アタッチ式顕微ラマンセンサー『Raman EYEシリーズ』

PR世界最小クラスの顕微ラマンセンサー。小型化と最適化設計で低価格も実現。…

『Raman EYEシリーズ』は、W120×D95×H50mm（一部モデルを除く）の 世界最小クラスのサイズを誇るアタッチ式顕微ラマンセンサーです。 アタッチ式を採用しており、既存の顕微鏡に約1分で簡単に装着でき、 専用装置を導入することなくラマン分光による高感度測定を開始できます。 また、小型化と最適化設計により低価格での提供を実現している点も特長です。 【特長】 ■世界...

メーカー・取り扱い企業： メタセンシング株式会社

＼無料プレゼント！／食物アレルギー（アレルゲン）検査 基礎知識集

PR食物アレルゲン表示制度や消費者庁通知法の概要をわかりやすくまとめた一冊…

万が一、食物アレルゲンが適切に表示されていなかったら、その表示を信用した食物アレルギー患者がアレルギー症状を起こし、重篤なケースでは命の危険につながることがあります。 このような事故を未然に防止するためには、食物アレルゲンの表示制度や検査方法に関して正確な理解と、それに基づいた適切な表示を行うことが非常に重要です。 当社では、食物アレルゲン表示に関する情報を独自にまとめた「≪まずはここから...

メーカー・取り扱い企業： ビジョンバイオ株式会社

【分析事例】最表面シラノール基の評価

TOF-SIMSでシラノール基の定量的な評価が可能です

存在は、表面の撥水性や親水性などの特性に影響を与えます。そのため、その後の表面処理に影響を与える可能性が高く制御が必要となります。 シラノール基の定量をTOF-SIMSで行った事例をご紹介します。評価を行うにあたり、濃度の異なる数種類のサンプルを用いて検量線を作成しました。測定例では、材質・状態の異なるサンプル表面のシラノール基を比較しました。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：LSI・メ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】X線CTによるポリウレタン内部の空隙率評価

X線CTによる多孔質樹脂材料の解析事例

質ウレタンフォームについて、X線CTを用いて内部の空隙の形状を観察しました。 その結果、内部に多数存在する個々の空隙の形状を確認することができました。さらに、得られたデータを用いて空隙率の定量的な評価を行いました。 測定法：X線CT法 製品分野：日用品・樹脂材料 分析目的：形状評価・構造評価・製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】PtRu触媒の雰囲気・温度制御下での金属価数評価

ガス雰囲気・温度を制御した条件での化学状態評価が可能

u（PtRu/C）触媒は燃料電池のアノード（燃料極）触媒として使用されています。低コスト化を目的にPt使用量の削減が求められており、盛んに研究開発が進められています。燃料電池駆動条件下の触媒の状態を評価するためには、試料のガス雰囲気・温度を制御したままその場観察をするin-situ XAFSが有効です。本資料では、in-situ XAFSを用いて実際に燃料電池として用いられるガス雰囲気・温度に制御...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiCPlanerPowerMOSFETの拡散層評価

SiCデバイスの拡散層のp/n極性とキャリア濃度分布を評価できます

SiC Planer Power MOSFETの断面を作製し、拡散層のp/n 極性分布をSCM（走査型静電容量顕微鏡法）で評価し、キャリア濃度分布をSMM（走査型マイクロ波顕微鏡法）で定性的に評価しました。 いずれのデータからも、n+型のSource層の周囲に、p型のBody層が二層構造で形成されていることが分かり、ゲー...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】FT-IRによるポリイミド樹脂の硬化度評価

官能基の変化を捉えることで樹脂のイミド化率を評価することが可能です

子部品の絶縁体、コーティング剤、接着剤として利用されています。FT-IR分析は、樹脂の硬化度等の不良原因を調査することが可能で、製品開発に有効です。一例として、ポリイミドのイミド基から、イミド化率を評価した事例をご紹介します。 デバイス上の絶縁膜におけるイミド化率と、耐水性・耐熱性等のデータを比較してのプロセス確認に有効です。チップ、ウエハのいずれの状態でも評価が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ノズル表面・内壁の組成評価

凹凸サンプルの組成分布評価が可能です

TOF-SIMSは元素分析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時にできることや、イメージ分析が可能なことから、分布評価などに有効な手段です。 本資料では、ノズルの内壁を分析した事例を示します。 ノズル表面と内壁の分布が確認され、各部位でのピークの有無の確認ができました。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】有機薄膜太陽電池活性層の混合状態評価

低加速STEM観察とEELS測定による有機材料の分布状態評価

低加速STEM観察とSTEM-EELS面分析により、バルクへテロ接合型太陽電池の活性層の混合状態の評価を行いました。評価にはITO上に活性層のみを成膜した試料を用いました。 低加速STEM像（写真1）のコントラストはSTEM-EELS像のS, Cの元素分布(写真2, 3)と対応しており、バルクヘテ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】液体中微粒子の構造・分散具合評価

クライオSEMを用いた液体状試料の断面構造観察

液体に分散させて用いる微粒子の粒径・構造を評価する際、従来は液体を乾燥させて粉体として微粒子を取り出し、電子顕微鏡を用いて測定しておりました。しかしながら、実際に用いる液体中で微粒子がどのように分散しているのかを調べるには不向きな測定法でした。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiON膜の評価

膜厚1nm程度のSiON中Nの評価が可能

高感度なSIMS分析が得意とする低濃度領域に至るまで、SiON膜中Nの分布を深さ方向に評価し、N量（単位：atoms/cm2）を高い精度で評価が可能です（図1）。またNをatomic%へ変換(図2)、Nのフィッテングカーブ算出することができ、フィッティングによりNのピーク濃度・深さ・半値...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

精密蒸留サービス「受託加工」

さまざまな化学物質の蒸留精製

2、準備・試験 秘密保持契約：お客様の仕様で秘密保持契約を締結 打ち合わせ：数量、要求純度、分析方法、物性、加工条件などについて 試験精製：原料サンプルをもとに、試験精製 試験結果の評価：試験結果の評価と、製品規格などのご相談 3、本製造 お見積：お見積書を提出 委受託契約：委受託内容の最終決定 製造・納入：製造実機にて製品を精製し、納入 製品の評価：製品の評価と、次...

メーカー・取り扱い企業： 大阪油化工業株式会社 本社

農薬の安全性試験『一般毒性試験』

OECDテストガイドライン対応！急性毒性試験や亜慢性・慢性毒性試験を実…

などの大動物、 近年国内外で 求められる培養細胞を用いた代替法試験も実施しております。 イナリサーチは、GLP適合施設であり、AAALAC International （国際実験動物ケア評価認証協会）認証取得施設です。 各国の新規農薬申請や農薬製剤の安全性評価に関わる規制および、 OECDガイドラインに対応した in vivo/in vitro試験を実施しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イナリサーチ

【分析事例】銅(Cu)の酸化膜厚評価 保管環境による違い

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

配線材料として用いられる銅（Cu）は空気中で酸化膜を生じますが、保管環境の違いによる膜厚の差を評価した事例をご紹介します。アルミホイルで包んだ銅（Cu）と、ビニール袋に入れた銅（Cu）をそれぞれ40日間保管し、TOF-SIMSにて酸化膜厚の測定を行いました。また、約20日間にわたる継続した調査に...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【資料】モレキュラーシーブ5Aを用いたCO2の吸着破過曲線評価

再生処理の把握をHeパージならびにTPD測定により行った結果をご紹介し…

当資料は、モレキュラーシーブ5Aを用いたCO2の吸着破過曲線評価について 掲載しています。 吸着破過曲線測定は吸着プロセスの設計パラメータや吸着速度を検討する ための評価方法として広く用いられております。 本稿では地球温暖化物質の1つであるCO2...

メーカー・取り扱い企業： マイクロトラック・ベル株式会社

【分析事例】Siウエハベベル部の汚染評価

金属成分と有機成分を同時に評価可能です

イス製造において、歩留まり向上の観点から、ウエハの裏面の清浄度向上に加え、ウエハのベベル部に残留する物質を除去することが求められています。今回、ベベル傾斜面のTOF-SIMS分析を行い、汚染の分布を評価しました（図2）。また、付着物と正常部・汚染源のマススペクトルを比較し、付着物は汚染源の金属（Cr）成分・有機物成分と一致していることがわかりました。 TOF-SIMSにてベベル部（端面と傾斜面）...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】リチウムイオン二次電池　Si負極の評価

充電前後の電極の様子およびLiの存在・分布を評価可能

気制御環境下で解体、観察をしました。更に、FIBマイクロサンプリング法により断面観察用サンプルを作成し、Csコレクタ付きSTEM装置で形状観察とEELS測定を行い、Si電極の様子と電極中のLi分布を評価しました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XAFSによるGaNのイオン注入ダメージ評価

照射欠陥やアニールによる結晶性の回復を確認することが可能です

た特性のため、LEDやパワーデバイスなどの材料として用いられます。その製造工程では、結晶欠陥の無い高品質なGaN結晶の作製が求められるため、イオン注入などによるダメージやその回復度合いの確認は重要な評価項目となっています。 本資料ではXAFSによってGaN基板へのイオン注入によるダメージを評価した事例をご紹介します。 GaN表面近傍における結晶構造の乱れや、膜中のN2、格子間Nを高精度で検出す...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】STEM・EDXデータと像シミュレーションによる評価

STEM像と原子組成の測定結果から結晶構造の評価ができます

試料の測定によって得られた結果と、シミュレーションの併用により、結晶構造の評価が可能です。 本資料では、多結晶体であるネオジム磁石において、HAADF-STEMとEDXの測定によって得られた結果と、各々の測定条件を用いたシミュレーション像の比較から結晶構造の考察を行った事例...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiC Trench MOSFETのトレンチ側壁評価

デバイス特性に関わるトレンチ側壁の粗さを定量評価

領域はトレンチ側壁であるためトレンチ側壁の平坦性がデバイスの信頼性に関わってきます。本資料ではSiC Trench MOSFETのトレンチ側壁の粗さについて、AFM（原子間力顕微鏡）を用いて定量的に評価した例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ウエハケース内ウエハの有機汚染評価

製造プロセスおける有機汚染の原因や総量を評価できます

についても汚染量を把握することが重要になってきています。 ここでは、2種類のウエハケースにSiウエハを保管し、ウエハ表面全体に付着した有機汚染成分をウエハアナライザーでそれぞれ濃縮し、GC/MSで評価した事例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】TDSによる有機膜の熱処理温度依存性評価

試料のベーク温度の違いによる脱ガスの変化をTDSで確認できます

TDSは昇温と共に脱離する無機ガス・有機ガスについて、脱離の温度依存性も評価可能です。そのため、試料のベーク温度による脱ガスの評価に有効です。 レジスト膜について50℃ベーク、200℃ベークを行い、それぞれについてTDS分析を行った結果を示します。「50℃ベーク後」に検出...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】キトサンの分布評価

TOF-SIMSによる医薬品成分の可視化

化粧品、衣料品などの幅広い分野で用いられています。日常品である綿棒には、抗菌性をもたせるためキトサンを配合したものがあります。 そこで、マッピングにより可視化が可能であり、スペクトル測定により成分評価が可能なTOF-SIMSを用いて、綿棒に含まれるキトサンの評価を行いました。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】毛髪内部の金属分布評価

TOF-SIMS分析を用いた毛髪断面の成分分布評価

毛髪を測定し、その内部における成分の分布を得ることは、ヘアケア・染色の影響を調べる際に有効です。 同一人物から白髪・黒髪を採取し、内部の成分分布を評価した事例をご紹介します。 毛髪の断面を作成し、TOF-SIMS測定を行いました。TOF-SIMSでは、金属などの無機物や有機分子の分布情報が得ることができます。今回は毛髪断面における金属の分布に着...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価

波形解析・Arスパッタによる結合状態の深さ方向分布評価

XPSでは酸化成分（酸素と結合している成分）・金属成分（金属と結合している成分）などの結合状態の評価が可能です。また、アルゴンイオンスパッタリングを併用することにより、深さ方向の結合状態の評価も可能です。 ※ ステンレス表面の不動態皮膜（厚さ数十nm～数百nm程度）について、上記測定を行った結果...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiCパワーMOS FET中ドーパント評価

イメージングSIMSにより、局在する元素の評価が可能

市販のSiCパワーMOS FETを解体し、素子パターンを含む20um角の領域で深さ0.5umまでイメージングSIMS測定を行い、ドーパント元素であるAl,N,Pの濃度分布を評価しました。 イメージングSIMS測定後のデータ処理から、試料面内に局在するAl,N,Pの深さ方向濃度分布を抽出した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Si表面近傍のBの深さ方向分布評価

試料冷却による高精度なBのプロファイル分析

デバイスの設計の上で特性に大きく影響を与えるSi中Bの濃度分布は、SIMS分析により高感度・高深さ方向分解能での評価が可能です。しかし、一般的な分析条件では、測定起因によりBの濃度分布に歪みが生じることがわかりました。 MSTでは試料冷却がこの歪み補正に有効であることを確認し、より高精度な濃度分布の評価が可能に...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】リチウムイオン二次電池正極活物質の評価

XRDその場測定により、充放電過程の結晶構造評価が可能です

in-situ XRD測定を行うことで、充電前後および充電中の正極活物質の結晶構造を評価することができます。正極活物質として現在注目されているLiFePO4についてin situ-XRD測定を行いました。充放電過程における、LiFePO4相がFePO4相に可逆的に変化する様子を捉えまし...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XPSによる歯科インプラントの評価

最表面の組成・結合状態の評価が可能

プラントの材料はチタン・チタン合金が多く用いられ、インプラントと骨との結合を促進する目的で、表面に様々なコーティングが施されています。インプラントは生体に埋め込むため、生体と直接触れる表面部の安全性評価が重要です。XPSは最表面(～5nm程度) の組成・結合状態の評価が可能です。 本資料では、XPSで評価を行った事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】固体高分子燃料電池　触媒材料の粒子径・組成評価

STEM・EDXによる触媒粒子の評価

電極は、カーボンに触媒であるPt粒子またはPt合金（PtRu等)粒子が担持されています。この触媒粒子は数nmと微細な構造のため形態観察、組成分析にはSEMやTEM分析が用いられています。初期状態での評価の他に通電後の劣化として合金組成の変調、Ruの溶出、触媒粒子径の増大が報告されていますが、これらの評価にHAADF観察や高分解能EDX分析が非常に有効です。また多視野の観察と分析により粒径および組成...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】リチウムイオン二次電池材料の総合評価

課題解決のために各種手法を組み合わせた評価を行います

電池は二次電池の中でも優れた特性を有し、各種携帯機器電源として広く普及しています。その高出力化、高容量化、長寿命化、信頼性向上など、まだ様々な課題が残されています。各種分析手法を用いて電池材料の総合評価が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

打痕防止・無人ワーク回収装置【スーパーアリオ】SPA-500H

ダコン・すりキズによる不適合激減・月間生産数60％ＵＰも！設置は簡単、…

ーク回収トレイが回転しているからワーク同士がぶつからない。 ●ワーク溜める部分は二重になっているから、洗浄液を入れて使える。 ●使用現場に合せたオプション品も充実。 ★デモ機の貸出があるので、評価後に購入できて安心。 【評価結果　一例】 ●打痕・キズ発生率　5～10％→0.1％ ●月間生産総数　9000個(54万円)→14400個(86.4万円）60％アップ ★デモ機の貸出し...

メーカー・取り扱い企業： アリオテクノ株式会社

打痕防止・無人ワーク回収装置【スーパーアリオ】SPA-350h

ダコン・すりキズによる不適合激減・月間生産数60％ＵＰも！設置は簡単、…

ーク回収トレイが回転しているからワーク同士がぶつからない。 ●ワーク溜める部分は二重になっているから、洗浄液を入れて使える。 ●使用現場に合せたオプション品も充実。 ★デモ機の貸出があるので、評価してから購入できて安心。 【評価結果　一例】 ●打痕・キズ発生率　5～10％→0.1％ ●月間生産総数：9000個(54万円）→14400個(86.4万円）　60％アップ 【デモ機の...

メーカー・取り扱い企業： アリオテクノ株式会社

【分析事例】IGZO膜中H濃度評価

IGZO膜中Hについて、高感度で深さ方向分布の評価が可能

IGZO膜はディスプレイ用TFT材料として研究開発が進んでいる材料です。IGZO膜中のH濃度に応じてキャリア濃度が変化して電気特性が変動するため、IGZO膜を用いたデバイス特性および信頼性評価には膜中のH濃度を精度良く測定する必要があります。 SIMSを用いて加熱条件の異なるIGZO膜中のH濃度を評価した事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

臨床試験サポート

毛細血管血流に関する臨床試験をバックアップ！撮影・解析・評価を承ってお…

近年血流改善効果のエビデンス取得についてユーザー様からのニーズが高まっております。 NHK・テレビ東京をはじめ、多くのメディアの血流撮影・血流評価で用いられた血流スコープ「TOKU Capillaro」と血管血流画像解析ソフト「Capimetrics」を用いて貴社製品の血流評価をしませんか？ 血流評価にはレーザードップラー計等が使用され...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社徳 NPO法人 毛細血管・研究会

薬理試験『中枢神経関連試験』

中枢神経関連および眼科関連において特殊な薬効評価試験を実施

イナリサーチでは、サルを中心として、中枢神経関連および 眼科関連において特殊な薬効評価試験も実施しています。 GLP適合施設であり、AAALAC International（国際実験動物ケア評価認証協会） の認証を取得した施設で実施します。 【抗パーキンソン病薬評価試験...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イナリサーチ

薬理試験『眼科関連試験』

中枢神経関連および眼科関連において特殊な薬効評価試験を実施

イナリサーチでは、サルを中心として、中枢神経関連および 眼科関連において特殊な薬効評価試験も実施しています。 GLP適合施設であり、AAALAC International（国際実験動物ケア評価認証協会） の認証を取得した施設で実施します。 【眼圧治療薬評価試験】 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イナリサーチ

ASTM D4169 評価試験法通則

【輸送試験】ASTM D 4169　評価試験方法通則に規定されている、…

米国で長期間にわたり参照されてきた最もユーザーの多い輸送包装試験規格の1つです。輸送中の10種類のハザード要因が規定されており、実輸送環境に合わせて全体試験を構成しています。試験は、包装貨物の形状や重量・輸送手段別に18のDistribution Cycle(DC)分類されており、その中から選択の上、手順に従って試験を実施します。保証レベル（試験厳しさ）が3段階あり、振動試験における強さ（Grms...

メーカー・取り扱い企業： 日本ビジネスロジスティクス（JBL）株式会社 藤沢北事業所

農薬の安全性試験『刺激性試験』

OECDテストガイドライン対応！ウサギまたは培養細胞を用いた試験を実施

などの大動物、 近年国内外で 求められる培養細胞を用いた代替法試験も実施しております。 イナリサーチは、GLP適合施設であり、AAALAC International （国際実験動物ケア評価認証協会）認証取得施設です。 各国の新規農薬申請や農薬製剤の安全性評価に関わる規制および、 OECDガイドラインに対応した in vivo/in vitro試験を実施しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イナリサーチ

【分析事例】AES・SEM-EDXによるCu表面変色部の評価

SEM観察を行いながら検出深さの浅い元素分析が可能

効です。 MST保有のAES装置はSEM像を取得できるため、SEM像で着目箇所の確認をしながらAES分析を行うことが可能です。本事例では、Cu表面に存在する変色部をAES分析とSEM-EDX分析で評価し、比較したデータをご紹介します。また、AES深さ方向分析を行った結果を併せてご紹介します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】CIGS太陽電池の各層の相互拡散評価

表面の凹凸の影響を受けない高精度な測定が可能です

より、Cd, Zn, OなどのCIGS層中への顕著な拡散がないことがわかります。（図4） 相互拡散の他にも、主成分（Cu, In, Ga, Se）の組成変化、不純物（B, Na, Fe）の濃度分布の評価が可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】パワーデバイスのドーパント及びキャリア濃度分布の評価

複合解析で活性化率に関する評価が可能

SIMSによる不純物濃度分布とSRAによるキャリア濃度分布を比較することで、ドーパントの活性化状態がわかるだけでなく、整合しない領域には未知の不純物の存在、構造的な問題の内在が示唆されます。 Profile Viewerを用いれば、お手元でSIMSのデータとSRAのデータを重ね、解析することが可能です。 一例として、市販のダイオードチップについて、パッケージ開封後のダイオードチップ表面中央部と...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】三次元培養ヒト皮膚中インドメタシンの経皮吸収評価

TOF-SIMSで培養皮膚に塗布した薬効成分の分布を可視化

TOF-SIMSは成分を分子イオンの質量から同定するため、蛍光物質などの標識が不要であり、その影響のないイメージングが可能です。また、断面イメージングにより、深さ方向への分布を評価ができます。 今回、三次元培養ヒト皮膚にインドメタシンのゲル製剤を塗布し、浸透した薬効成分の分布を可視化しました。その結果、インドメタシンは角層表面側に偏在していることがわかりました。また、深さ方...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】CIGS太陽電池へテロ接合界面の抵抗評価

真空下での走査型広がり抵抗顕微鏡（SSRM）による局所抵抗分布評価

CIGS薄膜太陽電池のZnO/CdS/CIGSの多結晶へテロ接合界面をSSRM法で分析し、局所的な抵抗分布を計測しました。真空環境下で測定することで、測定表面の吸着水を除去し、高空間分解能を得ることができます。測定結果から、ナノメートルレベルの空間分解能で各層の抵抗値を計測できていることが分かります。各層の抵抗値が数桁異なり、これがキャリア濃度の違いを示しています。CIGS層はi-ZnO層よりも高...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】軟X線発光分光によるGaNの評価

価電子帯・ギャップ内準位について元素別の情報が得られます

放射光を用いた軟X線発光分光（SXES）は材料を構成する各元素について、フェルミ準位近傍の部分状態密度（pDOS）を直接的に得られるため、材料の電子状態を評価する手法として幅広く用いられています。さらに本手法の特長として、1.バルクの情報が得られる 2.絶縁物に対しても帯電の影響を受けず評価可能 3.検出下限が低い（＜1atomic%）などが挙げられ、特...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

テフロン（PTFE）親水化を実現！【※塗装試験の動画公開中！】

通常では接着が難しいテフロンへの塗装を実現！評価試験データを無料進呈中…

は、バッチ処理である真空プラズマ・連続処理が可能な大気圧プラズマを駆使し、板のみならずチューブ等の構造物への処理等、様々な事例を紹介しております。 ※テフロン（PTFE）の塗装・接着前処理の評価試験データを無料進呈中！詳しくは下記フォームよりダウンロード下さい。 ※塗装試験の様子を動画で公開中です。詳しくは下記をクリックしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

【分析事例】酸化ガリウムGa2O3膜の不純物濃度評価

不純物元素の定量評価が可能です

酸化ガリウムGa2O3は、SiCやGaNよりもバンドギャップが高く優れた物性を有することから、高効率・低コストが期待できるパワーデバイス材料として注目を集めています。ウエハの開発には、特性を左右する不純物濃度の制御が重要です。本資料ではGa2O3膜の不純物濃度分析を行った事例をご紹介します。 B,Cはバックグラウンドレベル以下、Siは存在していることがわかります。 MSTでは、Ga2O3標準試...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST