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真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)
【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…
が可能 ○テーブルサイズ:60mm×60mm ○テーブル移動量:20mm ○対応真空度:10-4Pa ○耐荷重:49N ○最小分解能:1nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-911 ●その他機能や詳細については、お問合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
最小分解能:1nm 最大移動速度:5mm/sec(FC-911使用時) ストローク:20mm テーブルサイズ:□60mm 内蔵スケール:クオーツガラス 対応コントローラ:FC-911...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…
ズ:120mm×120mm ○テーブル移動量:50mm ○繰返し位置決め精度:±20nm ○対応真空度:10^-4Pa ○最小分解能:10nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-511...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY
【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…
り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)
[真空対応]1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めス…
な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ:120mm×120mm ○テーブル移動量:50mm ○対応真空度:10-4Pa ○最小分解能:1nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-911 □ 詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください □...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)
[1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ
が可能 ○テーブルサイズ:80mm×80mm ○テーブル移動量:40mm ○対応真空度:10-4Pa ○耐荷重:49N ○最小分解能:1nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-911 □ 詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください□...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステー…
:120mm×120mm ○テーブル移動量:100mm ○繰返し位置決め精度:±20nm ○対応真空度:10^-4Pa ○最小分解能:10nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-511...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性…
サイズ:60mm×60mm ○テーブル移動量:20mm ○繰返し位置決め精度:±20nm ○対応真空度:10^-4Pa ○最小分解能:10nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-511...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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【真空対応】40mmの範囲を10nm分解能で動作する高性能位置決めステ…
サイズ:80mm×80mm ○テーブル移動量:40mm ○繰返し位置決め精度:±20nm ○対応真空度:10^-4Pa ○最小分解能:10nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-511...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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真空中で使える 5nm分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決め…
イズ:120mm×120mm ○テーブル移動量:50mm ○繰返し位置決め精度:±10nm ○対応真空度:10^-4Pa ○最小分解能:5nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-611...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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真空中で使える リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステ…
ルサイズ:60mm×60mm ○テーブル移動量:20mm ○繰返し位置決め精度:±10nm ○対応真空度:10^-4Pa ○最小分解能:5nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-611...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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真空中で使える 5nm分解能で40mm動作の高性能位置決めステージ
ルサイズ:80mm×80mm ○テーブル移動量:40mm ○繰返し位置決め精度:±10nm ○対応真空度:10^-4Pa ○最小分解能:5nm ○最大移動速度:2mm/sec ○対応コントローラ:FC-611...
メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社
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