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PR多田製作所社製のオールステンレスタイプドラフトチャンバーのご紹介!
『オールステンレスタイプ DF-AS型』は、多田製作所社製のドラフトチャンバーです。 ドラフトチャンバーの外装、内装とも全てステンレス(SUS304)製です。 耐久性に優れ、有機溶剤を使用する実験に適しています。 給水およびガスの供給は、使用時の安全を考慮して、外部からの 遠隔操作式になっています。 防爆対応品の製作も可能です。 【特長】 ■外装、内装とも全てステンレ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社多田製作所
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ウェーハ交換時間の短縮!ツインアームを採用した4軸円筒座標型防水ロボッ…
『STWCR4000シリーズ』は、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付き 4軸円筒座標型ツインアーム防水ロボットです。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保しており、アーム関節部 防水構造にVシールを使用しています。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける酸・アルカリの雰囲気中のウェーハの搬送に 適しています。 【特長】 ■300mmウェー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適な防水対応クリーンロボット!
『SWHR3156シリーズ』は、300mmウエハ対応反転+エッジグリップ機能 付の3軸円筒座標型防水対応クリーンロボットです。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中の ウエハ搬送に適しております。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは156mm ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適なツインアームロボット!
『STHR4000シリーズ』は、スーパークリーンルーム用の4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 2本のアーム装備により、短時間でのウエハ交換が可能で主に半導体製造 装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しております。 その他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っております ので、是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは95mmと156mm...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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酸・アルカリのミスト雰囲気中のウエハ搬送に最適!
『STWHR4156シリーズ』は、防水に対応したツインアームの4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリのミスト雰囲気中のウエハ搬送に 適しております。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは156mm ■Z軸バリエーションは200mmと3...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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半導体製造装置内などのウエハ搬送に最適!
『SHR3000シリーズ』は、スーパークリーンルーム用の3軸円筒座標型 クリーンロボットです。 半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に最適。また、被搬送物、 装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 その他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っております ので、是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mmから選...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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装置レイアウトの小型化が可能なクリーンロボット!
『SCR3100S-PMシリーズ』は、スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型 クリーンロボットです。 小フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置などの小径ウエハ 搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mm ■Z軸バリ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ジェーイーエル
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