• 植物発酵エキスを用いた酵素ドリンク・健康食品・サプリメントOEM 製品画像

    植物発酵エキスを用いた酵素ドリンク・健康食品・サプリメントOEM

    PR小ロットのPB・OEMを承ります。国産原料の提供や、貴社オリジナル原料…

    当社では75種類の素材を配合した植物発酵エキスの製造を行っています。 分包化・瓶詰めも対応できる「ペースト」をはじめ、濃度も味もお好みで 調整可能な「ドリンク」、サイズ・形を選べる「打錠」など各種取り扱っています。 貴社のPB商品展開の充実にご活用いただけます。 【OEM・PB供給の特長】 ・ペースト・ドリンク・カプセル・丸剤・打錠・粉末などの様々な形状を選択可能 ・試作も可能で...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社機能性食品開発研究所

  • CKD 窒素ガス精製ユニット『NSシリーズ』 製品画像

    CKD 窒素ガス精製ユニット『NSシリーズ』

    PR圧縮空気を供給するだけで手軽に「窒素(N2)」を精製!もう大規模な設備…

    『NSシリーズ』は、食品の加工や包装工程、レーザー加工機などに使用される窒素ガスを 圧縮空気から高純度に分離精製する窒素ガス精製ユニットです。 簡単に連結ができるモジュール設計を取り入れ、フィルタ類やレギュレータ、 絞り弁などの機器をコンパクトにシステム化が可能です。 また、精製は膜分離式のため電源が不要で、防爆雰囲気や異電圧地域でも使用でき、 電気ノイズや発熱、駆動音等にかかわる問...

    メーカー・取り扱い企業: CKD株式会社

  • 【分析事例】血中Liの濃度評価 製品画像

    【分析事例】血中Liの濃度評価

    低い濃度から中毒域まで、広範囲で分析できます

    躁病や双極性障害の治療に広く使用される炭酸リチウムは、リチウム中毒を防ぐため、適正な血中濃度を保って治療が行われなければなりません。そのため、定期的な血中濃度の測定(治療薬物モニタリング:TDM)が求められています。 ICP-MS (誘導結合プラズマ質量分析)法による分析では治療域未満の...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 機能性成分の血液中成分濃度分析 製品画像

    機能性成分の血液中成分濃度分析

    血液中レスベラトロールの濃度評価事例

    測定法:LC/MS 製品分野:食品・医薬品 分析目的:組成評価・同定...レスベラトロールのサプリメントを摂取した被験者から血液を採取し、血液中のレスベラトロールを測定しました。その結果、レスベラトロールは摂取1時間後の血液中から検出されましたが、摂取後2時間後以降は検出されませんでした。レスベラトロールは体内で速やかに代謝される物質であると考えられます。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析 製品画像

    【分析事例】深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析

    様々なAl組成のAlGaN中不純物の定量が可能です

    SIMS分析で不純物濃度を求めるためには、分析試料と同じ組成の標準試料を使うことが必要です。紫外LEDやパワーデバイスに使われているAlGaNについて、様々なAl組成のAlGaN標準試料を取りそろえることで、MSTではより...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】シリコン単結晶中の格子間原子濃度の定量 製品画像

    【分析事例】シリコン単結晶中の格子間原子濃度の定量

    赤外吸収法により非破壊で格子間酸素・炭素濃度を定量

    シリコン単結晶中の格子間酸素及び炭素原子濃度をFT-IR分析により非破壊で求めることが可能です。透過法により測定したスペクトルの格子間酸素または炭素による吸収のピーク高さから算出します。 算出方法は、電子情報技術産業協会(JEITA: Ja...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】UVセンサ AlGaN中不純物濃度の高精度評価 製品画像

    【分析事例】UVセンサ AlGaN中不純物濃度の高精度評価

    様々なAl組成のAlGaN標準試料をラインアップ

    SIMS分析において、より確かな濃度定量値を算出するには測定サンプルと組成の近い標準サンプルを用いることが不可欠です。 紫外LEDやUVセンサに用いられるAlGaNについて、Al含有量に応じたAlGaN標準試料を幅広く取り揃えたこと...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】Si-IGBTチップのキャリア濃度分布評価 製品画像

    【分析事例】Si-IGBTチップのキャリア濃度分布評価

    フィールドストップ層およびライフタイムキラーのSRA評価

    SRAでは、キャリアの深さ方向濃度分布を浅い領域(数100nm)から深い領域(数100μm)までの幅広いレンジで分析が可能です。また、試料表面や指定深さにおける抵抗値の面内分布評価も可能です。 一例として、市販品のSi-IGBTチ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】SRAの濃度換算について 製品画像

    【分析事例】SRAの濃度換算について

    SRA:広がり抵抗測定法

    作成し、それを用いて抵抗を比抵抗(Ω・cm)に換算するまた、必要に応じて体積補正による分布の補正を行う *)校正曲線は導電型(p型/n型)、および面方位によって異なります 3. 比抵抗とキャリア濃度の関係式*)を用いてキャリア濃度(/cm3) を算出する...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【事例】GCIBを用いたSiO2中アルカリ金属の深さ方向濃度分布 製品画像

    【事例】GCIBを用いたSiO2中アルカリ金属の深さ方向濃度分布

    SiO2膜の不純物の評価

    えられることがわかりました。この測定を行うことで、SiO2膜中の不純物について定性・定量分析を行うことが可能です。 測定法:TOF-SIMS 製品分野:LSI・メモリ・電子部品 分析目的:微量濃度評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】リチウムイオン電池電解液中のフッ化物イオン濃度評価 製品画像

    【分析事例】リチウムイオン電池電解液中のフッ化物イオン濃度評価

    NMRを用いてフッ化物イオンの定量分析が可能です。

    知られています。本資料では、対象化合物の標品を用いずに絶対定量が可能な19F-NMRを用いて、電解液(1M LiPF6 , EC:EMC = 3:7 v/v)の大気曝露によって生成したフッ化物イオン濃度を評価した事例を示します。 測定法:NMR 製品分野:二次電池・電子部品 分析目的:故障解析・不良解析・劣化調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】SiC基板表面および内部の不純物濃度測定 製品画像

    【分析事例】SiC基板表面および内部の不純物濃度測定

    ICP-MS, GDMSにより基板表面と内部とを切り分けて分析

    ついて、基板表面に付着した不純物をICP-MS、基板中の不純物をGDMSで分析した事例をご紹介します。 測定法:ICP-MS・GDMS 製品分野:パワーデバイス・製造装置・部品 分析目的:微量濃度評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】水素水の含有水素濃度評価 製品画像

    【分析事例】水素水の含有水素濃度評価

    水素水などの溶液中水素濃度測定が可能です

    水素水は体内の活性酸素を除去できると言われており、抗酸化作用に注目が集まっています。ただし、水に溶ける水素量はわずかであり、空気中に放置すると徐々に水素が抜けてしまうことや、水素は非常に小さい分子であるため、保存容器によっては長期間の保管ができないことが知られています。そのため、保管容器や保管方法が重要とされています。本事例では、水素水を紙コップに移したものとパウチ型の保管容器でどれだけ水素が抜け...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】a-Si薄膜太陽電池中のドーパント濃度分布評価 製品画像

    【分析事例】a-Si薄膜太陽電池中のドーパント濃度分布評価

    対象元素に応じて測定条件を選択

    フレキシブル薄膜Si太陽電池において、a-Si(アモルファスシリコン)中のドーパントの濃度分布を定量的に評価した事例をご紹介します。樹脂で封止されたサンプルを解体し、SIMS分析を行いました。 Bの分析(図3)では表面側の浅い箇所に存在するため、深さ方向分解能を高めて測定を行いました。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】酸化ガリウムGa2O3膜表面近傍の金属元素濃度評価 製品画像

    【分析事例】酸化ガリウムGa2O3膜表面近傍の金属元素濃度評価

    極浅い領域でも高感度に分析

    ウムGa2O3は、SiCやGaNよりもバンドギャップが広く、優れた物性を有することから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。ウエハの開発には、特性を左右する不純物濃度の制御が重要です。本資料ではGa2O3膜の表面近傍について、金属元素の定量分析を行った事例を示します。 TOF-SIMSでは極浅い領域でも高感度に評価が可能です。...

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  • 【分析事例】食品中有害成分の濃度分析 製品画像

    【分析事例】食品中有害成分の濃度分析

    乳幼児用粉ミルク中メラミンの濃度評価

    2007年ペットフード大量リコール騒動、2008年メラミン混入粉ミルク事件をきっかけに、乳製品、家畜飼料等食品からメラミンが検出され、国を挙げて対策が検討されています。 MSTでは食品中のメラミンを高い精度で抽出・回収し、LC/MS/MS分析法により定量する手法を確立しています。 下にLC/MS/MS分析結果を示します。食品の安全性に対する皆様の不安払拭にお役立てください。...詳しいデータはカ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】パワーデバイスのキャリア濃度分布評価 製品画像

    【分析事例】パワーデバイスのキャリア濃度分布評価

    ドーパントの活性化率に関する評価が可能

    SRA(Spreading Resistance Analysis)はサンプルを斜め研磨し、その研磨面に2探針を接触させ、広がり抵抗を測定する手法です(図1)。 キャリア濃度分布を評価することで、ドーパントの活性化状況についての知見を得ることが可能です。 一例として、パッケージ開封後のダイオードチップ表面中央部と外周部(図2)についてSRAを行った事例をご紹介します。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】GaN系LED構造中不純物の深さ方向濃度分析 製品画像

    【分析事例】GaN系LED構造中不純物の深さ方向濃度分析

    目的に応じた分析条件で測定します

    GaN系LED構造のドーパント元素であるMgやSiの深さ方向濃度分布を複数の分析モードで評価した事例をご紹介します。 SIMS分析では目的に合わせて最適な分析モードを選択することで、より厳密な評価が可能になりますのでお気軽にご相談ください。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】SiN膜中水素の結合状態別の定量 製品画像

    【分析事例】SiN膜中水素の結合状態別の定量

    赤外吸収法によりSiN膜中のSi-H,N-Hを定量

    SiN膜中のSi-H及びN-H濃度をFT-IR分析により求めることが可能です。SIMS等の分析でも、水素濃度を求めることは可能ですが、全水素濃度であり、Siと結合した水素及びNと結合した水素をそれぞれ求めることは出来ません。FT-I...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】SiC中不純物の超高感度測定 製品画像

    【分析事例】SiC中不純物の超高感度測定

    ppb~pptレベルのバルク濃度を評価します

    変電所などで使用可能な超高耐圧・低損失SiCパワーデバイスの開発においては低キャリア濃度の制御が必要となり、SIMS分析で極低濃度の不純物評価を行うことが有効です。 SIMS分析では多元素を同時に取得せず、不純物を1元素に限定することで極低濃度を評価することが可能です。本資料ではSi...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • [SRA]広がり抵抗測定法 製品画像

    [SRA]広がり抵抗測定法

    SRA:Spreading Resistance Analysis

    触させ、広がり抵抗を測定する手法です。 SRP(Spreading Resistance Profiling)とも呼ばれます。 ・ 導電型(p型/n型)の判定が可能 ・ 深さ方向のキャリア濃度分布の評価が可能 ・ 濃度約1E12~2E20 /cm3の広範囲のキャリア濃度の分析が可能 ・ 約20μm×100μm以上の大きさのパターン試料の測定が可能 ・ SRAとSIMSを組み合わせて...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 走査型マイクロ波顕微鏡法_SMM 製品画像

    走査型マイクロ波顕微鏡法_SMM

    Scanning Microwave Microscopy

    SMM は、導電性プローブを用いて計測試料を走査し、その凹凸形状を観察します。同時に、マイクロ波を探針から試料に照射して、その反射応答を計測することで、特に半導体の場合にはキャリア濃度に相関した信号を得ることができる手法です。SMM 信号の強度はキャリア濃度に線形に相関するため、定量性が高いことが特徴です。 ・Si デバイスの場合、1015~1020cm-3程度のキャリア濃...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】Si系太陽電池のBSF層の評価 製品画像

    【分析事例】Si系太陽電池のBSF層の評価

    断面イメージングSIMSにより面内分布のある不純物評価が可能

    ある太陽電池について、凹凸の影響を避けて面内分布評価を行う方法として、断面加工試料をイメージングSIMSにより評価した事例を紹介します。断面SCMによりp+ Si層と判定された領域では、BとAlが高濃度存在することが分かりました。さらに、ラインプロファイルを用いてドーパント分布を濃度変換し、面内の不均一の度合いを数値化しました。太陽電池以外にもパワーデバイスなどの深い接合評価、トレンチ間・内部の不...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】結晶Si太陽電池の不純物評価 製品画像

    【分析事例】結晶Si太陽電池の不純物評価

    金属元素および大気成分元素の極微量分析

    結晶Si太陽電池の基板成長からセル形成までの各工程で必要とされている不純物量制御のための評価法として、高感度分析による元素濃度測定をご提案します。金属元素はppb以下、Hを含む大気成分元素についてはppm以下の濃度まで計測可能です。 測定法:SIMS・ICP-MS・エッチング・解体 製品分野:太陽電池 分析目的:微量...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】成膜成分のウエハ裏面への回り込み評価 製品画像

    【分析事例】成膜成分のウエハ裏面への回り込み評価

    ベベル部近傍にて金属成分の定量的な評価が可能

    イス製造において、歩留まり向上の観点からウエハ裏面に残留する金属を除去することが求められており、金属成分の残留量を定量的に把握することが重要です。 ベベル部から500umの範囲で裏面に残留する金属濃度分布を調査するため、TOF-SIMSを用いて評価を行いました。TOF-SIMSはベベル部近傍のみの金属成分を検出する空間分解能を有しており、濃度既知の標準試料を用いることで濃度を定量的に算出すること...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】SiO2中のアルカリ金属の深さ方向分布評価 製品画像

    【分析事例】SiO2中のアルカリ金属の深さ方向分布評価

    試料冷却による高精度なアルカリ金属の分布評価

    SiO2中のアルカリ金属の分布を一般的な分析条件で測定すると、測定に起因する電界などの影響により、深さ方向濃度分布に変化が生じることが知られています。 MSTではSIMS測定時に試料を冷却することでアルカリ金属の濃度分布変化を抑制し、より高精度に濃度分布を評価いたします。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • [SCM][SNDM] 製品画像

    [SCM][SNDM]

    キャリア分布を二次元的に可視化

    SNDMは、導電性の探針を用いて半導体表面を走査し、キャリア分布を二次元的に可視化する手 法です。 ・SCM:1015~1020cm-3, SNDM:1014~1020cm-3程度のキャリア濃度に感度がある ・半導体の極性(p型/n型)の識別が可能 ・キャリア濃度に相関した信号が得られるが、定量評価は不可 ・AFM像の取得も可能...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • [IC]イオンクロマトグラフ法 製品画像

    [IC]イオンクロマトグラフ法

    イオンクロマトグラフ法は液体試料中のイオン成分を検出する手法です

    られます。 カラムで分離した各イオン成分の保持時間はイオン成分ごとに異なるため、ピーク位置(保持時間)を標準試料と比較することで定性分析を行うことができます。また、測定強度と溶液中のイオン成分濃度が比例関係となるため、濃度既知の標準溶液との比較によりイオン成分の定量分析が可能です。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】レスベラトロールの血液中・尿中成分濃度分析 製品画像

    【分析事例】レスベラトロールの血液中・尿中成分濃度分析

    機能性成分の吸収量算出ができます

    レスベラトロールは赤ワインやピーナッツの渋皮に含まれるポリフェノールの一種で、抗酸化作用や抗炎症作用があるとされています。 レスベラトロールは摂取後に胃で吸収され、速やかに代謝されることが知られています。代謝の過程でグルクロン酸抱合体や硫酸抱合体になりますが、それら代謝物をレスベラトロールに変換して定量することにより、レスベラトロールの吸収量を算出できます。...詳しいデータはカタログをご覧くだ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】液体中の陰イオン濃度分析 製品画像

    【分析事例】液体中の陰イオン濃度分析

    IC:イオンクロマトグラフィー

    イオンクロマトグラフ法は液体試料中のイオン成分を検出する手法です。 また、固体(部材)表目に付着しているこれらの成分は、純水に浸して抽出することで測定します。 MSTでは液体試料に含まれるイオンや有機酸の定性・定量分析、部材表面から溶出するイオン量評価、部材の腐食原因調査が可能です。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • [SSDP用加工]基板側からの測定用加工 製品画像

    [SSDP用加工]基板側からの測定用加工

    基板側からの測定ができるように基板を削って薄片化

    試料表面側にドーパントが高濃度に存在している試料について、試料の表面からと裏面から評価した場合を比較すると、表面からの分析では、高濃度層の影響を受け、深い方向へ広がった分布が得られます。このような場合、基板側から分析することで、...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】SiC基板におけるSSDP-SIMS分析 製品画像

    【分析事例】SiC基板におけるSSDP-SIMS分析

    SiC基板側からドーパント濃度プロファイルを取得可能

    SiCパワーMOS FET(図1)において、ゲートパッド部下のSiC中にてドーパント元素であるAlの濃度分布を素子表面側から及び裏面側からSIMSで評価しました(図2)。 分析を進める方向に関係なく深さ約0.5μm以降の分布もよく一致することから、Alの濃度分布の広がりは測定起因でなく実際の元素分布...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】お茶に含まれる機能性成分の定量分析 製品画像

    【分析事例】お茶に含まれる機能性成分の定量分析

    茶カテキンとカフェインの濃度評価および製品比較

    MSTではLC/MS/MSを用いて茶カテキンの定性・定量分析が可能です。本資料では、お茶を入れる温度・時間によるEGCGの濃度変化を観察しました(図1)。温度が高いほどEGCGの抽出効率が高く、抽出5分後までの抽出量が大きいことが分かりました。また、市販のお茶6製品に含まれる茶カテキン量を比較し、紅茶や烏龍茶よりも緑茶に多...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】尿中のカテキン代謝物のLC/MS/MS分析 製品画像

    【分析事例】尿中のカテキン代謝物のLC/MS/MS分析

    尿中のカテキン代謝物の定性、及び経時変化・個体差調査

    高感度LC-MS(Q-TOF型)を用いることにより、生体試料中における代謝物のような低濃度成分の定性分析が可能です。生体内で付加や抱合などの代謝を受けた成分の検索や、経時変化や個体差の調査を目的とした試料間比較を行うことができます。高濃度カテキン飲料を摂取後に採尿し、カテキンの代謝を調査...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】ゲート電極から基板へのBの突き抜け量評価 製品画像

    【分析事例】ゲート電極から基板へのBの突き抜け量評価

    SSDP-SIMSによる測定面の凹凸・高濃度層の影響を避けた測定

    基板側からSIMS分析(SSDP-SIMS)を行うことで、表面の凹凸・スパッタに伴う表面側高濃度層からのノックオンの影響を受けない測定が可能です。ゲート電極(BドープPoly-Si)から基板へのボロンの突き抜け量を評価しました。基板側からの測定ではノックオンなどの影響が見られず、より正確な突き...

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  • 【分析事例】飲料中ジアセチルの定量 製品画像

    【分析事例】飲料中ジアセチルの定量

    GC/MSによりジアセチル量が評価可能

    バターのようなにおいを有するジアセチルは、飲料等のオフフレーバー(異臭)として知られており、製品の風味に大きく影響します。特に、酒造業界ではppbオーダーの微量な濃度の違いが製品の香りを左右するため、ジアセチル濃度を感度よく定量することは、品質評価や商品開発において有用となります。 本資料では、通常のGC/MS測定では評価が出来なかった飲料中の微量なジアセチル...

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  • 【分析事例】IC法によるSi含有溶液中のTMAH分析事例 製品画像

    【分析事例】IC法によるSi含有溶液中のTMAH分析事例

    IC(イオンクロマトグラフ)法でアミン類の測定が可能です

    水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)は、半導体の現像液やエッチング液として用いられています。 Siのエッチング液に用いたTMAH溶液の濃度を測定する場合、溶液中に多量に溶解したSiが夾雑物となり、測定結果に影響を与える場合がありますが、IC(イオンクロマトグラフ)法による評価ではSiの影響を受けることなく、TMAH濃度の定量分析が可能...

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  • 【分析事例】NPT-IGBT中ドーパント調査 製品画像

    【分析事例】NPT-IGBT中ドーパント調査

    イメージングSIMSによって局在する元素の評価が可能

    SIMS測定を行いました。図1に分析によって得られた11B,Asのイオンイメージを示します。11BとAsは同じ領域に注入されていることがわかります。 また、通常の分析では検出領域全体の各元素の平均濃度が算出されてしまいますが、イメージングSIMS測定においては、部分的にデプスプロファイルを抽出することができるため、面内に局在するドーパントの濃度分布を評価することができます(図2)。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】水素注入サンプルのSRA/SIMS評価事例 製品画像

    【分析事例】水素注入サンプルのSRA/SIMS評価事例

    ライフタイム制御サンプルのキャリア濃度分析事例紹介

    パワー半導体デバイスでは、ライフタイム制御のために、Si基板内に結晶欠陥を形成することがあります。ライフタイム制御領域の作成に用いられる元素の一つである水素イオンの熱処理条件の違いによるキャリア濃度分布を評価した事例を示します。...

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  • [SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法 製品画像

    [SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法

    ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能

    スが印加された試料の表面を導電性探針で走査し、抵抗値の分布を二次元的に計測することで探針直下の広がり抵抗を可視化する手法です。 シリコン半導体素子を計測した場合、空間分解能に依存しますが、キャリア濃度1016個/cm3以上に感度があります。 ・ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能 ・半導体のドーパント濃度分布計測に有効 ・半導体の極性(p型/n型)の判定は不可 ・定量評価は不可...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • [GDMS]グロー放電質量分析法 製品画像

    [GDMS]グロー放電質量分析法

    特定の質量イオンを解離・フラグメント化させ、質量分析計で検出

    GDMSは固体試料の組成について、主成分から微量成分まで同時に分析し、試料内に存在する不純物の半定量分析を行う手法です。濃度換算には装置付随の相対感度係数(RSF)を使用します。分析値は主成分元素と目的元素のイオン強度と、RSFから算出した値であり、半定量値です。 ・微量元素(ppbレベル)から主成分レベルまでのバ...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】C60,GCIBを用いたアルカリ金属の深さ濃度分布 製品画像

    【分析事例】C60,GCIBを用いたアルカリ金属の深さ濃度分布

    SiO2膜の不純物の評価

    アルカリ金属であるLi,Na,Kは半導体における各種故障原因の要の元素です。これらは測定時に膜中を移動してしまう可動イオンと言われており、正確な分布を得ることが困難とされてきました。 今回、スパッタイオン源にC60(フラーレン)とGCIB(Arクラスター)を用いたTOF-SIMSの深さ方向分析を行うことにより、常温下の測定でもアルカリ金属の移動が抑えられることがわかりました。この測定を行うことで...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】SNDMおよびSMMによる拡散層評価 製品画像

    【分析事例】SNDMおよびSMMによる拡散層評価

    SiCデバイスの拡散層のp/n極性とキャリア濃度分布を評価できます

    課題があり、出来栄え評価が重要となります。今回、SiC Trench MOSFETに関して、SNDM(走査 型非線形誘電率顕微鏡)にてキャリア極性判定をSMM(走査型マイクロ波顕微鏡法)にてキャリア濃度分布を評価した事例をご紹介します。 ...

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  • 研究開発を強力サポート 「受託分析サービス」 製品画像

    研究開発を強力サポート 「受託分析サービス」

    お客様からお預かりした材料・製品の受託分析を行います。前処理から測定ま…

    合わせください。 ・分析に関するお問い合わせ・お申し込みはお電話やお問い合わせより、受け付けております。 【受託分析データ例】 ○TEM分析 原子レベルまで観察 ○SIMS分析 不純物の濃度を評価 ○XRD分析 X線で結晶を特定 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】SiGe中不純物の高精度定量評価 製品画像

    【分析事例】SiGe中不純物の高精度定量評価

    SIMS:二次イオン質量分析法

    SIMSによる半導体素材SiGeの不純物の定量・組成評価では、分析時に下記を考慮する必要があります。 ●Ge濃度に応じた適切な定量補正を行わないと不純物定量値は本来の値に比べて50%以上異なることがある。定量評価を行うためには各組成に応じた標準試料が必要。 ●SiとSiGeではスパッタリングレートが異なる事...

    メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

  • 【分析事例】化合物積層構造試料のSIMS分析 製品画像

    【分析事例】化合物積層構造試料のSIMS分析

    前処理により化合物層を選択的に除去してから分析が可能

    積層構造試料のSIMS分析において、試料表面から深い位置に着目層がある構造では、着目層で深さ方向分解能の劣化や上層の濃度分布の影響を受ける懸念があります。このような場合には、前処理により上層を除去してから分析することが有効です。本資料では、 InP/InGaAs系 SHBT(Single Heterojunction...

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    【分析事例】ラット皮膚中インドメタシンの経皮吸収評価

    TOF-SIMSにより生体組織中薬効成分の分布を可視化

    うことで、深さ方向への分布評価をすることができます。今回、ラットの皮膚にインドメタシンのゲル製剤を2時間塗布し、浸透した薬効成分の分布を可視化しました。その結果、インドメタシンは角層表面約5μmに高濃度に偏在しており、深さ方向ラインプロファイル解析により徐々に浸透している様子が観察できました。...

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