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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111
100nm分解能で位置決め!リニアエンコーダによる位置フィードバックで…
単位:100nm インポジション範囲:±100nm(±300nm、±700nm 選択可) 最大動作速度設定:100mm/sec(接続ステージの性能が優先) 制御インターフェース:緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能:200行×5チャンネル(1行1コマンド) 電源:AC100V~240V...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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10nm分解能で位置決め制御!検査や研究の再現性向上に!
最小指令単位:10nm インポジション範囲:±10nm(±30nm、±70nm 選択可) 最大動作速度設定:50mm/sec(接続ステージの性能に依存) 制御インターフェース:緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能:200行×5チャンネル(1行1コマンド) 電源:AC100V~240V...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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1nm分解能で位置決めステージを制御!
御軸数:2 最小指令単位:1nm インポジション範囲:±1nm(±3nm、±7nm 選択可) 最大動作速度設定値:6mm/s(接続ステージの性能が優先) 制御インターフェース:緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能:200行×5チャンネル(1行1コマンド) 電源:AC100V~240V ...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-414
50nm分解能で位置決め!ロングステージ向けコントローラ
指令単位:50nm インポジション範囲:±50nm(±150nm、±350nm 選択可) 最大動作速度設定:100mm/sec(接続ステージの性能が優先) 制御インターフェース:緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能:200行×5チャンネル(1行1コマンド) スローダウンセンサ:対応 ORGセンサ:対応 電源:AC100V~240V...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411
50nm分解能で位置決め!フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向…
指令単位:50nm インポジション範囲:±50nm(±150nm、±350nm 選択可) 最大動作速度設定:100mm/sec(接続ステージの性能が優先) 制御インターフェース:緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能:200行×5チャンネル(1行1コマンド) 電源:AC100V~240V...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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10nm分解能で位置決め。スローダウン機能搭載
最小指令単位:10nm インポジション範囲:±10nm(±30nm、±70nm 選択可) 最大動作速度設定:50mm/sec(接続ステージの性能が優先) 制御インターフェース:緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能:200行×5チャンネル(1行1コマンド) 電源:AC100V~240V...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114
100nm分解能で位置決め!ロングステージ向けコントローラ
単位:100nm インポジション範囲:±100nm(±300nm、±700nm 選択可) 最大動作速度設定:100mm/sec(接続ステージの性能に依存) 制御インターフェース:緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能:200行×5チャンネル(1行1コマンド) スローダウンセンサ:対応 ORGセンサ:対応 電源:AC100V~240V...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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検査や研究を効率化!5nm分解能で位置決め制御ができます。
2 最小指令単位:5nm インポジション範囲:±5nm(±15nm、±35nm 選択可) 最大動作速度設定:30mm/sec(接続ステージの性能に依存) 制御インターフェース:緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O ティーチング機能:200行×5チャンネル(1行1コマンド) 電源:AC100V~240V...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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