日本産ブランドをFBIやインターポールも使う分析技術で守る

PRDNA鑑定が困難な「どこでつくられたか？」を証明する技術で、日本酒や果…

日本流通管理支援機構（株）通称JDMSOは、模造品対策や流通管理を専門とする企業です。同社はIT技術を駆使し、日本産青果物のマーケティングやトレーサビリティシステムを構築し、ホクレン農業協同組合連合会などに提供しています。 ブロックチェーン技術でデータ改ざんは難しくなったものの、現場では梱包資材から中身を取り出し、偽物に入れ替える問題が続いています。日本酒でも同様の問題が発生し、日本の国益に影響...

メーカー・取り扱い企業： 日本流通管理支援機構株式会社

【製薬業界向け】AXOM社製AIロボット外観検査

PRロボットアームで全方位検査可能。シンプルかつフレキシブルな外観検査装置…

『AIロボット外観検査』は、ロボットアームを使用してボトルを持ち上げ、 回転させることで、カメラが全方位から、人間の目以上の精細検査を行う 異常検出のための実証済みソリューションです。 撮影された画像は、事前に欠陥認識のために訓練された、機械学習アルゴリズム (AI)によって解析。機械学習の活用により、従来のボルテックスミキサーで製品を回転させる方法が不要となります。 これまでの製品搬...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エステックエンジニアリング

足部『J-Foot L』

より力強くなめらかな歩行を求める方に！

『J-Foot L』は、板状のカーボン繊維強化樹脂を5層重ね、階層ごとに離型 フィルムを挟み込むことで、それぞれの動きがなめらかになるように工夫 された足部です。 一体成型のキールと比べて、キールに加わる負荷に対する変形量が大きく、 十分な反発力が得られます。 低床式構造で、M0218・M0328（関連製品）と接続することで、サイム義足 に対応できるほか、下腿長断端にも対応でき...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社今仙技術研究所

作業環境測定事業

豊富な測定実績！作業環境測定士が、お客様の作業環境をサポートします

状況に合わせ、適切なタイミングで測定を実施します。 管理区分の評価、結果一覧表の作成を行い、対策・職場改善のご提案をいたします。 【特長】 ■豊富な測定実績 ■“ものづくり”で培った技術で職場改善ご提案(各種排気・処理設備) ■作業環境測定機関：21-4号 ■公益社団法人日本作業環境測定協会より「精度管理優良賞」を受賞(平成29年6月14日付け) ※詳しくはPDFをダウン...

メーカー・取り扱い企業： イビデンエンジニアリング株式会社 環境技術事業部

[TEM ED-Map]TEM電子回折マッピング法

TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。

電子線プローブを走査しながら各点の電子回折パターンを測定することで、高空間分解能な結晶情報を取得できます。この手法では、SEMのEBSD法よりも小さい結晶粒の情報を得ることが可能です。ACOM（Automated Crystal Orientation Mapping）-TEM法とも呼ばれます。 結晶粒径解析が可能 測定領域の配向測定が可能 双晶粒界（対応粒界）の観察が可能 特定結晶方...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

先端技術でM&A仲介業務の品質向上を目指す研究チームを新設　

AIなどの先端技術を活用！コンサルタントがより高度な提案を実現できるよ…

当社は、2024年3月より、M&A仲介業務の品質向上を目的とする 研究チームを設立しました。 AIなどの先端技術を活用し、コンサルタントがより高度な提案を 実現できるように支援します。 この度、新設した研究チームは、画像処理技術や生成AIなどの 先端技術を活用し、コンサルタントの煩雑な業務の削減と効...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社スピカコンサルティング

キャッチピンシステム『Ps-LOCK』

軽量・薄型・機能性の向上を実現！

『Ps-LOCK』は、機能的なラミネーションアンカー、一貫したシステム 構成により軽量化を実現したキャッチピンシステムです。 当システムを使用することにより、全体の組付け高さが約38.5mmと 省スペースで組み上げることが可能となります。 また、すべてのパーツを個々に選択可能なため、ソケットのみの作り換え などに余剰なパーツを出しません。 【特長】 ■省スペースでの組み上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社今仙技術研究所

製造受託サービス

塗料製造技術、コーティング技術（塗布技術）、マイクロスリット加工技術、…

製造技術でお困りでしたら、ぜひご相談ください。 こんなお悩みありませんか？ ー ー ー　トッパンインフォメディアなら解決できます！　ー ー ー 【塗料製造技術】 ・粒子を液体に均一に混ぜら...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トッパンインフォメディア

バウンサつき手動ロック膝『Beluga』

歩きやすいロック膝です

『Beluga』は、膝折れしない安定感を求める方、立脚相に快適性を求める 方、既にロック膝をご使用の方を対象とした膝継手です。 ロック膝に立脚相前半の軽度膝屈曲を再現し、新たな体重心の軌跡による 快適な歩行を実現しました。 また、膝継手後方よりバンパの硬さ調節が可能です。 【特長】 ■バウンシング機構を搭載 ■調節が簡単 ■追従する膝カバーで外装の破損を軽減 ■操作し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社今仙技術研究所

質量分析を利用した遺伝子解析法

マスアレイ法

遺伝子解析とは、DNAの塩基配列を読み取り、遺伝子の変異や働きを調べる方法です。 本手法では、塩基の質量の違いをMALDI-TOF-MSで分析し、DNA塩基配列を決定します。これによりSNP（一塩基多型）やINDEL（挿入/欠失）、CNV（コピー数多型）等を検出することが可能です。 一度に解析できる検体数や検出可能な遺伝子数が多いことが特徴です。 • マルチプレックスPCRとMALDI-TO...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

専門書籍　【機械学習を中心とした 異常検知技術と応用提案】

豊富な事例を基に、異常検知を実務活用するための勘所を把握。多くの現場で…

業（株）） ●篠田健一（凸版印刷（株）） ●木村正成（（株）Ridge-i） ●神谷達夫（福知山公立大学） ●笠原亮介（（株）リコー） ●福井郁磨（MOSHIMO研） ●近藤稔（鉄道総合技術研究所） ●櫛谷優希（東京農工大学大学院）　 ●白樫淳一（東京農工大学大学院） ●斎藤邦彦（滋賀大学） ●松田健（長崎県立大学） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社情報機構

【産業調査レポート】世界の放射線治療市場：種類別、処置別、技術別

世界の放射線治療市場（～2027年）：種類別（製品、サービス）、技術別…

“世界の放射線治療市場は、2022年63億ドルから2027年81億ドルまでCAGR5.1％で成長すると予測”放射線治療における技術的な進歩や、がんの発生率の上昇が、この市場の成長を促す主な要因となっています。さらに、放射線治療の利点に対する認識が高まっていることや、がん治療における粒子線治療の利用が増加していることも、この市場...

メーカー・取り扱い企業： H&Iグローバルリサーチ株式会社

【解析事例】ネガティブ染色法によるトリアデノウイルスの観察

×100,000 TEMで解析！風邪の主要病原ウイルスと言われ、直径約…

当社が行った『トリアデノウイルス』の解析事例をご紹介します。 アデノウイルスは、風邪の主要病原ウイルスと言われ、 直径約80nmの球状粒子です。 ネガティブ染色法により、表面のスパイクが観察できます。 【解析概要】 ■解析対象：トリアデノウイルス ■アデノウイルスは、風邪の主要病原ウイルス ■直径約80nmの球状粒子 ■ネガティブ染色法により、表面のスパイクが観察可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社花市電子顕微鏡技術研究所

【解析事例】腎臓糸球体の広視野観察

×1,000 TEMで解析！中央に血液から尿を濾過する球状の糸球体があ…

当社が行った『腎臓糸球体』の解析事例をご紹介します。 腎臓は血液から尿を産生する臓器です。 この図の中央に血液から尿を濾過する球状の糸球体があり、 その周りに濾過液から必要な成分を再吸収尿細管があります。 【解析概要】 ■解析対象：腎臓糸球体 ■腎臓は血液から尿を産生する臓器 ■中央に血液から尿を濾過する球状の糸球体がある ■濾過液から必要な成分を再吸収尿細管がある ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社花市電子顕微鏡技術研究所

【事例】ノーマリーオフ型GaN HEMT 二次元電子ガス層評価

製品調査の複合解析をワンストップでご提案可能です

GaN系高電子移動度トランジスタ「GaN HEMT（High Electron Mobility Transistor）」は、AlGaN/GaNヘテロ構造によって二次元電子ガス層（2DEG）が得られ、電子移動度が高くなります。その特性を用いて急速充電器などで活用されています。 本資料では、ノーマリーオフ型のGaN HEMTデバイスを解体・評価しました。 分析手法を複合的に活用し、試料の総合的な...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【産業調査レポート】世界の輸液ポンプ市場：製品別、技術別、環境別

世界の輸液ポンプ市場（～2027年）：製品別（付属品（専用）、デバイス…

MarketsandMarkets（マーケッツアンドマーケッツ）社によると、輸液ポンプの世界市場規模は、2022年147億ドルから2027年205億ドルまで年平均7.0％成長すると予測されています。本調査レポートは、輸液ポンプの世界市場について調査・分析し、イントロダクション、調査手法、エグゼクティブサマリー、プレミアムインサイト、市場概要、製品別分析（付属品＆消耗品、デバイス）、用途別分析（化学...

メーカー・取り扱い企業： H&Iグローバルリサーチ株式会社

【分析事例】角度分解XPS（ARXPS）による極薄膜組成分布評価

基板上の極薄膜についてデプスプロファイルを評価可能です

角度分解XPS（ARXPS）はX線照射によって放出される光電子を取出角ごとに検出し、それぞれ検出深さの異なるスペクトルを用いてサンプル表面極近傍のデプスプロファイルを評価する手法です。従来のArイオンスパッタを用いた方法と比較すると、深さ方向分解能が向上し、かつ選択スパッタやミキシングによる組成変化が無いといったメリットがあり、基板上の極薄膜（数nm程度）のデプスプロファイル評価に有効です。 本...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

デジタル技術『生産準備支援(プロダクションエンジニアリング）』

ロボットインストールなど、デジタル技術を活用し、安全でスムーズに生産工…

アウトの実現や新規生産ラインのスムーズな稼動をご支援いたします。 長く自動車生産工場で培った経験を活かし、ロボットによる溶接。搬送ロボット導入による効率化を可能にいたします。 さらにMR技術を活用し、従来の工事より、安全性向上・時間短縮が可能となりました。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シンテックホズミ

【分析事例】半導体のイオン化ポテンシャル評価

UPS：紫外光電子分光法

半導体では、価電子帯立ち上がり位置(VBM)と高束縛エネルギー側の立上り位置(Ek(min))より、イオン化ポテンシャルを求めることが可能です。 表面有機汚染除去程度のArイオンスパッタクリーニング後に測定を行っています。 ■価電子帯立ち上がり位置(VBM)の決定 価電子帯頂点近傍のスペクトルを直線で外挿し、バックグラウンドとの交点を求めます。 ■イオン化ポテンシャルの算出 イオン化ポ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】C60,GCIBを用いたアルカリ金属の深さ濃度分布

SiO2膜の不純物の評価

アルカリ金属であるLi,Na,Kは半導体における各種故障原因の要の元素です。これらは測定時に膜中を移動してしまう可動イオンと言われており、正確な分布を得ることが困難とされてきました。 今回、スパッタイオン源にC60（フラーレン）とGCIB(Arクラスター)を用いたTOF-SIMSの深さ方向分析を行うことにより、常温下の測定でもアルカリ金属の移動が抑えられることがわかりました。この測定を行うことで...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

最先端プラズマ技術でナノ単位の表面改質

濡れ性向上、接着強化、ナノ洗浄など最先端プラズマ処理で新技術の開発に最…

プラズマ装置国産メーカー『魁半導体』 昨年の『関西フロントナー大賞』『京都中小企業優秀技術賞』を受賞。 社内の技術者が様々なニーズに対応いたします。 本製品は国内の様々な大学や研究所、メーカーのR&D部門に 導入実績がございます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

マニュアル作成サービス

取扱説明書や技術文書などのマニュアル作成におけるお悩みを解決します！

当社では、取扱説明書や技術文書などのマニュアル作成サービスを行っています。 印刷物に限らずオンラインヘルプやウェブマニュアルなどPCやタブレットといった 表示媒体の多様化にも対応します。 各種マニュアルの作成支...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジョーソンドキュメンツ 東京事業所

【MFM】磁気力顕微鏡法

MFMは、磁性膜でコートされたプローブを用いて、サンプル表面近傍に生じ…

・サンプルの磁気特性の情報を定性的に取得可能 ・漏洩磁場による引力・斥力をイメージング可能 ・漏洩磁場の勾配の大きさに比例した磁気力の信号を得られるが、定量評価は不可 ・AFM像の取得も同時に取得可能...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】劣化の激しい有機材料の状態評価

雰囲気制御下でのサンプリングで材料の正確な評価が可能です

有機ELは自発光原理による高輝度、高精細カラー、薄型化等の利点があり、次世代デバイスの一つとして期待されています。特性向上、長寿命化、信頼性向上等には材料の正確な解析・評価が重要ですが、非常に活性な材料が使用されているため取り扱いには注意が必要です。大気暴露したサンプルと高純度アルゴン雰囲気下で取り扱ったサンプルの比較から、大気暴露で見られる酸化（分子イオン+O,+OH等）が高純度アルゴン雰囲気中...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ポリイミド成分の深さ方向分析

TOF-SIMSによる高分子・樹脂・フィルムの表面改質層の深さ方向の評…

ポリイミドは非常に耐熱性が高く電気絶縁性も優れていることから、電子部品をはじめとして様々な分野で用いられている材料です。表面改質を行うことで他の材料との密着性を高めることができることから、改質層の状態を把握することが重要です。今回、有機成分が壊れにくいスパッタ条件にてTOF-SIMS測定を行い、深さ方向にポリイミド成分を評価しました。GCIB（Arクラスター）をスパッタに用いると着目する有機成分を...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】環境制御in-situXAFSによるRuO2触媒評価

着目のガス雰囲気・温度条件下での測定が可能

in-situ XAFSは、試料周りの環境を着目に応じたガス雰囲気・温度に制御した条件下で、試料の化学結合状態・局所原子構造が評価できます。そのため、触媒等、特殊な環境での状態評価が必要な場合に適しています。本資料では、in-situ XAFSを用いてRuO2粉末を還元雰囲気下で室温から400℃まで昇温させ、RuO2の状態変化を捉えた事例をご紹介します。スペクトルの形状から、100℃～200℃の間...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XPSによるDLCの評価

C1s波形解析を使用したsp2/(sp2+sp3)比の評価

高硬度・高耐摩耗性等の特長から、幅広い分野で活用されてるDLC（ダイヤモンドライクカーボン）膜は、グラファイトとダイヤモンドの中間に位置した材料であり、膜中のsp2（グラファイト構造）とsp3（ダイヤモンド構造）を分離して求められるsp2/(sp2+sp3)比は、膜の特性を決定する重要な要因の一つとなります。 このsp2/(sp2+sp3)比について、XPSのC1sスペクトルを波形解析することで...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiC基板におけるSSDP-SIMS分析

SiC基板側からドーパント濃度プロファイルを取得可能

SiCパワーMOS FET（図１）において、ゲートパッド部下のSiC中にてドーパント元素であるAlの濃度分布を素子表面側から及び裏面側からSIMSで評価しました（図２）。 分析を進める方向に関係なく深さ約0.5μm以降の分布もよく一致することから、Alの濃度分布の広がりは測定起因でなく実際の元素分布を反映しているものと考えられます。 SiCなどの加工の難しい硬質基板でも、SSDP-SIMS分析...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Ramanによる金属部材上の異物分析

微小領域を狙った測定が可能

製造装置や部品に付着した異物は、製造品の不良や装置動作の不具合などに影響する場合があります。異物を適切に分析・評価することで、発生原因を究明し、不具合を改善することができます。 本資料では、金属部材上に付着した異物の成分をRaman分析により評価した結果をご紹介します。 Ramanは約1μmの微小領域の測定が可能であり、狙った箇所の分子構造や結晶構造に関する情報を得られることから、まばらに存在...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

動画を活用して技術継承をスムーズに進めるために

特に複数の海外拠点を持つ企業の場合は、教育コストを大幅に抑えることが可…

る化」によって、より効果的に・効率的に高品質な製品を 製造できるようになってきています。 　 そんな機械化が進んでいると言われる製造現場ですが、実際の現場で 課題となっているのが「次世代への技術継承」です。 本記事ではそんな技術継承における課題と動画を活用した対策方法について 解説します。 ※記事の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 　詳しくは、お気軽にお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エルモ

【分析事例】金属ワイヤー中の不純物評価

SEMと同等の視野で大気成分などの不純物の面内分布を可視化

SIMS分析はウエハや基板以外にも様々な形状の試料に適用可能です。本事例では、ワイヤー中の不 純物分布を評価した事例をご紹介します。 ワイヤー側面から深さ方向に不純物分布を評価した結果（図2)H、O、F、S、Clなどの不純物プロファイル には深さに応じて強弱があり、ワイヤー中に局在していることが示唆されます。ワイヤー断面の元素マッ ピングを行った結果（図3）ワイヤー中に不純物が局在している様子を...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

電子部品・医療機器などの組立て～出荷検査まで　

高度なクオリティコントロールと検査技術で信頼を作り出す生産体制。液晶デ…

コニシセイコー株式会社は、高精度なクオリティコントロールと検査技術で信頼を作り出す生産体制で幅広い分野にお役立ちします。 ◆液晶ディスプレイ関連 クリーンルームをはじめ、万全のクオリティを保障する最新鋭設備。 製造受託からラインの稼動、品質管理に至るまで...

メーカー・取り扱い企業： コニシセイコー株式会社

【分析事例】特殊形状試料のSIMS測定

固定方法の工夫により特殊な形状でも分析可能

通常、SIMS測定では数mm角で表面が平坦なチップを用いて分析を行いますが、1mm 角以下の小さなチップや特殊な形状の試料についても固定の前処理を施すことで分析が可能です。 微量成分を調べたい試料の中には、微小チップやワイヤー状試料など、通常では分析には適さない形状のものがあります（図1）。このような試料では固定を行った後に分析を行います（図2）。他にも試料の断面や側面、特殊な形状の試料において...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】有機EL素子積層膜の膜密度・膜厚測定

X線反射率測定（XRR）で膜厚・密度の分析が非破壊で可能です

有機ELディスプレイは自発光原理による高輝度、高精細カラー、薄型化等の利点を活かし、実用化が進みつつあります。有機ELデバイスは有機膜を積層させて作製しますが、有機膜積層状態での有機膜分析を行うことは困難でした。今回、XRR法を用いることによって、積層状態のまま、有機膜の膜厚測定および密度測定を行うことが可能となりました。 結晶質、非晶質を問わず、積層膜の膜厚および密度の分析が可能です。...詳...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ポリカーボネートの劣化層の評価

GCIB（Arクラスター）を用いることで劣化層の膜厚を評価することが可…

ポリカーボネート（PC）は熱可塑性プラスチックの一種であり、優れた透明性・耐衝撃性・耐熱性などの特長をもち、太陽電池パネル・メガネレンズ･CD・車載部品・医療機器の材料として、幅広く活用されております。今回、スパッタイオンビームにGCIB（Arクラスター）を用いてTOF-SIMS分析を行い、PC表面の劣化層の評価を行いました。 ※GCIB：Gas Cluster Ion Beam...詳しいデー...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XPS・AESによる深さ方向分析の比較

XPS：X線光電子分光法　AES：オージェ電子分光法

XPSとAESは表面敏感な分析手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能となります。 深さ方向分析を行うにあたり、測定したい領域やサンプルの材質に応じてXPSとAESを適切に使い分けることが、目的に沿った分析を行う上で重要です。 XPSとAESの深さ方向分析の特徴について、SUS不動態膜の分析を例として比較します。...詳しいデータは...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】炭素材料のラマンマッピング

試料面内における炭素の結晶状態分布を評価可能です

工業部品や医薬器具など幅広く使用されている炭素材料は構造・結晶性によって異なる性質を持つため、その状態を評価することが重要です。 本資料では、高感度・高空間分解能のRaman（ラマン分光法）を用いた評価事例をご紹介します。炭素材料であるグラファイトの結晶状態分布を、マッピングにより可視化しました。欠陥量の多い・少ないを視覚的に捉えることができています。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】STEM,EBSDと像シミュレーションを併用した解析

像シミュレーションを併用した結晶形の評価

高分解能HAADF-STEM像は、結晶の原子配列を反映した画像であることから、種々の結晶方位に対応したSTEM像をシミュレーションすることにより、多結晶体中の結晶粒間の相対方位や観察像の正確な理解に役立ちます。 本資料では、多結晶体であるネオジム磁石中の結晶粒について、EBSD法で得た結晶方位の情報からSTEM像をシミュレーションし、実際の高分解能HAADF-STEM像と比較した事例を紹介します...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】FT-IRによる樹脂の硬化反応評価(3)

官能基の変化を捉えることで樹脂の硬化度を評価することが可能です

耐薬品性や電気絶縁性などに優れている樹脂は、様々な電子部品の絶縁体、コーティング剤、接着剤として利用されています。FT-IR分析は、樹脂の硬化度等の不良原因を調査することが可能で、製品開発に有効です。 一例として、UV硬化樹脂（紫外線硬化樹脂）の硬化度を評価した事例をご紹介します。 接着剤における紫外線照射時間の検討や、製品に剥離が発生した際の硬化状態の評価に有効です。...詳しいデータはカタ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】高温XRDによる熱分解生成物の同定

昇温しながらXRD測定が可能

材料が昇温に伴って化学反応・相変化を経て結晶構造に変化が起こる場合、昇温しながらXRD測定を行うことが有効です。高温XRD測定を行うことで、硫酸銅五水和物の熱分解生成物の同定を行った事例を紹介します。測定の結果、熱分解が起こる温度で回折ピークが変化し、結晶構造が変化する様子を明瞭に確認できました。 MSTでは昇温しながらOut-of-plane XRD測定・In-plane XRD測定を行うこと...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SNDMおよびSMMによる拡散層評価

SiCデバイスの拡散層のp/n極性とキャリア濃度分布を評価できます

近年、高耐圧デバイスの材料としてSiCが注目されています。Trench MOSFET構造は素子の高集積化が可能であり、SiCデバイスへの応用展開も進められています。一方、SiCデバイスのドーパント活性化率には課題があり、出来栄え評価が重要となります。今回、SiC Trench MOSFETに関して、SNDM（走査 型非線形誘電率顕微鏡）にてキャリア極性判定をSMM（走査型マイクロ波顕微鏡法）にてキ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ナノ材料の構造解析

ナノ領域の構造解析、形態観察を受託しております。

ナノチューブなどナノ材料などを、TEM、SEM、EDSによるナノ領域の構造解析・形態観察を受託します。...ナノチューブなどナノ材料などを、TEM、SEM、EDSによるナノ領域の構造解析・形態観察を受託します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社花市電子顕微鏡技術研究所

【分析事例】AFMによる注射針の表面微細構造観察

表面のコート膜の状態を評価できます

注射針等の金属加工面は一般的に粗くなりますが、粗い表面のまま注射針を使用すると、患者に不快感を引き起こす事が知られています。そのため、注射針には表面が粗い事による表面摩擦を抑えるために、生物学的不活性なシリコーン潤滑剤を用いています。 本資料では、シリコーン潤滑剤を用いた表面加工の有無による粗さ評価をAFM（原子間力顕微鏡）を用いて評価した事例をご紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧く...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】雰囲気制御&冷却下でのSEM分析

雰囲気制御下での処理 クライオ加工 冷却 SEM： 走査電子顕微…

大気に暴露すると変質してしまうリチウムイオン二次電池材料や、加工・観察時の熱で変質する有機系材料等の試料は、TEM・SEMを用いて本来の構造を観察することが困難でした。 大気暴露することなく（雰囲気制御）FIB付き高分解能SEM装置で観察することで、粒子や電解質等の本来の状態を知ることが出来ます。また冷却にも対応しており、熱による変質も抑えることが可能です。...詳しいデータはカタログをご覧くだ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】ガラス試料のTDS分析

赤外線が透過する透明な試料でも昇温脱離ガス分析が可能

昇温脱離ガス分析法（TDS）は、試料に赤外線を照射して試料を直接昇温し、発生したガスを温度毎にモニターする質量分析法です。 ガラス基板のような赤外線を吸収できない試料を分析する場合は、試料ステージを透明から黒色のものに変更することで分析が可能となります。黒色ステージが赤外線を吸収して温度が上がり、熱伝導により試料の温度が上がることでガスを発生させます。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Si基板へのAl,Gaの拡散評価

SSDP-SIMSによる高濃度層の影響を避けた測定

コスト低減の観点から、GaNを材料としたパワーデバイスの基板には高抵抗Si基板の活用が期待されています。しかしながら、高温で成膜する際にAl,GaがSi基板表面に拡散してしまうと、低抵抗層が形成されリークの原因と言われております。 そこで、Si基板中へのAl,Gaの拡散の有無を評価するため、SIMS分析を行った事例をご紹介します。 微量の拡散を正確に評価するため、Si基板側からGaN層に向けて...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiN膜中の金属汚染評価

ICP-MSによる高感度分析

Siウエハ上のSiN膜（Si3N4）を溶解した溶液中には、着目している不純物金属元素以外に膜由来のSiマトリックスが含まれています。そのため、溶解した溶液そのものでは精度よく高感度分析ができません。 そこで、Siウエハ上のSiN膜を溶解後、別途処理を施すことでSiマトリックスの影響なくSiN膜中不純物金属元素の分析を可能としました。市販品のSiN膜付きSiウエハを用いてICP-MSによる高感度分...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST