多元マルチスパッタリング装置【MiniLab-125】Φ8"対応 SiCコーティング 1000℃ヒーターステージ搭載！コンパクトサイズ！

多元同時スパッタ装置【MiniLab-S125】

多元同時スパッタ装置【MiniLab-S125】

多元マルチスパッタリング装置（Φ8inch基板対応）
・3元同時成膜 + 1元PulseDCスパッタ
・RF500W, DC850W両電源を3元カソード（Source1, 2, 3）へ自在に配置変更
・5KW PulseDC電源も搭載 → 専用カソード（4）で使用
・基板加熱ステージ Max800℃（SiCコーティングヒーターでMax1000℃も可能）
・MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング
・メインチャンバー RIEエッチングステージRF300W
・LLチャンバー＜30W 低出力制御ソフトエッチング
・独自の"Soft-Ething"技術で基板バイアスにより基板のダメージを軽減
・タッチパネル又はWindows PC操作：操作が分散せず、全ての操作をタッチパネル/PCで行うことができます。
・装置設置寸法：1,960(W) x 1,100(D) x 1,700(H)mm
・マルチチャンバー式も製作可能です。

●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着・PECVDなどの混在仕様も構成可能です。

【MiniLab-SA125A】多元マルチスパッタ装置

【MiniLab-SA125A】多元マルチスパッタ装置製品画像

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用） 4元マルチスパッタ（Φ6, 8inch用）

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替）高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C…

多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】

多元マルチスパッタ装置【MiniLab-S125A】製品画像

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用） 4元マルチスパッタ（Φ6, 8inch用）

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替）高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔軟に対応高温基板加熱ステージ（二重ジャケット水冷式）オプション -1) Max600℃（ランプ加熱） -2) Max1000℃（C…

薄膜実験装置_「PRODUCTS GUIDE 2022」

薄膜実験装置_「PRODUCTS GUIDE 2022」製品画像

半導体・電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用各種実験装置、薄膜実験装置を紹介。

研究開発分野向け、各種薄膜実験装置・コンポーネントを紹介します。【nano Benchtopシリーズ】ハイパフォーマンス！nano Benchtopシリーズ薄膜実験装置コンパクトサイズに、高機能・ハイスペックな薄膜装置を収納【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置】多彩な装置構成、必要なコンポーネントを要求仕様に合わせて組み合わせ構成する「フレキシブル実験装置」

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置製品画像

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能。様々な研究用途に対応可能な小型薄膜実験装置。

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な…

【nanoCVD-8G】グラフェン合成装置

【nanoCVD-8G】グラフェン合成装置製品画像

◉ 短時間 1バッチわずか30分で容易にグラフェン合成実験が可能 ◉ 高精度温度・圧力制御 ◉ 洗練されたソフトウエア

◉ コールドウオール式による高効率・高精度プロセスコントロール ◉ 急速昇温：1100℃/約3分間 ◉ 高精度温度制御：±1℃ ◉ 高精度APC自動圧力制御システム：ガス3系統（Ar, H2, CH4） ◉ グラフェン作成用標準レシピ付属 ◉ コンパクトサイズ：405(W) x 415(D) x 280(H)mm

□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□

□■□【MiniLab-026】フレキシブル薄膜実験装置□■□ 製品画像

小型、省スペース! 研究開発に最適蒸着・スパッタ・アニール等目的に合わせてフレキシブルに構成

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチン…

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置製品画像

小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。

OLED（有機EL）, OPV（有機薄膜太陽電池）, OTFT（有機薄膜太陽電池）, 又, グラフェン, TMD（遷移金属ダイカルコゲナイド）などの2D材料における成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。 MiniLab-026/090-GBでは、PVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省ス…

□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□

□■□【MiniLab-080】フレキシブル薄膜実験装置□■□ 製品画像

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。高さ570mmトールチャンバー採用蒸着時の均一性向上に寄与

80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材料）,EB蒸着, RF/DC/P…

□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□

□■□【MiniLab-060】フレキシブル薄膜実験装置□■□ 製品画像

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み立てることができるセミカスタムメイド薄膜実験装置

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置下記蒸着源から組合せが可能・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着・2inchマグネトロンスパッタリングカソード x 4 ・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能【スモールフットプリント・省スペース】・デュアルラックタイプ（MiniLab-060）…

スパッタリング装置『MiniLab-060』

スパッタリング装置『MiniLab-060』製品画像

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み立てることができるセミカスタムメイド薄膜実験装置

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置下記蒸着源から組合せが可能・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着・2inchスパッタリングカソード x 4（又は3inch x 3, 4inch x 2）・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能【スモールフットプリント・省スペース】・デュア…

スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』製品画像

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能。様々な研究用途に対応可能な小型薄膜実験装置。

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な…

スパッタリング装置『MiniLab-026』

スパッタリング装置『MiniLab-026』製品画像

小型、省スペース! 研究開発に最適蒸着・スパッタ・アニール等目的に合わせてフレキシブルに構成

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチン…

真空蒸着装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

真空蒸着装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』製品画像

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能。様々な研究用途に対応可能な小型薄膜実験装置。

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な…

真空蒸着装置『MiniLab-080』

真空蒸着装置『MiniLab-080』製品画像

蒸着・スパッタ・EB等ご要望によりフレキシブルに構成可能。高さ570mmトールチャンバー採用蒸着時の均一性向上に寄与

80ℓ容積 400(W)x400(D)x570(H)mm D型ボックスチャンバーで構成されるML-080は、060と同等の構成で更にチャンバーを高くすることによりTS距離調整範囲が長く、大口径基板での蒸着時の膜均一性が向上、真空蒸着に最適なモデルです。ロードロック機構も追加できるML-060の上位機種。060同様に、コンパクトながら抵抗加熱蒸着（金属/絶縁物/有機材料）,EB蒸着, RF/DC/P…

真空蒸着装置『MiniLab-026』

真空蒸着装置『MiniLab-026』製品画像

小型、省スペース! 研究開発に最適蒸着・スパッタ・アニール等目的に合わせてフレキシブルに構成

必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチン…

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