分析ワークフローを自動化・リモート化！新製品のアジレントＨＰＬＣ

PR【自動化・DXを加速】インテリジェンス機能を持ったAgilent In…

新製品 Agilent Infinity III LCは、 分析ワークフローを自動化・リモート化し、 お客様のラボをスマートにする液体クロマトグラフです。 定型業務、付帯業務を効率化し、R&D、クリエイティブな仕事に 注力でき、ヒューマンエラーとストレスを減らします。 【特長】 ■自動化・リモート化 　移動相の取り扱いからサンプル管理まで、日常的な作業を効率化。 　居室や自宅か...

メーカー・取り扱い企業： アジレント・テクノロジー株式会社

メディカルライティングのための執筆支援ツールCoAuthor

PRCertara.AIと自動化の力を活用してドキュメント作成を効率化し、…

薬事申請文書の作成（患者ナラティブ、CSR、プロトコール、シノプシスなど）は、多くの場合、さまざまなソースやデータタイプからのインプットを含む非常に時間のかかる面倒なプロセスです。メディカルライターは、データをまとめたり重要な情報を抽出したりする際に、独自のアプローチを持っていることが多く、ソースファイルにほとんど精通していないことも多いため、矛盾が生じたり生産性や一貫性の妨げになったりすることが...

メーカー・取り扱い企業： サターラ合同会社 日本支社

【分析事例】シームレスカプセルの三次元構造観察および膜厚解析

X線CTによりシームレスカプセルの評価・解析が可能

膜の膜厚分布を3Dイメージおよびヒストグラム化しました。このようにX線CTを用いることで、内部構造の確認、異物の調査、膜厚分布等を非破壊で評価可能です。 測定法：X線CT法 製品分野：医薬品 分析目的：構造評価・膜厚評価・製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

抗体Fc領域糖鎖構造認識 TSKgel FcR-IIIAシリーズ

抗体Fc領域のN-結合型糖鎖構造を認識！ 分析、分取カラムをラインナ…

■高速分析用カラム「TSKgel FcR-IIIA-NPR」 　・抗体Fc領域のN-結合型糖鎖構造の違いを認識、ADCC活性の異なる抗体を分離することが可能。 　・遺伝子組換えヒトFcγレセプターIIIa...

メーカー・取り扱い企業： 東ソー株式会社 バイオサイエンス事業部　計測分野

【分析事例】半導体パッケージのはんだ濡れ性試験_C0699

劣化加速試験後の電極のはんだ濡れ性試験が可能です。

の濡れ性がどうなるかを検証しました。恒温恒湿試験後、電極表面の濡れ性が変化することが分かりました。 測定法：恒温恒湿試験,はんだ濡れ性試験 製品分野：パワーデバイス,LSI・メモリ,電子部品 分析目的：劣化調査・信頼性評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

SOLA 固相抽出（SPE）メソッド開発ガイド

SPEバイオ分析に関する方法の最適化

固相抽出（SPE）は、複雑な生物学的マトリックスから分析種を分離する、非常に有効な最新のバイオ分析手法です。正確度および精度を改善し、非常に低レベルの検出を可能にし、質量分析計で問題となるマトリックス効果を低減します。...

メーカー・取り扱い企業： サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社／Thermo Fisher Scientific K.K.

分析事例トレンチ型Si-MOSFETのIDSSリーク箇所複合解析

デバイスの不良箇所特定から要因解析までワンストップでご提供

ション顕微鏡法)を用いて行い、不良要因解析をSCM(走査型静電容量顕微鏡法)とSEM（走査型顕微鏡法）で評価した事例をご紹介します。 測定法：EMS,SCM,SEM 製品分野：パワーデバイス 分析目的：故障解析・不良解析 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 201904-02 セルロースナノファイバー構造解析

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

る必要がある。今回、CNFを用いた複合材料の形態観察事例を紹介すると共に、CNF自体の観察事例、構造解析例として13C核 固体NMR法による結晶化度、および酸加水分解HPLC-蛍光検出法による構成糖分析の例を示す。 【目次】 １．はじめに ２．形態観察の概要 ３．CNFおよびCNF／ポリマーの観察事例 ４．CNFの結晶化度の評価 ５．CNFの構成糖分析（HPLC-蛍光検出法） ６．ま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

微量試料の精製・濃縮用カラム MonoSpin Trypsin

微量試料を遠心分離で簡単・高速処理

MonoSpin は、均一な連続孔を持つシリカモノリスを用いた前処理用のスピンカラムです。 遠心操作により、生体試料などの微量サンプルの前処理を、効果的に行えます。 MonoSpin Trypsin は、トリプシンを固定化したカラムです。タンパク質の迅速消化が可能になります。 特長 ● 遠心処理による簡単な操作 ● 高い通液性を持つ構造による高速処理が可能 ● 100 µL 以下の...

メーカー・取り扱い企業： ジーエルサイエンス株式会社 分析機器事業

IoT実習装置『MM3000-IoTシリーズ』

拡張ユニット（振動用など）を付加で、さらに高度なIoT実習システムにす…

IoT実習装置『MM3000-IoTシリーズ』は、既存の生産設備や機器に接続して、 容易にデータの収集、分析を行うことができるシステムです。 IoT実習装置には、各種アプリケーションが予め実装。各種兆候監視、 生産管理、要因分析などIoTに関する実習を幅広く行えます。 さらに、収集するデータ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社新興技術研究所

CRMでマーケティング戦略を練る為に知るべき4つの分析手法

なぜCRMを用いなければならないか！具体的な分析手法を知りCRMを生か…

ITツールの発達により、CRMという顧客情報一元管理ツールが 顧客管理の主流となりました。 しかし、そのデータを用い、分析して、戦略策定までできている企業は まだ少数です。CRMを用いて戦略を立てる為には、分析の手法を知る必要が あります。 この記事ではなぜCRMを用いなければならないか、そこからの具体的な ...

メーカー・取り扱い企業： ソフトブレーン株式会社 東京本社

【分析事例】垂直入射法による深さ方向分解能の向上

SIMS：二次イオン質量分析法

■極浅深さ方向分布の測定法 （1）斜入射法における深さ方向分解能の限界 斜入射法における深さ方向分解能の一次イオンエネルギー依存性をδドープ試料を用いて調査しました（図1）。斜入射法においては、クレータ底面の粗れにより深さ方向分解能の向上に限界があることがわかります（図2）。 （2）垂直入射法による深さ方向分解能の向上 垂直及び斜入射法におけるBピーク（δドープ試料）の半値幅と一次イオンエ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ガスクロマトグラフ四重極質量分析計

幅広い測定・分析ニーズに対応した究極の高性能・汎用型GC-MS

日本電子株式会社の新世代ガスクロマトグラフ四重極質量分析計 (GC-QMS) システムJMS-Q1600GC UltraQuad SQ-Zetaは、長年培ってきたQMS技術を結集させた第6世代のハイエンドGC-QMSです。 環境、水質、農薬分析といった定...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

【分析事例】酸化ガリウムGa2O3 イオン注入ダメージ層の評価

イオン注入後のアニール条件の違いによる差異を確認

。本資料では、イオン注入による結晶構造の乱れから生じるダメージ層及び表面粗さの変化を、アニール条件毎に観察した結果を示します。 測定法：TEM・AFM 製品分野：酸化物半導体・パワーデバイス 分析目的：形状評価・構造評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XPSにおける吸着酸素の影響

XPS： X線光電子分光法

の組成より過大評価される場合があり、注意が必要です。 酸素が吸着し易い試料(Ti,TiN,AlN等)の評価や微量酸素に着目した評価の場合には吸着酸素の影響が大きくなるため、試料間比較やSIMSでの分析を推奨しています。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【医療機器・分析機器専門OEM製造】装置・機器　開発＆製造実績

医療用・分析用で活躍する装置、機器を開発から製造まで一環して担ってきま…

医療用、分析用、ライフサイエンス分野を中心に、主に中ロットの開発・製造を得意としております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オーイーエムシステム

【分析事例】消毒前後における不織布マスクの表面形状観察

アルコール消毒前後でマスク表面の形状を比較

で観察した結果を紹介します。アルコール消毒後では、繊維の形状が変化し、また消毒前の特徴的な凸形状が少なくなっていることがわかりました。 測定法： SEM 製品分野：日用品、ウイルス対策関連品 分析目的：形状評価、構造評価、劣化調査・信頼性評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】CFRP炭素繊維強化プラスチック内部の繊維配向解析

X線CTによるCFRPの解析事例

いて観察しました。その結果、直径約7μmの炭素繊維の集まりを観察することができ、また繊維の配向性解析を行いました。 測定法：C-SAM 製品分野：酸化物半導体・パワーデバイス・LSI・メモリ 分析目的：形状評価・故障解析・不良解析・製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

生態系・生物多様性の診断に基づくコンサルティングサービス

生物多様性評価・促進、生態系評価・設計、農林水産業・環境・インフラ事業…

当社では、自然生態系という複雑なシステムを科学的に分析し、 生物多様性がもたらす恵みを持続的に利用する新たな方法を提案しています。 (1)最先端DNA分析技術を含む、独自の生態系分析ツール（Biosphere Viewer）による生態系、生物多様性の...

メーカー・取り扱い企業： サンリット・シードリングス株式会社

新入社員教育の困った！をマニュアル作成ツールで解決

現場の作業動画をとるだけで、見える化・作業分析・技能伝承をサポート！

んですか？」 あなた「（・・・なかなか口で説明するのが難しい作業だ）今から説明するからよく理解するように。」 こんなことが起きていませんか？ 現場の作業動画をとるだけで、見える化・作業分析・技能伝承をサポート！ 新人教育や技術継承、作業標準化を目的として、多くの企業様が作業マニュアルを作成していると思います。 しかしながら、作成に多くの手間がかかる割に作業時の微妙なニュアンスなど...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アステックコンサルティング

状態監視システム TYPE-I-8/16

異常部位の特定や損傷状態まで検知できる高性能タイプ

減速機の状態をわかりやすいダッシュボード画面で監視できる状態監視システムです。 測定データはモバイル回線で送信するため、煩雑なネットワーク配線は不要です。 クラウドのデータを分析して報告書を提出します。 【特長】 （１）早期の異常検知 周波数分析により特徴周波数の振動値を傾向監視することで、故障が進行する前の異常を検知します。 （２）異常部位・損傷状態の把握 ...

メーカー・取り扱い企業： 住友重機械工業株式会社

【活用事例】Coregelシリーズによる有機酸のHPLC分析

豊富なラインナップから最適なカラムをお選びいただけます

米国Concise Separations社製のCoregelシリーズは、有機酸分析用のカラムです。 こちらのページでは、Coregelシリーズのアプリケーションノートを掲載しております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エーディーエステック バイオ事業部

空中浮遊カビ分析試験

空中浮遊カビ分析試験

室内空気中の浮遊カビ数および種類を調べる試験です。 試験結果から、浮遊カビの衛生学的評価、対策などに関する情報を提供します。 ※浮遊カビだけでなく、浮遊細菌に関する試験も可能です。...　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社衛生微生物研究センター 東京研究所

試料中の遺伝子組換え大豆を検出『遺伝子組換え検査』

★国内向け・海外向けのGMO検査に対応★ 消費者庁公定法による「不検出…

◆遺伝子組換え試験（ISO対応） 検査方法：JAS分析試験ハンドブック 遺伝子組換え食品検査・分析マニュアル（改定第３版） 検査可能品種：RRS 検査可能形態：大豆及びその加工品 ◆遺伝子組換え検査（公定法対応） 検査方法：安全性審査済みの...

メーカー・取り扱い企業： ビジョンバイオ株式会社

【分析事例】汚染原因となる工程の調査

手袋由来の汚染の評価

半導体デバイス製造において汚染工程を調べるため、不良の原因となる薄い付着物が何に起因するかを調べる必要があります。EDXでCが検出され、XPSで定量を行った付着物について、TOF-SIMSで分析を行いました。各工程で使用している標準試料の手袋と比較をしたところ、手袋A, Bと似た傾向が見られました。更に、標準試料の手袋をSiウエハに付着させて検証をしました。その結果、手袋Aに類似しているこ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】アルミニウム(Al)表面のOHの分布、状態評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捕らえることが可能

ニターしながら高感度に深さ方向分布を測定することが可能です。OHと併せて深さ方向分布を評価することで、酸化膜厚の変化を伴わずにOHが増加していた現象を見出しました。このようにTOF-SIMSでは元素分析では得られない、無機物の分子情報の深さ方向分布を評価することが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

実験計画法(3)

取り上げた要因を２水準で実験する「２水準系直交表実験」の分析方法、３水…

取り上げた要因を２水準で実験する「２水準系直交表実験」の分析方法、および取り上げた要因を３水準で実験する「３水準系直交表実験」の分析方法を習得できます。＜全3回コース＞ 近々のオンラインお申込みはこちらから ・第3回　2021円12月3日 　htt...

メーカー・取り扱い企業： オンラインセミナー&電子書籍株式会社

【分析事例】X線吸収・発光分光によるバンド構造評価

材料の価電子帯・伝導帯・ギャップ内準位の詳細な情報が得られます

材料の様々な特性を制御するにあたって価電子帯・伝導帯・ギャップ内準位といったバンド構造の把握は極めて重要な評価項目となっていますが、それらを直接的かつ詳細に評価する分析手法は限られています。放射光を用いたX線吸収分光(XAS)とX線発光分光(XES)の同時測定からはバンド構造の全容が把握できると共に、それらを構成する元素・軌道の帰属といった詳細な情報も得ることが可...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【豆知識】はじめに＜酵素の仕事シリーズ＞

機能を知るためには分析が必要！酵素の役割と分析方法を中心にご紹介

うな消化酵素、 あるいは美容健康食品でしょうか。 最初に発見された酵素はジアスターゼという酵素です。以来、これまでに 数千種類もの酵素が見いだされています。それぞれの機能を知るためには 分析が必要で、いくつかの酵素については一般的な方法が提案されています。 当記事では、酵素の役割と分析方法を中心にご紹介してまいります。 ※記事の詳細内容は、関連リンク・カタログより閲覧いただ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社同仁グローカル

試験研究試薬

研究試薬・工業薬品・機器・器材の販売を通じて研究・分析を全力でサポート

当社では、試験研究用試薬・工薬・医薬品原料・理化学機器・装置・ 各種硝子用品・クリーンルーム用品などの営業販売を行っております。 高速液体クロマトグラフ用・分取クロマトグラフ用などの分析用試薬や 環境ホルモン分析用・残留農薬試験用などの環境分析用試薬といった 様々な製品を取扱っております。 地域の各研究機関・産業分野・教育分野へ先端の情報をご提供し 研究開発のサポートも...

メーカー・取り扱い企業： 荒木薬品株式会社 本社

【分析事例】ゲート電極から基板へのBの突き抜け量評価

SSDP-SIMSによる測定面の凹凸・高濃度層の影響を避けた測定

基板側からSIMS分析（SSDP-SIMS）を行うことで、表面の凹凸・スパッタに伴う表面側高濃度層からのノックオンの影響を受けない測定が可能です。ゲート電極（BドープPoly-Si）から基板へのボロンの突き抜け量を評価し...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【設備の日常点検をカンタンに】故障や停止の予防保全に貢献！

生産活動において設備の故障や停止は大打撃。『FMMS』の導入で情報の一…

【システム詳細】 ■保全の蓄積 　・故障原因の分析 　・対応統計（時間、コスト） 　・保全検索、参照 　・保全報告書作成 　・マスタ管理 ■計画保全へ 　・生産計画安定 　・品質確保 　・コスト予算化 ■突発故障の対応を迅速化 ...

メーカー・取り扱い企業： 藤田グループ

ラボ用水素発生装置

分析機器・燃料電池・化学反応用の水素ガスとして最適です。

QL型水素ガス発生器はSPE純水の電気分解により、高純度水素ガスを発生します。軽量、安全、高効率、省エネに優れ、ガスクロマトグラフ（GC）、導電性検出器、原子発光分光分析装置などの分析装置の燃料ガス、キャリアガスや、物理·化学実験用、研究用水素源としてご使用いただけます。...

メーカー・取り扱い企業： 山東SAIKESAISI水素エナジー有限会社 本社

塩水中カルシウム分析計『LCA-100』

ランニングコストが安価！不純物(Mg)の影響を受けない塩水中カルシウム…

『LCA-100』は、塩水中のカルシウム濃度をフローインジェクション 螢光光度法により分析し、その分析結果を外部にアナログ信号で出力する 塩水中カルシウム分析計です。 サンプルループ方式のため、採取精度が非常にすぐれています。 また、自動運転、手動操作、動作状態の表示、異常...

メーカー・取り扱い企業： ラボテック株式会社

【環境調査】有資格者によるアスベスト分析

建材中に含まれるアスベストや空気中に浮遊しているアスベストの測定を行っ…

アスベストは、その優れた物性から建築材料として大量に使用されてきました。 しかし、発ガン性を持ち、その発症が何十年も経過した後でなければわからないという問題も出てきました。 アスベストが「静かな時限爆弾」と呼ばれる所以です。 【特徴】 〇アスベストと法規制 〇建材中に含まれている石綿の含有量調査 〇空気中に飛散している石綿の濃度調査 【用途】 〇建物などのアスベスト調査　等 詳しくはPR...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社環境公害センター

【分析事例】細菌の画像からの細胞周期評価

深層学習×データ解析により、多量のデータを活用して試料特性を評価できま…

した。さらに、データ解析を行い、乳酸菌の形状をもとに細胞周期上の存在比を求めました。 測定法：SEM、計算科学・AI・データ解析 製品分野：バイオテクノロジ、医薬品、日用品、化粧品、食品 分析目的：形状評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】シリコン単結晶中の格子間原子濃度の定量

赤外吸収法により非破壊で格子間酸素・炭素濃度を定量

シリコン単結晶中の格子間酸素及び炭素原子濃度をFT-IR分析により非破壊で求めることが可能です。透過法により測定したスペクトルの格子間酸素または炭素による吸収のピーク高さから算出します。 算出方法は、電子情報技術産業協会（JEITA: Japan Elec...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】骨断面の組成分布評価

マウスの脛骨断面の組成分布をTOF-SIMSにより可視化

マウス脛骨の成分分布を評価するため、脛骨の切片を作成しTOF-SIMSによるイメージング分析を行いました。マウス由来成分であるK・Ca・リン酸Ca・リン脂質の分布が確認できました。 TOF-SIMSは成分を分子イオンの質量から同定するため、蛍光物質などの標識が不要なことから、標識物質の影...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

電気化学測定装置 「VIONIC (バイオニック)」

腐食や電池などの基礎から応用研究まで1台でカバーするポテンショスタット…

Autolab社のポテンショスタット / ガルバノスタット「VIONIS (バイオニック)」 ● 研究開発の分析とルーチン分析の両方の測定が1台で可能 ● メインに行う分析メソッドをルーチン分析化して簡単に測定 ● 使いやすいコマンドタイルを使用して、オリジナルの測定フローを作成 Autolab社はメト...

メーカー・取り扱い企業： メトロームジャパン株式会社 本社

【分析事例】メルブロミンの皮膚への浸透性評価

テープストリッピング法により皮膚への主薬の浸透性を可視化

するテープストリッピング法にて、皮膚への主薬の浸透性を評価しまし た。メルブロミン液を腕に塗布し、二時間後にテープストリッピング法にて角層を三回剥離し、テープの粘着層表面をTOF-SIMSにより面分析しました。角質由来のCNOに対する、メルブロミン由来の臭素Br量によりメルブロミンの浸透を数値化し、皮膚への浸透性を評価することができました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】C60,GCIBを用いたアルカリ金属の深さ濃度分布

SiO2膜の不純物の評価

中を移動してしまう可動イオンと言われており、正確な分布を得ることが困難とされてきました。 今回、スパッタイオン源にC60（フラーレン）とGCIB(Arクラスター)を用いたTOF-SIMSの深さ方向分析を行うことにより、常温下の測定でもアルカリ金属の移動が抑えられることがわかりました。この測定を行うことで、SiO2膜中の不純物について定性・定量分析を行うことが可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Si-IGBTチップのキャリア濃度分布評価

フィールドストップ層およびライフタイムキラーのSRA評価

SRAでは、キャリアの深さ方向濃度分布を浅い領域（数100nm）から深い領域（数100μm）までの幅広いレンジで分析が可能です。また、試料表面や指定深さにおける抵抗値の面内分布評価も可能です。 一例として、市販品のSi-IGBTチップを解体し、チップ全体/フィールドストップ層/ライフタイムキラーの深さ方向濃度分...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】溶液中の窒素成分の評価

無機窒素を形態別に分析可能です

窒素は様々な形態で化学・材料・食品・医薬等の幅広い分野において利用されています。窒素化合物は硝酸、亜硝酸、アンモニアなどの無機窒素化合物や、アミノ酸などの有機窒素化合物などからなります。サンプルが水溶液の場合、硝酸イオン、亜硝酸イオン、アンモニウムイオンなどの無機窒素化合物についてはイオンクロマトグラフ法、有機態窒素についてはHPLCやLC/MS、また無機窒素化合物と有機窒素化合物を合わせた全窒素...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

電子実験ノート（ELN）による研究データ管理の資料進呈

雑誌掲載記事の別刷進呈！　電子実験ノートによる研究データ管理のメリット…

実験においては、参考文献、標準手順書、使用する試薬や機材の情報、行った作業内容やその際の観察結果、分析機器からの出力など、多種多様な情報を扱います。 電子実験ノート（ELN）は、これらの情報を適切に管理し、有効活用するためのシステムです。 CDD Vault ELNは創薬研究をはじめ様々な分...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社モルシス

Type127小型・高耐蝕電磁弁(ソレノイドバルブ)

海外大手の生乳成分分析装置やPCR装置でも採用中。分析・理化学機器等に…

海外大手の生乳成分分析装置やPCR装置でも使われている電磁弁。流体が金属に触れない高耐蝕仕様の小型電磁弁。コンパクトな寸法で、各種分析装置、理化学機器への使用実績を誇ります。年間５００,０００個以上を世界へ向けて生産して...

メーカー・取り扱い企業： ビュルケルトジャパン株式会社

【分析事例】酸化物ReRAM動作領域の元素分布評価

酸化物デバイスにおける局所元素分布を酸素同位体を用いて高感度に評価

酸化物ReRAMでは、電場印加に伴う酸素拡散がメモリ動作（抵抗変化）と関連しているとされていました。 SIMS分析では同位体を測定可能であるため、同位体18Oイオン注入技術を利用すれば、酸素拡散の追跡が可能となります。18Oを局所的に注入した素子に対し、電場印加により動作領域となるブリッジ構造を形成し、元素マッ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など厚さ数nm以下の極薄膜について、XPS分析によって膜厚を算出した事例をご紹介します。Siウエハ最表面のSi2pスペクトルを測定し、得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この結果と光電子の平均自由行程か ら...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST