』でのダスト挙動の解析

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」のシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

グラフェンTEMグリッド

親水化処理を施すことにより非常に薄く均一な厚さの氷の層を形成できます！

当製品は、清浄度の高いCVD合成の2層グラフェン自立膜による画期的な TEMグリッドです。 超微粒子、ウィルスなどの透過電子顕微鏡観察用試料支持膜として好適。 親水化処理を施すことにより非常に薄く均一な厚さの氷の層を形成できます。 また、親水化処理済みのグラフェンTEMグリッドの提供も可能です。 【特長】 ■清浄度の高いCVD合成の2層グラフェン自立膜による画期的なTEMグ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エアメンブレン

【解析事例】マグネトロンスパッタリングシミュレーション

粒子法プラズマ解析ソフトウェアParticle-PLUSの活用により、…

Particle-PLUS は希薄気体中に発生する非平衡プラズマの数値解析に優れたシミュレーションソフトウェアです。 マグネトロンスパッタ、PVD、プラズマCVD、容量結合プラズマ ( CCP )、誘電体バリア放電 ( DBD ) などに活用可能です。 各種モジュール（下段の製品説明参照）のうち、スパッタ粒子モジュールを活用することで、マグネトロンスパッタ装置などにおいて、ターゲットからスパッタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

協力会社による複雑な加工

複雑な工程の製品であっても対応可能！社外ネットワークでの加工サービス

日本ツクリダスでは対応が不可能な物についても「出来ません」と答えるのではなく、豊富な協力工場に依頼する事で、お客様のニーズにお応え致します。 ご希望の品を「完成品」としてお納めできるように精一杯努力致します。 小ロットで、複雑な工程の製品であっても対応可能ですので、まずはお気軽にご相談ください。 【サービス内容】 ○研磨加工 ○黒染め処理(四三酸化鉄皮膜)/パーカライジング(リン酸皮...

メーカー・取り扱い企業： 日本ツクリダス株式会社

半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能 ・2D(2次元),3D(3次...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】DSMC-Neutrals真空装置の排気シミュレーション

真空排気の様々な情報をシミュレーションで導出可能！

当社が自社開発した3次元希薄気体解析用のソフトウェア 『DSMC-Neutrals』では、真空装置の排気シミュレーションが可能です。 種々の物理量の計算結果の図示や、過渡的なグラフをプロットすることにより 排気システムの設計・開発において実験だけでは得ることが大変な様々な 情報を簡単に見える化できます。 詳しくは、以下のURLをご覧ください。 ...【計算可能な事例(抜粋)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

2020版 薄膜作製応用ハンドブック

｢21世紀版薄膜作製応用ハンドブック｣から17年、基礎を押さえつつ、新…

薄膜材料の磁気特性 　6章 薄膜材料の光学特性 　7章 薄膜材料の力学特性 　8章 薄膜材料の化学特性 第2編 薄膜の作製と加工 　1章 基板と表面処理 　2章 PVD法 　3章 CVD法 　4章 液相薄膜堆積法 　5章 有機・高分子・生体関連薄膜作製法 　6章 パターン化技術 　7章 薄膜の加工／改質技術 第3編 薄膜・表面・界面の分析・評価 　1章 薄膜・表面・界面...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌ・ティー・エス

【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。 希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、 有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションで活躍中です。 「新商品開発をしたい」「製品改善時に実機(装置)を作って検証したい」 「事前検証,装置との比較検証をしたい」などでお困りの方に。 また、自社開発製品のため、導入後も手厚くサポートいたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

クリエイティブコーティングス『気相技術』

ワーク材質や膜種、膜厚から、弊社がご提案する技術や加工例をご紹介！

「気相技術」は、樹脂原料・燃料電池など『新素材・新材料』『エネルギー』、医療センサー・機器など『医療・ヘルスケア』、電子部品・新ディスプレイなど『モバイル端末』『ウェアラブル機器』『オートモーティブ』など多様な分野で活用されています。 また、多様なプロセス・膜厚・膜種で1nm～1000nmの成膜を実現。 蒸着方式やCVD方式、ALD方式、スパッタ方式でコーティングしています。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クリエイティブコーティングス

カーボンナノチューブ『高純度SWNT』

ユーザーの要求するCNTをカスタマイズ可能！

『SWNT』は、中国科学院成都有機化学研究所の技術をベースに設立されたNTP社のカーボンナノチューブです。 通称のCVD法では供給が困難なSWNTの高純度品を安定して供給しています。 沸騰法により特殊媒体をリサイクルさせつつCNTの連続大量生産も可能。 MWNTはもちろん、DWNTやTWNTも選択的に製造...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニューメタルス　エンド　ケミカルス　コーポレーション

RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター

各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…

RIBER社で開発されたEZ-CURVEは各種真空装置に取付可能であり、応力、反り、曲率、異方性等の測定が可能なIn-situモニターです。 特徴 1) In-situ応力、反り、曲率、異方性等の測定可能 2) 成長メカニズムに関する基礎データ取得にも利用可能。 3) 各種真空成膜装置（CVD, MBE, PVD等）や真空プロセス装置(エッチング、アニーリング等）に対応可能。 4) 従来...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

東北大学技術：炭素材料の製造方法：T13-160

比較的低温な環境で、多量の炭素材料を生成

ナノカーボンをはじめ、炭素材料を生成する方法として、CVD法や電気化学法が知られている。CDV法では、炭素を供給する物質を分解するため、高温下で炭素材料を生成する。また、電気化学法では、CDV法に比べ低い温度での炭素材料の生成が可能となる。しかし、電気化学...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ

CLEARTRAN 硫化亜鉛 (ZnS)ウインドウ

標準規格品として全品1個から販売。完全在庫販売のため、短納期で供給致し…

ZnS)材料です。0.4μmから12μmの広い波長に対して透光性があり、同波長帯において低吸収・低散乱特性を有します。硫化亜鉛は、TECHSPEC ZnSe光学ウインドウと同様、化学気相成長法 (CVD法)を用いて作られる結晶材料で、サーマルイメージング用に共通して用いられます。可視域と赤外域における卓越した透過特性により、Cleartranは同波長に感度を持つ光電センサーを使用したシステムへの選...

メーカー・取り扱い企業： エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社

SilcoNert1000

化学気相蒸着法(CVD)により加工！汎用バリアの用途に優れた製品

『SilcoNert1000』は、アモルファスシリコンの層です。 化学的に保護されたアモルファスシリコンのバリアで、 汎用バリアの用途に優れています。 化学気相蒸着法(CVD)により、加工され、基材とプロセスガス、流体、 その他の媒体との反応防止が必要な流路やその他の用途に好適です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【コーティング技術 ラインアップ】 ■Sil...

メーカー・取り扱い企業： SilcoTek コーポレーション

ＨＰＣ－２０フルオートオスミウムコーター

高機能・低価格 タッチパネル式フルオートコーティング機能搭載で、あら…

特　徴 ★ホローカソード試料台による低電圧放電CVD法（特許）を採用、試料にやさしく金属オスミウムをコーティングします。 ★ホローカソード円筒内全体にオスミウムプラズマイオンが発生しますので試料の大きさ、高さの影響を受けません。 ★プラズマ放電に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス 本社

東北大学技術：窒化物コーティングの形成方法：T18-275

窒化物をより均一にコーティングすることが可能

従来開発されている窒化物コーティング方法として、CVD法(化学的蒸着)やPVD法(物理的蒸着)などが知られている。しかし、真空装備による圧力調整や雰囲気置換を行う必要があるため、製造工程が複雑になり、作業が効率的でないという問題があった。そこで、大気中...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ

切削工具・金型・機械部品の『ＤＬＣコーティング用途事例集』

耐摩耗性やすべり性が大幅アップ！ＤＬＣコーティングの用途・選定例満載の…

・家庭用温水栓、工業用ミシン部品、カメラ筐筒Ｏリング、Al加工用工具等の多岐にわたる量産実績があり、様々な用途、形状に応じた量産ノウハウを保有。 ■プロセスと膜種 ・PVD法およびプラズマCVD法の両プロセスでの対応が可能。 ・水素含有DLCから水素フリーDLC、Si添加DLC等、様々な膜種有り。 ・高分子材料から金属、セラミックまで、幅広い基材材質にコーティング可能で用途、目的に応じ...

メーカー・取り扱い企業： 日本アイ・ティ・エフ株式会社

高機能表面処理『DLCコーティング』 ※用途事例進呈

耐磨耗・耐溶着・耐凝着などの特性を向上。切削工具、金型、自動車部品など…

庭用温水栓、工業用ミシン部品、カメラ筐筒Oリング、Al加工用工具等の 　多岐にわたる量産実績があり、様々な用途・形状に応じた量産ノウハウを保有 ■プロセスと膜種 ・PVD法およびプラズマCVD法の両プロセスでの対応が可能 ・水素含有DLCから水素フリーDLC、Si添加DLC等、様々な膜種あり ・高分子材料から金属・セラミックまで、幅広い基材材質にコーティング可能で 　用途・目的に応...

メーカー・取り扱い企業： 日本アイ・ティ・エフ株式会社

溶射・コーティング/表面処理適用例のご紹介！【事例資料を進呈中】

使い方はいろいろ！溶射をはじめとした表面処理・コーティング技術で生産効…

▶表面処理・溶射・コーティングならトーカロにお任せください！ 鉄鋼から半導体、医療分野まで、さまざまな業界で幅広く利用される表面処理。 資料では、溶射・その他技術の概要や実績のあるアプリケーション等、幅広くご紹介しています！ ＼こんな方におすすめです！／ ・表面処理をご検討中の方 ・今よりも長持ちするコーティングをお探しの方 ・熱影響の少ない処理をご希望の方 ・開発中の商品へ高機能性・付加価値...

メーカー・取り扱い企業： トーカロ株式会社

金属表面処理『InertMask』

酸性化合物や塩基性化合物などの金属吸着が懸念される分析計の配管部品等に…

『InertMask』は、非常に高いレベルで金属の 表面改質を実現する金属表面処理です。 酸性化合物や塩基性化合物などの金属吸着が 懸念される分析計の配管部品等に非常に有効。 処理後は、光の干渉により色彩が変化します。 【特長】 ■チューブの内壁にも処理が可能 ■不活性（非吸着性） ■防汚性 ■撥水性 ■耐有機溶媒性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気...

メーカー・取り扱い企業： ジーエルサイエンス株式会社 分析機器事業

導電性薄膜作製装置『オスミウム・プラズマコーター』

電子顕微鏡観察のお悩みを解決！チャージアップ防止、粒状性・熱ダメージ軽…

『オスミウム・プラズマコーター』は、「直流グロー放電による 負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた電子顕微鏡試料用の 導電性薄膜作製装置です。 プラズマCVD法により、非晶質のオスミウム導電性薄膜(オスミウムコート)を 短時間に形成することができます。 非常に強固かつなめらかな表面の導電性薄膜が試料に対し熱ダメージを 与えることなく得られます。...

メーカー・取り扱い企業： フィルジェン株式会社

カーボンナノチューブ（多層）　MWNT

多層カーボンナノチューブ

や耐摩耗性、高熱伝導性といった複合材料などの応用開発が期待できます。 植物由来原料の樟脳から、地球環境に優しい多層カーボンナノチューブの大量合成を実現し、提供します。 【特徴】 ○製法：CVD法 ○直径：10～40nm ○長さ：～3µm ○炭素純度：＞95％ ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社名城ナノカーボン

グラフェン・シート『単層グラフェン膜』

ポストシリコン用途を初め、多岐に渡る用途が見込まれるグラフェン！

『単層グラフェン膜』は、CVD法で世界最高レベルのグラフェン・シート を製造しているスペインのGraphenea社のグラフェン・シートです。 注目製品は2cm角SiO2基板上の1.5cm角の単層グラフェン。サイズや基板 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニューメタルス　エンド　ケミカルス　コーポレーション

電子線を用いて透明フィルム上に高易動度のZnO薄膜

フレキシブルな透明電極を安価なZnO(酸化亜鉛)で作製可能！

半導体材料である透明電極の性能改善によるウェアラブル端末のさらなる進化が期待されている。ZnOは代表的な導電性の酸化物であり、透明電極への応用が望まれる。化学気相成長(CVD)・原子層堆積(ALD)・スパッタリング等の薄膜作製法が確立されているが、導電性を損なわずに樹脂などのフレキシブル基材上に形成できないという課題があった。本発明では電子線をZnO粒子に照射することで、優れた導電性と、これまでに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東北テクノアーチ

（株）名城ナノカーボン　転写単層グラフェン

転写基板：透明石英ガラス／シリコンウェハー

【特徴】 ○製法：CVD法・基板転写 ○基板：透明石英基板 　　　※現在、シリコン基板の販売は行っておりません。 ○層数：単層 ○サイズ：1cm×1cm ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社名城ナノカーボン

導電性ダイヤモンド コーティング【※動画あり】

ダイヤモンドを成膜してみませんか？試作から量産まで対応！導電性ダイヤモ…

成膜方式：熱フィラメントCVD法 膜種：多結晶ダイヤモンド 成膜範囲：最大 φ150mm 膜厚：～15μm 対応基材：Si、SiC、Nb、Mo、Ti、W 水処理、電解合成、電解、センサー、医療用途に可能性は無限大です。...

メーカー・取り扱い企業： 松尾産業株式会社 東京支店

グラフェンで被覆したポーラスガラス

耐アルカリ性が向上！グラフェン膜で被覆された多孔質硝子

『グラフェンで被覆したポーラスガラス』は、ポーラスガラスの表面をシリル化し、その後、加熱した有機ガスによって炭素被覆した（化学気相蒸着法；CVD）多孔質硝子です。 以上の方法でポーラスガラスの細孔表面をグラフェン膜で完全に覆うことができます。 板状のサンプルであれば、外表面から内部まで連続したグラフェン膜が形成しているため、硝子板の上面から下面の間では電気が流れ、またグラフェン膜は薄く...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社赤川硬質硝子工業所

『ダイヤモンドコーティング工具』

超難削材の効果的な切削が可能！ダイヤモンドコーティング工具についてご紹…

日進では、『ダイヤモンドコーティング工具』を取扱っています。 当社の超硬微粒子母材に対し、 CVD法によるダイヤモンドコーティグを することで、超難削材といわれる炭素繊維複合材、セラミック材等の 効果的な切削を可能にします。 【特長】 ■高硬度(Hv7000～9000) ■低摩擦係...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日進

シャワーヘッド型CVDの解析ソフト『DSMC-Neutrals』

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…

シャワーヘッド型CVD装置内のガス流れのシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CVD装置用　解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した シミュレーションソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして 標準機能でのCCP,マグ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

真空排気シミュレーションソフト『DSMC-Neutrals』

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【解析事例】CVDエッチングプロセス最適条件の探索

最適条件の探索に！多次元表示チャートの活用事例をご紹介！

詳細化学反応解析プログラムCHEMKINと連成した、 エッチングプロセス最適条件の探索事例をご紹介します。 問題設定としては、原料ガス供給量SCCM、酸素濃度を変化させ、 出口C2F6濃度、CF4濃度がそれぞれ最小となり、 エッチング速度最大(膜生成速度最小）となる操作点を探索しました。 計算の結果、具体的にC2F6濃度とエッチング速度はトレードオフの関係になる ことが明確とな...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ

ダスト挙動の解析ソフト『DSMC-Neutrals』

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」のシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

真空装置向け 希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

『Particle-PLUS』は プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した シミュレーションソフトウェアです。 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社