ITWジャパン株式会社

MultiFlo(TM)コンフィギュレータで数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能『GF40シリーズ』Multifloマスフローコントローラ/メータ

GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフロー コントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールを MultiFlo(TM)コンフィギュレータ（専用…

【製品情報】圧力ベース・メタルシール・マスフローコントローラ『GP200シリーズ』

『最高の性能を最大限に引き出す』 半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ（P-MFC）で…

【製品情報】マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』

モデル GF40 『デバイス1台で さまざまなガスと流量に対応します』 1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独…

ISO/IEC 17025認証が計測の不確かさを "より小さく" する方法

バイオテクノロジーなどの業界では、流量制御の校正精度を保証するために認証を利用しています。 流体の流れを測定し制御する機器は、正確な測定と制御を保証するために、初期製造時に校正し、その後定期的に再校…

【製品情報】ガラス管面積式流量計/金属管面積式流量計

プラスチックには適さない高圧や高温の液体や気体の流量を測定する 場合、当社の堅牢な「ガラス管式面積式流量計（ローターメータ）」を 使用すれば、より正確な流量を測定することが可能です。 より幅…

【長期安定性に優れた流量・圧力計測機器】二次電池材料・バイオ・表面処理・EPC業界で実績

二次電池材料、バイオ、表面処理の製造工程や各種評価装置、EPC業界などで使用される流量・圧力測定機器は、用途に適した機能や精度を満たしていることはもちろん、安心して長期間お使いいただける耐久性も重要で…

【製品情報】オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』

圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！ オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ…

【パネル資料】スケールアップとオートメーション化に貢献

H2 & FC EXPO 水素燃料電池展（SMART ENERGY WEEK 春）出展に 合わせてご紹介しましたパネル資料です。 ■ ワイドな流量範囲/圧力条件とデジタルI/Oに対応 …

【製品情報】メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF125シリーズ』

『PTI(圧力変動耐性)を搭載したMFC』 超高速応答と高い清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代のPTI（圧力変動耐性）を搭載したメタルシール仕様のマスフローコントローラです。入口圧…

【製品情報】MEMSピラニ―真空計『VersaTorrシリーズ』のご紹介

ピラニー真空計「VersaTorrシリーズ」は、ダイヤフラム式と MEMSピラニ―式のデュアルセンサー方式のBVT100シリーズと、 キャパシタンスマノメーターを融合してよりワイドレンジの測定を …

薄膜技術の基礎知識『PVDとCVDの技術』

日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像 できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。…

薄膜技術の基礎知識『ガラスコーティング』

日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像 できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。…

薄膜技術の基礎知識『薄膜技術とは？』

CVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、 プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介 日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には 想像できなかったような機能を…

【アプリケーション情報】窒化チタンコーティングのための正確で安定したガスと液体の供給

チタンは、対象となる製品に非常に硬い窒化チタン(TiN)コーティングを形成するために、こうした用途で頻繁に使用されます。チタンコーティングは、その金色の外観から、装飾目的で宝石、家庭用器具、自動車のト…

ガラスコーティングメーカー、安定した信頼性の高いガスフロー供給と低圧制御で生産性を向上

低放射率（Low-E）コーティングを施した建築用ガラスは、最も人気のある機能的な建築材料の一つとなっています。熱損失と内部結露を最小限に抑えることで、建築物のエネルギー効率と省エネルギー性を向上させる…

気体・液体用マスフローコントローラ＜真空・圧力計測と制御＞

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが…

【製品情報】メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF100シリーズ』

モデル GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126 『優れた応答速度や繰り返し性で、高清浄度・超高清浄…

【製品情報】ガラス管面積式流量計『GT1600シリーズ』

GT1000、GT1300、Full-View(R) モデルの後継機種 『精度要件を満たすために作られたシンプル且つ堅牢な設計』 プロセス流体の視認が必要な気体および液体のアプリケーション…

【製品情報】面積式流量計＜EPC向けフローソリューション＞

80カ国以上において70年以上にわたるグローバルな実績があります！ プロジェクトの設計、調達、建設（EPC）請負業者が高性能な流量計技術と 高度な技術的専門知識を必要とするとき、当社は的確なソ…

【製品情報】金属管面積式流量計『MT3809Gシリーズ』

モデル 3809G / 3809G ELF / 3809G TFE Lined / 3810G 『幅広い温度、圧力、プロセスレンジに対応、 実証済みのメータ』 屋内や屋外を問わず、過酷なご…

コリオリ式流量コントローラによる高信頼性・高精度な超臨界二酸化炭素の注入

ホットメルトエクストルージョン（HME）は、熱と圧力を加えてポリマーを溶かし、連続プロセスで型に押し出す方法です。HMEはプラスチック産業で広く応用されており、最近では医薬品の剤形やドラッグデリバリー…

【製品情報】マスフローコントローラ/メータ『5850Eシリーズ』

長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います 『5850Eシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。 数十年に…

ブルックス エキスパートサポートツール（BEST）

ブルックスエクスパートサポートツール『BEST(Brooks Enhanced Support Tool)』は、SLA58XXおよびSLAMfXXシリーズ専用の、高機能マスフローコントローラ、メータ、…

マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』＋リードアウトユニット『0254』*RoHS指令準拠製品*

■ マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』 1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo テ…

『Legacy』マスフロ― サポートのご提案

今、ご使用されているLegacyと呼ばれる古いマスフロ―の 修理や代替品の選定で、お困りではないですか？ この20年の間、市場では様々なメーカーのマスフロ―が販売され、それらの多くは今も現役で…

【製品情報】蒸気供給モジュール『VDM300』

モデル VDM300 『超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現』 蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成す…

触媒研究において高精度の配合を可能にするマスフローコントローラ

ここで取り上げる触媒の研究例はハーバー・ボッシュ法であり、肥料用のアンモニアを工業規模で生産するものです。 ハーバー・ボッシュ法とは、高温高圧下で金属触媒を使って窒素と水素を反応させてアンモニアを生産…

【製品情報】エラストマシールサーマル式 マスフローコントローラ/メータ『SLAMfシリーズ』

モデル SLAMf50 / SLAMf51 / SLAMf53 / SLAMf60 / SLAMf61 / SLAMf63 / SLAMf64 『厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現す…

サーマルマスフローコントローラーSLA5850 KHK認証品 アップグレードのお知らせ(2024.5)

近年、高圧ガスを用いたプロセスが盛んになってきており、マスフローコントローラー・メーターの高圧ガス保安法対応に対するニーズが高まってまいりました。当社では2018年以降サーマルマスフローコントローラー…

【パネル資料】新製品(コリオリ式マスフローと高温用マスフロー)

H2 & FC EXPO 水素燃料電池展（SMART ENERGY WEEK 春）出展に 合わせてご紹介しましたパネル資料です。 ■ 新製品(コリオリ式マスフローと高温用マスフロー) …

★改訂★カタログ『GP200シリーズ』圧力ベース ガス マスフローコントローラ

GP200シリーズは、半導体用途専用に設計された、初めての完全圧力非感応型PMFCです。GP200の独自の差圧技術と最先端のセンサー・バルブ構成により、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの限界を…

【製品情報】エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』 #FC EXPO出展製品

モデル SLA5850/SLA5851/SLA5853/SLA5860/SLA5861/SLA5863 『1台あれば、14種類の圧力や流量レートを1つのプロセスで使用できる。』 そんなマス…