分析ワークフローを自動化・リモート化！新製品のアジレントＨＰＬＣ

PR【自動化・DXを加速】インテリジェンス機能を持ったAgilent In…

新製品 Agilent Infinity III LCは、 分析ワークフローを自動化・リモート化し、 お客様のラボをスマートにする液体クロマトグラフです。 定型業務、付帯業務を効率化し、R&D、クリエイティブな仕事に 注力でき、ヒューマンエラーとストレスを減らします。 【特長】 ■自動化・リモート化 　移動相の取り扱いからサンプル管理まで、日常的な作業を効率化。 　居室や自宅か...

メーカー・取り扱い企業： アジレント・テクノロジー株式会社

キムテック ポラリスニトリル グローブ ※箱単位でサンプル進呈

PRキムテック史上最高レベルの保護性能と耐久性、人間工学に基づいた快適さを…

キムテック独自の高品質なニトリルを配合し、非常に柔らかく耐久性に優れています。 人間工学認証も取得し、長時間の作業でも疲労を軽減し、快適にご使用頂けます。 また、幅広い化学物質ならびに抗がん剤で耐性を試験済で安心して安全にご使用頂けます。 改正された労働安全衛生法（関係政省令）*に対応しております。 耐透過性評価試験のデータがございますので、必要に応じてお問合せください。 *『2...

メーカー・取り扱い企業： キムテック（Kimtech）・ビジネスユニット 旧キンバリークラーク・サイエンティフィックPPE事業部

【資料】食物アレルゲン検査 同一項目複数検体 一括検査

大量の検体の検査こそ外部委託はいかがでしょうか？ 弊社では多検体時の…

【掲載内容】 目的を持った検査は、1回あたりの検体数が大量になり検査費用も高額になります。多くの企業様では検査費用を少なくするために、自社内検査で対応されているのではないでしょうか。 自社内検査では見えるコストの外部依頼検査費は削減できますが、自社内検査にかかる人件費・検査を習熟するための教育費用、検査キットの在庫管理費用など、見えないコストが増加している場合があります。 大量の検体の検...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハウス食品分析テクノサービス 千葉本社・大阪オフィス・関西事業所

質量分析を利用した複数のSNP解析

マスアレイ法により、複数のSNP（一塩基多型）を同時に解析できます

本手法は、MALDI-TOF-MSの質量分析を利用した遺伝子解析法であり、一度の測定で複数のSNP箇所の解析が可能です。最大40か所のSNPを、190サンプル同時に測定できます。 分析全体の流れとしては下記フローに準じて実施します。標的のS...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

液体クロマトグラフィー質量分析(LC/MS)受託事業

複雑な混合試料中の微量成分の定性分析、定量分析に威力を発揮

LC/MSは、溶液状の混合物試料を、LCによって成分分離し、順次マススペクトルを得る事が可能な機器分析法です。 他の機器分析法に比べて、高感度・高選択制が特長で、複雑な混合試料中の微量成分の定性分析、定量分析に威力を発揮します。 血中の医薬品濃度測定、医薬品の代謝物分析、抗体医薬品分析、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プレッパーズ 本社

燃焼-イオンクロマトグラフィ－分析(燃焼-IC)

ハロゲン（F、Cl、Br）、硫黄の分析が可能です

燃焼-イオンクロマトグラフ(IC)法では、プラスチックや樹脂等の固体材料や、有機溶媒等の液体材料に含有するハロゲン（F、Cl、Bｒ）や硫黄の含有量を調査することが可能です。 図1に示す通り、サンプルを燃焼炉で燃焼分解させることにより発生したガスを吸収液に捕集します。この吸収液をイオンクロマトグラフ法で測定することで、水に溶けない固体サンプル中のハロゲンや硫黄含有量を測定することが出来ます。......

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［XRF］蛍光X線分析法

照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光する…

蛍光X線分析（XRF： X‐ray Fluorescence）は照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です。 ・測定範囲の全エネル...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術資料『表面分析の概要』

代表的な表面分析であるEPMAやAESなどを解説した技術資料

技術資料『表面分析の概要』は、近年、製品開発や不具合の対応などで益々重要になっている、表面や界面の構造・組成の把握に用いられている、様々な「表面分析方法」について掲載した資料です。 本資料では、表面分析の基礎の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ユニケミー

金属・樹脂材料組織分析

材料の推定を適切な方法でサポート！現物しかなく破壊することが出来ないも…

トル解析や硬度測定、放電、火で炙る、 等と色々な方法が御座いますが、当社は適切な方法で推定をサポート。 現物しかなく破壊することが出来ないというものでもお気軽にご相談ください。 【組成分析サービス流れ】 ■現物・資料確認/お打ち合わせ ■お見積り ■スクリーニング分析・解析 ■報告書作成 ■データ検査・ご納品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 栄商金属株式会社

【分析事例】Ramanによる金属部材上の異物分析

微小領域を狙った測定が可能

製造装置や部品に付着した異物は、製造品の不良や装置動作の不具合などに影響する場合があります。異物を適切に分析・評価することで、発生原因を究明し、不具合を改善することができます。 本資料では、金属部材上に付着した異物の成分をRaman分析により評価した結果をご紹介します。 Ramanは約1μmの微小領域...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

GC/MSによる 発生ガス濃縮装置を用いたアウトガス分析

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

発生ガス濃縮装置はチャンバー内に入れた試料から発生したガスを捕集管にトラップさせる装置です。捕集管にトラップすることで微量の脱ガス成分を濃縮し、GC/MSで高感度に測定できます。試料の種類に合わせて、適したサイズのチャンバーを選択することができ、最大350℃までの加熱に対応しています。...詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】セラミックスの変色原因評価

TOF-SIMSでは無機材料の変色原因のイメージングが可能

セラミックスは日用品から電子部品まで幅広く利用されている無機化合物材料です。不純物や付着物により生じるセラミックスの変色評価には、着目箇所について有機物・無機物を問わず微量成分のイメージング分析が可能なTOF-SIMS分析が有効です。 本資料ではAl酸化物のセラミックス変色部分をTOF-SIMSで分析し、イオンイメージとラインプロファイルで変色原因を示した事例を紹介します。 測定法：T...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】AESによるボンディング界面の元素分析

加工を併用することで界面の元素分析が可能

AES分析は最表面（～深さ数nm）の組成情報や元素分布を得る手法ですが、断面加工を併用することで、層構造内や構造界面でも同様の情報を得ることができます。合金層や元素拡散・偏析等の評価が可能であるため、デバイス...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

機能性成分の血液中成分濃度分析

血液中レスベラトロールの濃度評価事例

測定法：LC/MS 製品分野：食品・医薬品 分析目的：組成評価・同定...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】二次電池 負極粒子表面の分布評価

一粒の粉体表面に分布する成分の評価が可能

リチウムイオン二次電池で使用される黒鉛負極粒子を塗布したシートを、TOF-SIMSにて分析した事例をご紹介します。一粒の粉体の表面にグラファイトとPVDFが分布している様子が確認できました。 飛行時間型二次イオン質量分析法（TOF-SIMS）は、二次イオンのマススペクトルから表面の有機...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

資料】食物アレルゲン検査 特定原材料スクリーニング検査・確認検査

ELISA法による特定原材料８項目の検査においては、自動分注装置を導入…

特定原材料7品目 （スクリーニング検査） 平成22年9月10日消食表第286号消費者庁次長通知に従った検査です。 各検査項目につき2種類の検査キットを使用しています。 食品製造ラインのコンタミ評価などの場合1項目1キットでの検査も承っています。 特定原材料８品目 （確認検査） 特定原材料のスクリーニング試験で陽性となった検体について、確認試験を行います。 小麦・そば・落花生・えび・...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハウス食品分析テクノサービス 千葉本社・大阪オフィス・関西事業所

【アスベスト分析】分析・事前調査(建築材料・空気)

設計図書などによる書類調査と現場目視による現地調査！JIS法等に準拠し…

内藤環境管理では、 アスベスト(石綿)の事前調査、および建築材料、 空気の分析を行っています。 平成18年9月以前に施工された建築物の解体・改修の工事には事前調査を行い、 アスベストが使用されているかの有無を判断します。 事前調査は、設計図書などによる書類調査と...

メーカー・取り扱い企業： 内藤環境管理株式会社

【測定事例集】赤外分光分析(ナノスケール空間分解能)

多層膜組成分析をはじめ粘着剤上の異物分析などの測定事例を多数ご紹介しま…

当資料は、株式会社日本サーマル・コンサルティングが行っている 『赤外分光分析(ナノスケール空間分解能)』の受託測定のご案内を まとめた測定事例集です。 断面から薄膜層の同定が可能な「多層膜組成分析」や、サブミクロンサイズの 異物分析が可能な「ガラス基板上のウォータ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本サーマル・コンサルティング

【分析事例】Si基板に含まれる格子間型炭素の評価

Si基板に含まれる微量な炭素の確認が可能です

照射すると、Siに僅かに含まれる「格子置換型炭素」の一部が「格子間型炭素」に変化します。この格子間型炭素がデバイスの電気特性に影響を与えているとされています。 格子間型炭素に関連する挙動は低温PL分析で非常に感度良く観測することが可能であり、SIMS分析の下限以下の微量な炭素についての知見を得ることが可能です。 本資料では、イオン注入を行ったSi基板について低温PL分析とSIMS分析を行い確認...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

食物アレルゲン検査【検査集約 オーダーメード検査】

アレルギー検査を集約し、計画的に実施することで大きなメリットが生まれま…

アレルギー検査をご依頼をグループ企業・会社単位で集約し、計画的な検査にすることでコスト削減を進めることができます。また、検査スケジュールを計画化することで納期短縮を実現することができます。検査機関をひとつにまとめることで、安定した検査品質を提供できます。依頼社様に対して、依頼しやすい環境の整備（依頼書や検体の統一）、検査方法の変更、年間レビューなど、目的に合った対応をさせていただきます。 ......

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハウス食品分析テクノサービス 千葉本社・大阪オフィス・関西事業所

測定『作業環境測定』

正確な環境管理お手伝いをさせていただきます

労働安全衛生法第65条基づき、指定作業場においては、作業環境測定士に よる定期的な測定が義務づけられています。 労働者の作業環境において不適切な環境が及ぼす健康への悪影響を防止 するためには必要なものです。 当社は、測定に伺う際は作業環境測定士が伺い、作業環境測定法に基づく 方法で測定いたします。 【特長】 ■作業環境測定士による測定 ■作業環境測定法に準拠した方法...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社兵庫分析センター

土壌汚染調査・分析のご案内

土壌汚染調査は信頼・実績の当社へお任せください！調査、分析、対策まで幅…

イビデンエンジニアリングは、土壌汚染調査・分析サービスを行っております。 東海エリアのゼネコン様を中心に、調査、分析、対策まで幅広く対応。 自社ラボで分析を行いますので短納期対応することも可能です。 全国の複数土壌調査会社様から分...

メーカー・取り扱い企業： イビデンエンジニアリング株式会社 環境技術事業部

【受託試験】油材分析・金属性状・精密測定

お客様の課題テーマに対応した受託試験！幅広く対応可能です

当社では、「油材分析・金属性状・精密測定」の受託試験を行っております。 精密測定機器や性状・油材分析機器を利用した 油材分析、金属性状、精密測定が可能。 自動車開発で数々の実績を持つ経験豊富なエンジニアが...

メーカー・取り扱い企業： ジヤトコエンジニアリング株式会社 本社

【資料】食物アレルゲン検査＜特定原材料に準ずるもの＞【確認検査】

キウイフルーツ・もも・りんごの検出検査には、弊社グループ企業により開発…

アレルギー物質として発生数、重篤度から勘案し、食品に表示が推奨されている「特定原材料に準ずるもの」として、以下の20品目が指定されています。 （『アレルギー物質を含む食品に関する表示について (平成25年9月20日付け消食表第257号、令和元年9月19日付け消食表第322号) 』）。 あわび、アーモンド※、いか、いくら※、オレンジ※、カシューナッツ※、キウイフルーツ、牛肉、ごま※、さけ、さば、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハウス食品分析テクノサービス 千葉本社・大阪オフィス・関西事業所

【分析事例】溶解再沈法による高分子材料の添加剤評価

LC/MS・LC/MS/MSによる成分の定性

樹脂製品などの高分子材料に使われる添加剤の分析を行う際は、高分子材料と添加剤の分離が必要となります。市販の樹脂製品を溶媒に溶かした後、ポリマー成分を沈殿させることにより添加剤成分の抽出を行う「溶解再沈法」で前処理した試料を用いて分析を行った事例...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

賞味期限・消費期限の検査・設定

食品ごとに適した温度設定を行い、過日ごとに検査を実施します。

日本食品機能分析研究所では、賞味期限・消費期限の 検査・設定を行っております。 食品ごとに適した温度設定（流通温度、店頭保存温度等）を行い 過日ごとに検査を行います。 安全係数（1未満）を乗じたもの...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本食品機能分析研究所 本社

【分析事例】マイクロサンプリングツールを用いた異物分析

下地・基板の影響なく異物の成分を同定します

異物分析について、従来は下地の影響により顕微FT-IR分析やラマン分析では解析が困難でしたが、マイクロサンプリングツールの導入により、その影響を低減することが可能となりました。 2種の異物に関する解析例を...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

依頼分析

依頼分析

依頼分析は有償にてお引き受け致します。 また、ご購入前のサンプルテストにつきましても有償となりますので，ご了承頂きますようお願い致します。 ※見積もり等の詳細につきましては、弊社までお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インテリジェントセンサーテクノロジー

【分析事例】LIB(リチウムイオン)正極材料の解析

雰囲気制御＋冷却下での原子レベル観察

MSTでは、雰囲気制御（＋冷却）下で原子レベルのTEM分析が可能です。 本資料では、リチウムイオン二次電池から大気非暴露で解体して取り出した正極材料のLiCoO2粒子を、雰囲気制御＋冷却下でFIB加工・TEM分析した事例をご紹介します。-174℃に冷却...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

お米の品種鑑定

お米の品種気になりませんか？DNAを用いてお米の品種鑑定を致します

『お米の品種鑑定』は、サンプリングしたお米をDNA抽出して、お米の品種 鑑定をする検査です。 到着から検査までは最短で1日で対応可能。 定性試験にて異品種の混入の有無を判別し、定量試験にて1粒ずつの検査を 20粒実施。±5％の精度で混入米の品種も判別することが可能です。 【特長】 ■DNA抽出 ■異品種の混入の有無を判別 ■±5％の精度で判別可能 ■検査終了まで最短1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社兵庫分析センター

水質分析サービス

生活に欠かせない「水」。安全かつ安心して使用できる様自然保護の一躍を担…

当社の『水質分析サービス』についてご紹介します。 私たちの暮らしに直接かかわる「水」には、さまざまな姿があります。 普段の生活で口にする飲料水をはじめ、工場や浄化槽から排出される排水、 公衆浴場やプール水...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社環境測定センター

半導体分析

各種半導体の様々な目的に合わせて、各種手法で分析が可能！

半導体材料分析項目 原子レベルの構造観察、結晶構造、転位密度、膜厚 表面形状、断面構造(膜厚) 結晶性(面方位)、積層膜の周期構造 表面組成、結合状態、深さ方向分布 不純物濃度、深さ方向分析 結晶...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

分析評価サービス『自動車内装材評価』

輸送関連企業の方へ！自動車内装材の試験評価を実施します。

UVテスター） →屋外耐光性試験 ○ガラス霞み試験（フォギング試験、ヘイズメーター） ○燃焼試験 ○引張試験 ○臭気性試験（におい試験） ○老化試験 ○撥水性試験 ○RoHS、ELV分析 ○ほこり付着性試験 ○耐薬品性試験 ○動摩擦係数測定 ○摩耗試験 →テーバー摩耗 →平面摩耗 →カストム式摩耗等 ○冷湿熱サイクル試験 ○縫目疲労試験 ○毛羽立ち試験 ○揮発...

メーカー・取り扱い企業： 湖西テストラボ合同会社

【分析事例】ウェハ・チップの特定箇所の前処理技術

目的箇所のみサンプリングし、ウェハを割らずにサンプル作製します

ウェハ・チップを割らずに小片を抜き出して薄片化し、高分解能TEM観察・分析を行います。 さらに分析したい箇所を残してカットしてサンプルを作製することで、目的箇所をご要望のあらゆる方向からTEM観察・分析し、データをご提供します。高度なTEMサンプル作製技術を通じて、様々...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【サービス】土壌の分析

有機化合物の同定検査等を行い、原因を突き止める手がかりをご提供いたしま…

「土から変なにおいがする。色が変」「土に薬品や油をこぼしてしまった」 「土を適切に処分したい」など、土に関するお困りごとはございませんか？ 当社では、『土壌の分析』サービスを行っております。 土壌に何が含まれているのか、異臭の原因を把握することが重要です。 当サービスは、有機化合物の同定検査等を行い、原因を突き止める 手がかりをご提供いたします...

メーカー・取り扱い企業： 日本水処理工業株式会社 本社

医薬品の元素不純物分析（ICH Q3D）

長年の経験から培った金属分析技術で医薬品の元素不純物分析にお応えいたし…

●金属・材料分析のエキスパートが信頼性保証からGMP対応まで医薬品の元素不純物分析（ICH Q3D）を行います。 ●お客様のニーズに合ったスクリーニング分析・溶出試験（E＆L 試験）・分析方法をご提案いたします。...

メーカー・取り扱い企業： JFEテクノリサーチ株式会社

業務改革・効率化資料：真因分析の進め方

問題の解決を図る為の技法！分析の掘り下げについてや、逆展開分析、効果予…

当資料では、真因分析の進め方について解説しております。 真因分析についてのご紹介や、真因分析15ヵ条として、 「逆展開、チェックで徹底カードの連鎖」 「書く時は、1問1枚 フェルトペン」などを掲載。 ま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社経営システム研究所

PM2.5測定・成分分析・データ解析・各種コンサルティング

試験方法のご提案から測定、解析まで！PM2.5除去性能試験など様々なご…

当社は、PM2.5に係る豊富な経験と新しい技術・設備によりお客様のニーズに お応えする測定・分析サービスをご提供いたします。 自動測定機器を使用した連続測定からフィルタ捕集による成分測定まで行う 「PM2.5自動測定・成分測定」や、生成物質であるVOCの拡散シミュレーション、 後方流...

メーカー・取り扱い企業： ムラタ計測器サービス株式会社

【DL可：DSC/TG-DTA】熱分析における事例集1

高分子材料などの材料の実体に触れたい方へ硬化度測定や融解測定などDSC…

熱分析とは、物質の温度を変化させながらその物質のある物理的性質の温度依存を測定する技法です 手法の一例： ●DSC：試料の融解、ガラス転移、熱履歴、結晶化、硬化、キュリー点等の分析や比熱の測定に利...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

腐植（フルボ酸・フミン酸）の定量分析

光学的特性による定量で、フルボ酸･フミン酸の定量分析に総合的に対応しま…

化した結果、 黄～茶褐色の着色や特有の蛍光特性をもつようになった物質群の総称です。 当社では、水系腐植、土壌系腐植、製品中のフルボ酸含有量など、 さまざまな試料中のフルボ酸･フミン酸の定量分析に、総合的に対応します。 この他にも、生分解過程における腐植の生成試験、LC/MSによる 分解過程追跡試験等、お客様のご相談にお応えします。 【腐植物質の分類】 ■親水性酸 Tran...

メーカー・取り扱い企業： 東レテクノ株式会社 環境科学技術部

「ESCAによる多層膜の深さ分析」 事例集

光電子分光分析装置（ESCA）を使用した多層膜の深さ分析結果を掲載！

当事例集は、イオン注入、成膜・分析、研究・事業化マネジメントの サービスなどを提供している株式会社イオンテクノセンターの光電子 分光分析装置「ESCA」による多層膜の深さ分析の事例集です。 シリコン基板の上にシリコン酸化膜...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イオンテクノセンター

『フード・フォーラム・つくば企業交流展示会2023』出展のご案内

企業交流展示会にて弊社サービスをご紹介いたします！

商品などの展示に加えて デモンストレーションやサンプル配布などを行っております。 弊社ブースでは、以下のサービスをご紹介いたします。 ・ 食品の電子顕微鏡観察 ・ アミノ酸・ジペプチドの分析 お近くにお越しの際はぜひ足をお運びいただけますと幸いです。 みなさまのお越しをお待ちしております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カネカテクノリサーチ 本社、東京営業所、名古屋営業所、大阪分析センター、高砂分析センター

［TDS］昇温脱離ガス分析法

真空加熱/昇温により発生したガスを温度毎にモニターできる質量分析法。水…

TDSは、真空加熱/昇温により発生したガスを温度毎にモニターできる質量分析法です。 TDSスペクトルは、横軸に温度、縦軸にイオン強度を表します。これにより、放出されるガスの脱離量の比較、脱離温度の比較が可能です。また、真空雰囲気下であることから水素や水も感度よく分析する...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

サパラ 有機合成 受託研究、受託製造、受託分析 サービス

研究開発スピードアップに寄与！複雑な有機物の合成が可能

サパラでは高度な技術力を有する多くの化学者が活躍しており、 ライフサイエンスや、機能材料として使用される複雑な有機物の合成で、 世界中のお客様からご愛顧を賜っています。 先端の実験装置、分析機器類を備えた当社の研究施設では、 190名以上の優れた化学者が日夜、研究に邁進しています。 そして世界中で実際に使用されている数多くのオリゴヌクレオチド プロセスに関する、構造設計、合成...

メーカー・取り扱い企業： サパラ株式会社

基準値の改正による石綿建材の再分析の必要性

煙突内部、配管保温材など！基準値の改正（1％から0.1％）で石綿建材の…

6石綿を対象とした0.1％基準での分析を徹底するために「基安化発0331第2号建材中の石綿含有率の分析方法等に係る留意事項について」は今まで「1％基準や3石綿対象の分析で石綿含有せず」と判断されたケースでも、必ず再分析を行う必要があると...

メーカー・取り扱い企業： 日本水処理工業株式会社 本社

遺伝子解析『細胞株の認証（STR分析）』

最も簡便に細胞株認証が行える手法として注目されている遺伝子型解析法

STR分析による遺伝子型解析法は、現在最も簡便に細胞株認証が行える手法 として注目されています。 近年、ヒト培養細胞株でクロスコンタミネーションが多発していることが 問題となっており、実験室で取り扱...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ベックス

【分析事例】SiC基板におけるSSDP-SIMS分析

SiC基板側からドーパント濃度プロファイルを取得可能

SiCパワーMOS FET（図１）において、ゲートパッド部下のSiC中にてドーパント元素であるAlの濃度分布を素子表面側から及び裏面側からSIMSで評価しました（図２）。 分析を進める方向に関係なく深さ約0.5μm以降の分布もよく一致することから、Alの濃度分布の広がりは測定起因でなく実際の元素分布を反映しているものと考えられます。 SiCなどの加工の難しい硬質基板でも...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST