圧力 | イプロス医薬食品技術

PR省スペースを実現。ピュアスチーム発生量に比例して供給水量を制御。

本装置は、独自に開発した高効率の上昇流下液膜方式の蒸発缶を採用。さらに、独自の圧力制御（予測制御）により発生蒸気圧力を安定して供給することが可能です。 SUS316L＋EP仕様でピュアスチーム発生量ごとにラインアップしております。【特長】 ■蒸発缶と気液分離缶を一体化させることで省スペースを実現 ■始動より定格運転までの立上がりが早い ■飛沫同伴が生じないサイクロン方式の気液分...

メーカー・取り扱い企業：クリーンメカニカル株式会社本社

撹拌機「AJITER」×水圧モータ「NADS」

PR水の力で撹拌機を動かす！エアーを使わないので空気が綺麗、電気を使わない…

水道水を作動流にするNADSの水圧モータを使用した撹拌機です。エアーを使わないので空気が綺麗、電気を使わないので環境に配慮した安全・安心な撹拌機です。【NADSとは？】 NADSはNACOL株式会社の新・水圧技術（ADS: Aqua Drive System）を使用したポンプやモータ、リリーフ弁、ソレノイドバルブ等を展開するシリーズ。空圧や電気駆動では難しかった高性能な駆...

メーカー・取り扱い企業：株式会社島崎エンジニアリング本社

ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』

圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換！ワイドレンジ電離真空計

ニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。入力電圧はワイド電圧。外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、 CEマーキング、RoHSに対応しています。自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御などにご使用いただけます。【特長】 ■外部入出力 ■RS-232C通信機能を標準装備 ■入力電圧はワイド電圧 ■CEマーキング、Ro...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

イオンゲージ『M-311HG』

再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れ…

『M-311HG』は、トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。センサは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。【特長】 ■ワイドな圧力測定範囲 ■高応答アナログ出...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

クリスタルゲージ『M-320XG』

優れた再現性で測定が可能！熱源（フィラメント）を持たない真空計

『M-320XG』は、大気圧から1×10^-2Paまでの広い範囲にわたって、信頼性の高い測定ができるクリスタルゲージです。水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用し、はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能。あら引きゲージとしての用途以外に、チャンバの大気圧ベントの検出用の圧力スイッチと...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』

豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能！電源電圧は特注も対応いた…

823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や APC（自動圧力制御）で有効なレンジホールド機能を標準装備。「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージのコンビネーション及びゲージの自動切替を行うオートフィラメント機能の ...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

ワイドレンジ電離真空計『M-833HG』

高真空～超高真空装置搭載に好適！最大4ヶのオプションボード取付け可能で…

ション）のコンビネーション及び、ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。【特長】 ■見やすい液晶表示形式 ■圧力及び、種々のメッセージが液晶にて表示 ■圧力レンジは自動切換 ■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能 ■セットポイントを 2点標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力…

真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつクリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の圧力測定などにお使いいただけます。【特長】 ■クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

真空部品『真空スイッチ』

大気とのシールは溶接構造なので、超高真空に接続可能！各種真空系の制御信…

『真空スイッチ』は、単極双投接点を備え、作動圧力の上限または下限において同時にON・OFF2点制御信号が得られ、作動圧力の変化もわずかです。また、真空側はすべてSUS-304を使用しており、大気とのシールは溶接構造なので高真空に接...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

キャパシタンスゲージ『M-342DG』

質量は200gと軽量でサイズもコンパクト！外部環境から受ける影響を最小…

キャパシタンスゲージ『M-342DG』は、高精度で安定した圧力測定、最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。質量は200g、サイズはW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト。圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチ...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

コールドカソードピラニゲージ『M-361CP』

部品交換のみの容易なメンテナンス！1台2役でシステムのコストダウンや管…

『M-361CP』は、大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを組み合わせたコンビネーションゲージです。 1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムのコストダウンや管理負荷低減に貢献。また、部品交換のみの容易なメンテナンスです。【特長】 ■測定安定性の改善　・新開発の放電アシスト機能によりピラニ...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

超高真空フランジ(真空部品)『ICFフランジ』

シール用ガスケットは銅板製で超高真空用特殊処理を採用！オス・メスなしの…

特に信頼性が高く、取り扱い方法も簡単。専用の無酸素銅製ガスケットを使用します。【特長】 ■"Capturing"の理論により、ガスケットを弾性的にシール ■10^-10Pa以下の圧力に耐える仕様 ■-196℃より+450℃までの温度範囲でリークフリー ■オス・メスなしの完全対称形フランジ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

真空部品『直線導入機』

構成部品はすべて非磁性体！真空側と大気側をベローズで完全に遮断したベロ…

『直線導入機』は、真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、圧力が10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用できます。オールメタルなのでハードベークが可能。超高真空系に適しています。ベローズの伸縮を利用し真空内に直線運動を導入するため、操作中での ...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

回転導入機(磁気結合型・ベローズ式)

3kg･cmから最高100kg･cmの高トルクタイプのものまで各種ご用…

当製品は、真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が 10^-8Pa以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。磁気結合型回転導入機とベローズ式回転導入機をご用意。真空ブレージング接合を採用し、エラストマーシールは一切...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

コールドカソードゲージ『M-370CG』

優れた測定安定性！未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減しま…

『M-370CG』は、熱フィラメントを使用しない堅牢なコールドカソードゲージ（冷陰極電離真空計）です。高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現。優れた測定安定性で、未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減します。【特長】 ■高真空下での良好な起動性 ■未放電・放電遅れを解消 ■容易なメンテナンス...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社