NEWマイクロミックス＜真空加熱(冷却)式＞【※試せます】

PRトリプル回転機構を採用！目的に応じたオプション製作も可能で、テスト対応…

『NEWマイクロミックス』は、臼の回転とは逆方向に公転する杵と 自転する杵先により、効率の良い撹拌、混合、すり潰しが可能な 真空加熱(冷却)式の製品です。 独自の回転スクレーバーによって粉砕効率も大幅アップ。 また、真空ポンプを搭載することで、容器内を減圧した状態で 撹拌ができます。 【特長(主な機能)】 ■「トリプル回転機構」により、効率の良い攪拌・粉砕・混合が可能 ■原料を運び込みながら...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤナギヤ 東京営業本部

オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ R5 RDシリーズ

真空包装マシンと高速包装サイクル用途に特化して設計された真空ポンプ。従…

【製品説明】 世界各地では300万台以上のR5ロータリーベーン真空ポンプが使用されています。ブッシュのロータリーベーン技術が長きにわたり業界のスタンダードとして確固たる地位を築いてきた理由の一つが、その優れた堅牢性と信頼性です。R5 RDシリーズはそういった優れた特...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

真空ポンプ『総合カタログ』

真空ポンプ総合カタログ

Buschの総合カタログ最新版が完成！ 各種真空メカニズムの図解入り。真空ポンプ図鑑としてお役立てください。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。 　またPDF資料をダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

FOOMA JAPANに実機出展！世界で選ばれ続ける真空ポンプ

従来の油回転ポンプと比較し最大30%の省エネ(当社比)！まずは評価機で…

【製品説明】 世界で300万台以上のR5ロータリーベーン真空ポンプが使用されています。ブッシュのロータリーベーン技術が長きにわたり業界のスタンダードとして確固たる地位を築いてきた理由の一つが、その優れた堅牢性と信頼性です。R5 RDシリーズはその優れた特質を受...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

ロータリーベーン真空ポンプ HUCKEPACK ファミリー

２段ステージ圧縮でパワフル吸引！腐食に強く低騒音＆低消費電力で環境にも…

【製品説明】 酸性ガスや有機溶剤の扱いも可能！パワフルで腐食に強いHUCKEPACK ファミリーは、２段ステージ圧縮を採用したロータリーベーン真空ポンプです。 【特長】 ■ パワフル 　常時新しい潤滑油が補充されるワンス・スルー・オイル式。 　酸性ガスや有機溶剤がポンプ内で凝縮されても外部に排出ができる、 　腐食に強い構造です。水...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

スクリュー真空ポンプ COBRA Industry ファミリー

液体や粉じんのキャリーオーバーにも耐性を持つパワフルなドライ真空ポンプ…

【製品説明】 中真空および粗引きに適した堅牢で高い信頼性の真空ソリューション。多様な仕様を展開し、更に要件に合わせた調整が可能です。 【特長】 ■ 堅牢：プロセスガス経路を最適化。液体や粉体のキャリーオーバーが可能 ■ 耐食：シリンダーの温度分布を均一に保つ設計で耐食性が向上 ■ 高効率：特許取得の「セルフバランシングスクリュー」で高効率化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

食品業界向けドライスクリュー真空ポンプ『NOVADRY』

食品業界固有の課題解決に貢献する、業界初・唯一の100%オイルフリーの…

製造や包装など、食品業界のお客様のSDGsの目標達成に貢献するドライ真空ポンプ。革新的なベルト駆動式で、オイルが食品に混入するリスクをゼロにします。 ■　水封式ポンプとに比べ、消費電力を削減。水の管理も不要 ■　油回転式ポンプに比べ、オイルの交換が不要なため廃棄物...

メーカー・取り扱い企業： ライボルト株式会社

一般産業用 水封式ポンプ

世界でも多くの導入実績があるエドワーズの水封式ポンプをご紹介いたします…

水封式ポンプは、以下のような特徴がございます。　 　・水、油、薬品類の蒸気や液体を含んだガスの排気に適している 　・ダスト、粉体を吸い込んだとしても、ポンプ構造がシンプルな為、トラブルが起きにくい 　・真空室内に摺動部が無く潤滑が不要、また排気弁が不要 エドワーズの水封式ポンプは、シングルステージタイプとダブルステージタイプがあり、使用環境に合わせて、 最適な構造材料(ステンレス鋼、...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

ドライ圧縮スクリュー式真空ポンプ『DRYVAC』

ドライ真空ポンプ・スマートな排気の新しいアイデア

お客様の生産性を向上する革新的なドライ真空ポンプ。オイル交換が不要なためオイルやオイルフィルターなどの廃棄物の量を削減でき、またワールドクラスのエネルギー効率で低消費電力を実現。カーボンフットプリントを最小限に抑えることができます。 ハーメ...

メーカー・取り扱い企業： ライボルト株式会社

ドライ真空ポンプ/コンプレッサーSECOファミリー

ロボットのピック＆プレイスや真空包装、印刷業界での紙葉類処理を効率化す…

3-124 / 3.6-146 m3/h (50/60 Hz) ■到達圧力：真空 : 100-150 hPa (mbar) ■到達圧力：加圧 : 0.6-1.5 bar(g) これらの真空ポンプ製品はカタログの内容も含め、海外の仕様で記載されております。 詳しくは別途お問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

コンパクトな水封真空ポンプ「DOLPHIN LM/LT」

扱いやすさと低価格にフォーカスした水封式真空ポンプ。真空乾燥、除水、減…

★特徴その１★ 取付け簡単:ユニバーサルフランジを採用。JIS、ANSI、DIN/ENに 簡単に取付け可能です ★特徴その２★ 手早く交換:ベアリング・ボックス・カバーを外すだけでシール、 ベアリングの交換ができます。ポンプの分解不要なため、現場で 手早く作業可能です ★特徴その３★ 低価格:構造をシンプルにすることで小型化と低価格化を実現 ★特徴その４★ 材質の標...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

アネスト岩田　真空機器

低振動・低騒音・高効率。クリーンな真空はアネスト岩田にお任せください。

世界初のオイルフリースクロール真空ポンプをはじめ 幅広いラインアップから、お客様に最適な製品を用意しております！ ■ISPシリーズ：ドライポンプのベストセラー オイル不要で「低振動」「低騒音」なので、様々な分野でお使い頂いて...

メーカー・取り扱い企業： アネスト岩田株式会社

【小型・大流量・静音】Disc Pump(マイクロポンプ)

超小型・軽量であるにも関わらず大流量で比類なき静粛性・無脈動を備えた高…

米国精密流体制御部品メーカーのThe Lee Companyはこの度数々の輝かしい実績のあるDisc Pumpを新たに製品群として向かい入れました。 ピエゾ素子駆動によりサイズが小さい(直径29mm×厚み11mm)にも関わらず、真空～60kPaの幅広い圧力レンジ、流量は何と最大で2.0L/minで吐出圧力・流量の精度0.1%以下を実現しています。 人の聞こえる音域～20kHzより高い音域で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジュピターコーポレーション 本社

スーパーブロワー【SF】シリーズ（真空ブロワ）

新しい気流システムで省エネと高真空を一挙に実現！効率が大幅にアップ …

用電力・回転発熱が低下、 効率が大幅にアップ。水・油による冷却が不要。 ワークの吸着搬送や、真空チャック、脱気、脱脂装置の真空引き、真空含浸、真空乾燥などの用途 に適しています。 ＊真空ポンプより安価。メンテナンス頻度減、長時間運転化可 【特長】 ■ビルトインブースター ■セーブエネルギー ■メンテナンスフリー ※真空ブロアについては、詳しくはPDF資料をご覧いただ...

メーカー・取り扱い企業： 西村電機株式会社

カスタムメイド真空システム

真空設備のトラブルはありませんか？既存設備の改善も、新規設備の設計もご…

真空設備の安定運転は、 ★　製造設備そのものの安定運転 ★　最終製品の品質の安定 につながります。そして真空設備をトラブルなく運転するためには、 ★ 生産設備個々の条件に合った真空ポンプの選定と、 ★ その周辺のエンジニアリング が必要になります。真空ポンプの技術者、エンジニアリング会社で豊富な経験を積んだエンジニアを擁するブッシュは、お客様のお困りごとを解決し、要件に適し...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

真空ポンプ 調査無料キャンペーン

お客様保有のユーティリティ用真空ポンプを無償で調査・レポートいたします…

困りではございませんでしょうか？ 　 ・省エネに繋がるヒントを探している。。。 ・現状の設備の見える化をしたい。。。 ・社内で検討する為の具体的な数値と資料が欲しい。。。 「既設の真空ポンプの見える化を行い、省エネポンプに入れ替えた場合の効果を実データを持って検証する」、これがエドワーズからのご提案です。 既設ポンプに計測器を取り付け、 計測データから、概算の消費電力を計算し、置...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

真空保存容器

新鮮そのまま一年間！真空保存容器に関することなら当社にお任せください

おります。 真空保存パッカー(R)や真空米びつ(R)などといったラインアップをご用意。 真空のため、虫なし・カビなしで、1年間の新鮮そのままを実現します。 【特長】 ■高性能小型真空ポンプ ■真空を保つ技術 　(ポンプを付けるためのノズルをプラスチック製の袋に接着する技術) ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： ハジー技研株式会社

メカニカルブースターポンプ EHシリーズ

メカニカルブースターポンプEHシリーズは、310～4915m3/hの排…

EHシリーズは、ルーツタイプの真空ポンプであり、メカニカルブースターとしてお使いになれます。 バッキングポンプと同時に使用する事により、ポンプのダウンタイムを短縮することができるため、差圧の大きい環境での使用に適しています。 排気速度...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

【注意事項】大晃機械工業「ドライ真空ポンプ」

大晃機械工業社製「ドライ真空ポンプ」の運搬や保管の際の注意事項を掲載

当資料は、三興商事が取扱う大晃機械工業社製「ドライ真空ポンプ」の 注意事項を掲載しています。 同社より発行された本書は、真空ポンプ購入のご計画時にご使用いただくため、 取扱い上特に注意すべき点を取扱説明書より抜粋したものです。 納入後は必...

メーカー・取り扱い企業： 三興商事株式会社

ドライポンプ GXSシリーズ 排気速度160～3450m3/hr

一般産業向けのハイエンドレンジの真空ポンプであり、信頼性の高いパフォー…

GXSシリーズは、スクリュータイプの真空ポンプであり、一般産業向けに多くの納入実績がある製品です。 コントローラ、インバーターを標準搭載しており、オプション選択により外部システムとの通信が可能となります。 パージ機能を有しており、シャフ...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

大容量真空フィルタVFL

流量：360L/min[ANR]！大流量真空発生器、真空ポンプ向け真空…

当社では、エア吸引時に一緒に吸い込まれるダストや塵を除去し、 真空発生器や真空ポンプを保護する『大容量真空フィルタVFL』を取り扱っております。 用途に合わせて濾過度を1μm、5μm、10μm、200μmの4種類から選択可能。 また、接続形状には管用テーパメネジ、管用平...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ピスコ

オイルフリー真空ポンプ『ロータリーベーン式』

メンテナンスの手間を格段に低減！ライフサイクルコスト削減にも貢献いたし…

これまでスクロール式で高い評価を頂いておりましたオイルフリー真空ポンプに、新しく『ロータリーベーン式』がラインアップに加わりました！ 【コンセプト】 オイルフリーベーン式のメンテナンスサイクルが短いことによるお客様の3つの悩みを解決します！ 　・ベーン交...

メーカー・取り扱い企業： アネスト岩田株式会社

中古真空装置・機器販売のご案内

全機種オーバーホールして完全稼動した状態で納品しております

【取扱製品】 ■装置 　・真空蒸着装置 　・スパッタ装置 　・イオン注入装置 　・RF/DC電源 　・電子銃/電子銃用電源等 ■高真空ポンプ 　・ターボ分子ポンプ 　・クライオポンプ 　・油拡散ポンプ等 ■メカポンプ 　・油回転ポンプ 　・メカニカルブースターポンプ 　・ドライポンプ 　・スクロールポンプ等 ■真空...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グリーンテック 大阪本社

真空装置『VSシステム』

用途に合わせて3通りの使い方が可能！食品メーカー様向けのMJPによる画…

『VSシステム』は、水の循環だけで0.096Mpa以上の真空を発生する装置です。 マヨネーズ、チョコレート、麺類等の攪拌タンクの泡抜き・脱気に適した 真空吸引「VSシリーズ」をはじめ、カット野菜、魚介類、冷凍食品に適した 水輸送「WSシリーズ」や、白米、大豆、小豆、ゴマ、粉等に適した 空気輸送「ASシリーズ」など、用途に合わせて3通りの使い方ができます。 また、食品以外でも応用す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユメールMJP

TOM成形機『NGF-0203-PW』

メカニカルブースタの採用で高真空、高圧空！曲面ガラスへの成形性が向上

■最大製品重量：50kg(受け治具含む) ■最大圧空圧力：0.5MPa ■フィルム加熱用下ヒータ：0.4kW×6本＝2.4kW ■フィルム加熱用上ヒータ：0.4kW×6枚＝2.4kW ■真空ポンプ：7.5kW ■メカニカルブースタ：3.0kW ■油圧ユニット：5.5kW ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 布施真空株式会社

小型真空ドライポンプ

さまざまな用途環境での使用が可能

軽量のため持ち運びが容易な小型真空ドライポンプ...【特徴】 ■構造が単純で破損箇所が少ない ■排気量 37/40L/min(50/60Hz) ■到達圧力： -680mmHg ■電源： AC100 or 200V ■出力： 200W ■寸法：W140xD202xH192 ■重量： 6.5kg ■吸排気口：Rc1/4(オプションでご希望に変換可能) ■その他排気量、77/90L/m...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

一般産業向け ロータリーポンプ/メカニカルブースターポンプ

一般産業向けの多様なポンプソリューションを提供します

Edwardsでは様々な産業用途に対応できるよう、ロータリーポンプ、ピストン ポンプ、スクリューポンプ、メカニカルブースターポンプなど、すべてオイル シール型でご用意しています。 また、ポンプやアクセサリは、単独でも、工場検査済みの完成システムとしても 出荷することが可能です。 【取扱製品(抜粋)】 ■ロータリーポンプ 　E2Mシリーズ、ESシリーズ、Microvacシリーズ...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

真空グリッパ VRG

大型ワークや変形しやすいワークの吸着搬送に適したロボットハンド

ストプレートの高さを変更することにより大袋などの吸着時のシワを軽減することが可能。 ●P.C.D. 31.5, 40, 56, 80, 100のロボットに直接取付可能。 ●真空発生器内蔵タイプと真空ポンプ対応タイプを用意。 ●真空発生器内蔵タイプは最大吸込流量：760L/minを確保。段ボールなど漏れの多いワークでも吸着可能。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ピスコ

『真空包装機』

真空度99.95％！小型高性能真空ポンプを内蔵したコンパクト設計

当製品は、電子制御による真空度調整・二重封印・シール温度コントロールなど 卓越したハイテクノロジーを駆使した『真空包装機』です。 真空度99.95％と強力なパワーの小型高性能真空ポンプを内蔵したコンパクト設計。 肉、魚、野菜、加工食品から、事前に調理した食品に加えて スープ、ソースなどの液体まで多用途に使用できます。 上部が透明のため食品や料理を見ながら楽に操作...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京菊池商会

【医療・研究室・実験室用・試験器械】PRODUCT GUIDE

医療・研究室・実験室用・試験器械を特長や写真を交えて多数ラインアップを…

当カタログは、富士医療測器株式会社が取り扱うオートクレーブや ポンプなど医療・研究室・実験室用・試験器械をご紹介しています。 高速滅菌・強力強制乾燥の簡単設定が可能な未包装用高圧蒸気滅菌器 「EAC-4600」をはじめ、ピストンポンプ「MV-45PS」や、バッテリー充電器 「ET-50」等、多数ラインアップを掲載しています。 【掲載内容（抜粋）】 ■超高速オートクレーブシリーズ...

メーカー・取り扱い企業： 富士医療測器株式会社

ドライポンプ EXSシリーズ 排気速度450～750m3/hr

一般産業向けのミドルレンジの真空ポンプ。実績のあるGXSをベースに、シ…

EXSシリーズは、スクリュータイプの真空ポンプであり、排気速度450m3/hrと750m3/hrの2モデルから選択できます。 標準でインバーターが搭載されており（コントローラー無し）、モーター回転数を調整し消費電力を低減いたします。 7...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

真空セット機『SB-B型スチーマ』

安全装置も標準装備！破壊等の危険がなく安心してご使用できるスチーマ

g ◆缶内内寸法：1000×1850×2400（W×H×L） ◆内容積：4.44 m3 ◆最高使用圧力：真空760 mmHg ◆最高使用温度：90 ℃ ◆シリンダー格納数：288 ◆真空ポンプ：SW-300(15 KW) ◆ボイラ容量：250 kg/H ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤスジマ

真空樹脂注入硬化設備

自社独自のバルブレスポンプを採用し精密に計量を行うポンプ構造とＮＣ制御…

注入機本体及び前後の予熱炉、硬化炉及び搬送を含めて全設備の設計、製作が可能また、バルブレスセラミックポンプの採用で保守頻度が少なく高寿命。...各種センサー、汎用コイル、イグニッションコイルの絶縁、制御機器に２液又は１液混合硬化樹脂を予熱後真空チャンバー内で充填し、硬化炉にて連続硬化させる自動設備です。 【特徴】 ●樹脂注入は高真空下で行い、ボイドの発生を押さえることが出来ます。 ● エポ...

メーカー・取り扱い企業： 東レエンジニアリング中部株式会社

卓上型マグネトロンスパッタ装置『FDS/FRSシリーズ』

初期導入コストを抑え、拡張で高性能化が可能！研究ステージに合せてグレー…

『FDS/FRSシリーズ』は、必要な機能を備えた研究開発用の 卓上型マグネトロンスパッタ装置です。 基本仕様は、DCスパッタ/シングルカソード/ロータリーポンプで 構成される金属薄膜用スパッタ。 RF化、カソード増設、ターボ分子ポンプ仕様などの 拡張オプションにより、研究ステージに合せて グレードアップしていただくことが可能です。 【特長】 ■初期導入コストを抑え、後の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FKDファクトリ

ドライポンプ EDSシリーズ デモ機評価貸出中

200～300m3/hrクラスのドライポンプです。デモ機の評価貸出を実…

EDSシリーズは、スクリュータイプの真空ポンプであり、排気速度200m3/hr, 300m3/hr, 480m3/hrの3モデルから選択頂けます。 空冷式と水冷式、ケミカル式があり、過酷な使用条件下であっても、高い排気能力を備える高耐久性...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

精密バイス・真空チャック

高精度仕上げの超精密加工用精密バイスや、減圧弁・チェック弁内蔵の真空発…

スーパーツールでは、『精密バイス・真空チャック』を取り扱っています。 高精度仕上げの超精密加工用精密バイス「SPV30H」や「SPV165H」をはじめ、 専用の真空ポンプが不要の真空チャック「SVA2025」や「SVA2540」など豊富に ラインアップ。 また、真空発生器「SVAG12」では、エアー圧力調整可能タイプで、 工場内のコンプレッサでご使用い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スーパーツール

油回転ポンプ E2Mシリーズ 排気速度40～275m3hr

信頼性のある堅牢なエドワーズ E2Mシリーズは、安定した到達圧力と長期…

E2Mシリーズは、2段式のロータリベーンタイプの真空ポンプです。 排気速度に応じて、4つの機種から選択できます。(E2M40, E2M80, E2M175, E2M275) 標準仕様の鉱物油仕様と、酸素混合ガスを排気する為のフォンブリンオイル仕様の...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

【事例】DSMC-Neutrals真空装置の排気シミュレーション

真空排気の様々な情報をシミュレーションで導出可能！

【計算可能な事例(抜粋)】 ■シャワーヘッド型熱CVD(化学気相成長) ■真空蒸着 ■分子線エピタキシー(MBE) ■真空ポンプの排気 ■ダストの挙動シミュレーション ■極超音速希薄流 【特長】 ■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェア ■真空チャンバーを用いる実験や装置開発に使用可能 ■CV...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

微粉や顆粒を効率的に搬送！バキュームコンベア（真空輸送機）

化学、製薬、食品業界などで取り扱うバルク材料をクリーンで効率的にかつ安…

当カタログでは、当社で取り扱うVOLKMANNの 「バキュームコンベア」と「バルク材料ハンドリングシステム」をご紹介しております。 粉末の安全で衛生的な取扱いのための万能システムである「バキュームコンベアVS」をはじめ、 製薬アプリケーションのスペシャリスト「バキュームコンベアPPC」や供給ステーション、 バキュームコンベア用アクセサリーも多数掲載。 真空搬送についてやバキュームコンベアのしく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社NSマシンナリー

中大型ポンプ用圧力範囲表

ご要望の到達圧力や排気速度から、最適なポンプを選定頂けます。

低真空領域、中真空領域での圧力範囲をカバーするポンプを表にしております。記載以外のポンプや特殊な条件がある場合は、個別に［お問い合わせ］願います。...※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

マグネトロンスパッタ装置『LA-S2020』

各種デバイス・センサー用膜厚電極としても作成可能なマグネトロンスパッタ…

/step)：デジタルタイマ ■ガラスベルジャー：外径φ100(内径φ83)×高さ70Hmm：ガラス製 ■試料台：Φ40mm：標準 ■T/S 間距離：30mm～50mm：標準30mm ■真空ポンプ：直結型2 段式ロータリーポンプ10L/min 以上 ■外観寸法：約290(W)×460(D)×345(H)mm ■装置質量：約15kg(ポンプ含む) ■設置電源：単相AC100V±10％...

メーカー・取り扱い企業： ラボテック株式会社

キヤノンアネルバ株式会社　会社案内

社会の発展に貢献！超真空技術を用いた高付加価値製品を提供

細】 ■真空成膜加工装置製造・販売 　・半導体製造装置 　・ストレージデバイス製造装置 　・電子部品製造装置 　・研究開発・小規模生産装置 ■真空コンポーネント製品製造・販売 　・真空ポンプ 　・真空計測機器・分析機器 　・真空部品 ■保守サービス 　・装置、真空コンポーネント製品保守・改造 　・保守部品販売 　・部品洗浄 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

コーティングプロセス向け真空ソリューション

エドワーズは、真空蒸着、スパッタリング、CVD、プラズマ重合等、多くの…

は、コーティングプロセスに関連する真空ソリューションをご紹介しています。 コーティングプロセスでは、様々な用途向けに金属、無機化合物、有機化合物を堆積させ、薄膜を形成するプロセスです。 真空ポンプは、プロセス中の不純物の混入防止、成膜速度の向上、プラズマ発生用途として使われています。 エドワーズは、これまでの設置実績に基づくアプリケーションのノウハウとプロセスへの豊富な知識により、パッ...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

多源同時マグネトロンスパッタ装置『FRS-HGシリーズ』

放電操作が容易！RF電源にオートマッチングを採用したコンパクトな設計

『FRS-HGシリーズ』は、2源/3源の同時スパッタ機能を搭載した 研究開発用の多源同時マグネトロンスパッタ装置です。 据付タイプながらコンパクト且つスタイリッシュな設計。 成膜ソース導入ポートは3ヶ所用意されており、スパッタリングカソードに 加え、アークプラズマ蒸着源などスパッタリングとの相乗効果が期待できる 成膜ソースを搭載することが可能です。 【特長】 ■据付タイプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FKDファクトリ

ケミカルプロセス産業向け真空ソリューション

海外でも多くの導入実績がある真空ポンプと真空ソリューションの組み合わせ…

当カタログは、化学産業に関連する真空ソリューションをご紹介しています。 エドワーズは、何千台もの設置実績に基づくアプリケーションのノウハウとケミカルプロセスの豊富な知識により、設計からシステム構築に及ぶ完全なパッケージソリューションをご提供いたします。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研