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真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)
【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバー内で使用可能です。 リニアエンコーダを内蔵しているため、クローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 ...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…
真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。 そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)
[真空対応]1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めス…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)
[1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 動作範囲が40mmとなっており位置決めと移動が１台でできます。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステー…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 光学式リニアエンコーダを内蔵しており、エンコーダで検出した位置情報をもとにフルクローズドループ制御を行っているため、...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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【真空対応】40mmの範囲を10nm分解能で動作する高性能位置決めステ…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空中で使える 5nm分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決め…
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空中で使える 5nm分解能で40mm動作の高性能位置決めステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っていま...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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真空中で使える リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステ…
位置決めステージにアウトガス対策を施してあるため、真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmス...
メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社
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