【新製品】 化粧品原料　長寿遺伝子刺激、肌寿命向上植物エキス

PRタイムリス　長寿遺伝子に作用し、肌寿命向上を実現[化粧品開発展東京20…

美しさと長寿の象徴であり、幅広い健康効果を持つ自然のルビーチョウセンゴミシのエキスです。 スキンロンジェビティメカニズムに働きかけ、活力に満ちた、艶のある滑らかな肌へと導きます。 ＜有効成分＞ リグナン: ≥10%/DM 長寿命延長メカニズム シサンドリン:6-8%/DM オートファジー誘導& 皮膚健康寿命の向上 有機酸: クエン酸: 10-15% リンゴ酸: 10-15% 酒石酸 ≥2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社樋口商会

ラボや製造に関わる試薬の受託製造サービス　※BioJapan出展

PR【BioJapan 2024に出展します】ライフサイエンス関連試薬の受…

株式会社ニッポンジーンは、10月9日(水)～10月11日(金)にパシフィコ横浜で 開催される『BioJapan 2024』に出展いたします。 本展示会では、ライフサイエンス関連試薬の製造メーカーとして、長年にわたる 試薬製造のノウハウを活かした、研究・製造用試薬の『受託製造サービス』を ご紹介いたします。ぜひ弊社ブースにご来場ください。 ＜特長＞ ■ラボや製造に関わる試薬の受託製造（OEMや原...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッポンジーン

素材、原料の原産地を証明！産地偽装の防止対策＆検証「産地の証印」

産地偽装の防止対策として科学的な原産地証明を実現！DNA鑑定では難しい…

する、産地偽装の防止対策＆検証「産地の証印」をご紹介いたします。 加工食品等の「●●産」表記に関して、昨今では原産地誤認惹起行為も話題になっております。 「産地の証印」ではダイヤモンドの産地鑑定技術を応用し、畑や酒蔵の固有情報を科学的技術でデータ化。 海外からも照合を可能にすることで、自社製品の産地を科学的に証明することができます。 自社製品の産地表記の信用性を高める、 自信をもって商品展開...

メーカー・取り扱い企業： 日本流通管理支援機構株式会社

環境測定業務(調査・分析)サービスガイド

室内空気環境測定・土壌調査・アスベスト検査など、「快適環境」のための環…

室内空気環境測定、土壌調査、アスベスト検査（含有・粉じん）、放散量試験、騒音測定、ばい煙測定、室内遮音性能測定など、「快適環境」のための環境改善測定、検査等のサービスガイドです。 【掲載内容】 ■室内環境測定 ■放散量試験 ■室内遮音性能測定 ■土壌調査 ■アスベスト検査 ■大気汚染調査 ■水質調査 ■その他、防カビ、害虫、受託研究開発、共同研究開発など ※詳しくはカタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社環境技術センター

【分析事例】エポキシ樹脂の硬化温度･ガラス転移温度調査

DSC（示差走査熱量）測定による熱物性評価

二液混合型のエポキシ樹脂について、DSC（示差走査熱量測定法）を用いて硬化温度及び耐熱性の指標となるガラス転移温度（Tg）を調査しました。硬化前の樹脂をDSC測定したところ、約103℃付近から急激な発熱反応が開始するのが確認されました（図1）。これは昇温加熱により樹脂の重合（硬化）が起きたためです。更に、硬化後の樹脂を室温まで空冷した後、再度DSC測定したところ、樹脂のガラス転移に起因するベースラ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】HAADF-STEM像とは

HAADF-STEM：高角散乱環状暗視野走査透過顕微鏡法

■原理 HAADF-STEM( High-angle Annular Dark Field Scanning TEM)像は細く絞った電子線を試料に走査させながら当て、透過電子のうち高角に散乱したものを環状の検出器で検出することにより得られます。 ■特徴 Z2ρが大きな材料の方がより高角に散乱される ↓ 重い元素はSTEM像では暗く、HAADF-STEM像では明るい 原子量（Z）...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】溶液中の窒素成分の評価

無機窒素を形態別に分析可能です

窒素は様々な形態で化学・材料・食品・医薬等の幅広い分野において利用されています。窒素化合物は硝酸、亜硝酸、アンモニアなどの無機窒素化合物や、アミノ酸などの有機窒素化合物などからなります。サンプルが水溶液の場合、硝酸イオン、亜硝酸イオン、アンモニウムイオンなどの無機窒素化合物についてはイオンクロマトグラフ法、有機態窒素についてはHPLCやLC/MS、また無機窒素化合物と有機窒素化合物を合わせた全窒素...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】IGZO薄膜のXAFSによる局所構造解析

酸化物半導体中、金属元素の価数・配位数・構造秩序性の評価

透明酸化物半導体のIGZO薄膜はディスプレイ用TFT材料として研究開発が進められていますが、TFT特性の安定性の面で実用に課題が残されております。この課題を解決するためにはIGZO成膜メカニズムの解明が重要です。IGZO薄膜について、金属元素の電子状態およびその局所構造を、放射光を用いたXAFS解析によって明らかにすることでIGZO成膜メカニズムに関する知見を得ることが可能です。 Zn-K 端X...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】TDSによる温度保持中の脱ガス評価

温度保持中の脱ガス強度の変化を調査できます

TDSは高真空中で試料を昇温、または温度を一定に保持した状態で、脱離するガスをリアルタイムに検出する手法です。 Si基板上SiN膜について350℃で温度を保持し、H2の脱離量を調査した例を示します。 単純昇温では500℃付近に脱ガスピークが確認されましたが、350℃で温度保持中はH2の検出強度は低下し、再昇温時に脱ガスピークが確認されました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】消臭剤の効果測定

GC/MSにより、タバコ臭に対する消臭剤の効果を測定

本事例では、タバコ臭が付着した布を使用し、消臭剤噴霧の有無による臭気成分の差異をGC/MSで測定しました。タバコ臭は多くの成分によって構成されているため、検出されたピークの中から消臭剤によって減少したピークに注目して解析しました。その結果、タバコ臭を特徴づける3種の臭気成分の減少が確認できました。また、本事例以外にも様々なにおいに対する消臭剤や空気清浄機の効果を確認することが可能です。...詳しい...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】高分子フィルムの多層構造の解析

GCIBを用いた低ダメージスパッタリングで多層フィルムの層構造を明瞭に…

フィルムの機能性は素材・厚み・層構造等で決まることが知られています。 今回は食品用ラップフィルムとして一般的に用いられるポリエチレン系多層フィルムの層構造を評価しました。 FT-IRで主にポリエチレンで構成されていることを確認したフィルムに対し、GCIB（Arクラスター）をスパッタに用い、TOF-SIMSで深さ方向に測定することで、10μmの厚みの中でポリエチレンとナイロン6とが積層されてい...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】テクスチャ付きGaN系LEDの元素分布評価

凹凸のある構造でも平坦化加工により深さ方向分布評価が可能

GaN系LEDは照明用途としても広く用いられるようになりました。光の取り出し効率を高めるため、取り出し面に凹凸を設けることがありますが、この凹凸が深さ方向分析における深さ分解能の劣化を招きます。 テクスチャ凹凸面に平坦化加工を施すことにより深さ分解能の劣化を抑えて深さ方向濃度分布を評価した事例と、バックサイド(基板側)から分析を行った事例をご紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術資料『物理学的処理【シリカの除去】』

水処理技術の解説書！「シリカの除去についての物理学的処理」を掲載

技術資料『物理学的処理【シリカの除去】』は、創業以来、水処理に関するエンジニアリング、装置設計と製作、維持管理などを総合的にとらえた業務展開を図ってきた、日本ワコン株式会社の水処理技術の解説書です。 本資料では、シリカの除去についての物理学的処理を説明しています。 【掲載内容】 ■シリカの溶解度 ■凝集処理によるシリカ除去 ■イオン交換樹脂によるシリカ除去 ■カルシウムとシリカの混在...

メーカー・取り扱い企業： 日本ワコン株式会社 環境装置事業部

ヘアケア原料　コンディショニング海藻エキスコンプレックス771

海藻エキス、コンプレックス、ヘアケア、コンディショニング、活性酸素プロ…

近年では、研究開発に力を入れ、製品のIn-Vivo, In-Vitroの評価データの充実は勿論のこと、スキンマイクロバイオームなどの新しいトレンドに対する研究開発も行っています。 また、自社特許技術である凍結技術(保存・粉砕・抽出)や発酵技術を用いてより有効成分濃度を高め効果を実証した製品の開発製造にも力を入れています。 これらの製造技術は、自社製品の開発だけではなくカスタマイズ製品の開発に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社樋口商会

【分析事例】フラックスの洗浄残渣評価

微小・極薄の残渣をイメージとして捉えます

近年のＰｂフリーハンダ導入に伴い、フラックス成分も改良（活性度が高い、熱耐性がある等）が進み、腐食性が大きくなり、残渣の問題も重要度を増しています。そのため、フラックスを除去することが求められています。プリント基板電極部の異物について、TOF-SIMSを用いた分析を行った結果、フラックスの成分が検出されました。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XRD・EBSDによるGaN結晶成長の評価

断面マッピングにより、GaNの結晶成長の様子を評価可能

窒化ガリウムGaNは、熱伝導率が大きい点や高耐圧といった特性のため、LEDやパワーデバイスなどの材料として用いられます。それら製品の製造工程では、デバイス特性に影響を与える結晶欠陥の無い、高品質なGaN結晶の作製が求められます。 本資料では、c面上に形成したGaN基板（c-GaN基板）上に、c-GaN結晶を高速気相成長させたサンプルの結晶状態を評価した事例をご紹介します。...詳しいデータはカタ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】代表的な材料・目的別のTDS解析例

TDS：昇温脱離ガス分析法

TDSは高真空中（1E-7 Pa）で試料を昇温させ、脱離したガスを検出する手法です。高真空中で試料を等速昇温するため微量な脱ガス（単原子層レベル）についても温度依存性を確認することができます。また一部の成分については脱離したガスの分子数も算出可能です。 代表的な材料別にTDSを適用した例をご紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

リングポンプ用途事例：先端技術分野用チューブポンプ／細胞培養分野

無限に広がるチューブポンプの可能性　用途事例『燃料電池』のご紹介

g Pump」は、近年、注目の集まっている燃料電池分野や、糖尿病のインスリンポンプといった医療分野においても実用化が進んでいます。 さらには、バイオ分野やクリーンビジネスなど、その他にも様々な先端技術での導入が見込まれ、その未知なる可能性は無限に広がっています。先端技術分野 で、マイクロポンプをお探しのお客様はぜひ一度『アクアテック』にご相談ください。 ※詳しくは資料をダウンロード、もしく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アクアテック

【分析事例】リチウムイオン二次電池　セパレータの評価

サンプルを冷却しセパレータの形状をより正確に評価

電池の主要構成材料であるセパレータは、この材料の多孔性・形状等が電池の特性・安全性を左右します。現在主流のポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、あるいはその複合材料等高分子系材料は軟化点が低くPEでは125℃程度、PPでは155℃程度となります。軟化点の低いPP製のセパレータ構造観察において、試料の冷却を行って変質を抑えて評価した事例をご紹介します。...詳しくは資料をダウンロード、または...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】パワーデバイスのキャリア濃度分布評価

ドーパントの活性化率に関する評価が可能

SRA（Spreading Resistance Analysis）はサンプルを斜め研磨し、その研磨面に2探針を接触させ、広がり抵抗を測定する手法です（図1）。 キャリア濃度分布を評価することで、ドーパントの活性化状況についての知見を得ることが可能です。 一例として、パッケージ開封後のダイオードチップ表面中央部と外周部(図2)についてSRAを行った事例をご紹介します。...詳しいデータはカタロ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

リジェンヌ・ＰＣＢ処理トータルソリューション

【本質を見極め、シンプルに解決します】ＰＣＢ処理実績20年以上の豊富な…

会社設立以来、PCB（ポリ塩化ビフェニル）処理に関する世界の技術動向の調査、および、国内外の関係者への情報提供を行ってまいりました。また、自社でも様々な独自処理技術の開発を行っております。高い処理技術と関連法制の知識、さらには欧米の最先端技術を有する企業とのネッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リジェンヌ

日立モノづくりの知識とスキルを学ぶ技術研修！

日立アカデミーのモノづくり研修体系リリース

「モノづくり研修体系」は日立のモノづくりの経験からモノづくりに必要な技術・スキルを厳選して研修として体系化しました。 学術的な体系からモノづくりの技術・スキルを網羅している研修体系ではないので、どの研修も得られた知識・スキルはモノづくり実践力の強化に直接的に貢献します...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立アカデミー

【分析事例】遊離アミノ酸17成分の一斉分析

OPAポストカラム法により高感度かつ選択的なアミノ酸分析が可能

OPAポストカラム法は、アミノ酸をカラムで分離後に蛍光試薬OPAと反応させ、蛍光を検出する方法です（図1,2）。この方法ではニンヒドリン法に比べて高感度の分析が可能です。蛍光試薬OPAは一級アミンと選択的に反応するため、夾雑成分の影響を受けにくく選択性の高い分析が可能です。プロリンは二級アミノ酸ですが、反応液に次亜塩素酸ナトリウムを加えることで、一級アミンに変換して測定が可能です。 本資料ではプ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】LC/MS/MSによるペプチドの配列解析

ペプチドのアミノ酸配列をLC/MS/MS分析によって解析します

ペプチドをLC/MS/MSで測定すると特徴的なフラグメントイオンが得られ、ペプチドを構成するアミノ酸の配列を解析することができます。また、ペプチドをLCによって分離して分析するため、複数のペプチドを含む試料や不純物ペプチドを含む試料であっても配列の解析が可能です。 ここでは低分子ペプチドをLC/MS/MSで分析し、アミノ酸配列の推定を行った事例を紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧くだ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】タンパク質のショットガン解析

LC/MS/MS：液体クロマトグラフィー質量分析法

タンパク質の組成解析では、電気泳動後に目的のタンパク質のみを調べる方法もありますが、本資料ではタンパク質を網羅的に調べる「ショットガン解析」についてご紹介します。 ショットガン解析ではLC/MS/MS測定を用いてタンパク質の分離及び、質量情報の取得を行った後、データベース検索を行うことで溶液中に含まれるタンパク質を網羅的に調べることができます。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】海水中のTOC量評価

塩を含む溶液中のTOC濃度の分析が可能です

TOC（全有機炭素：Total Organic Carbon）計は、試料中に含まれる有機物の量を評価することができます。TOCの測定値は、河川や工業用水の水質汚濁を監視・管理する指標として広く採用されています。 今回はNPOC法（不揮発性有機体炭素：Non-Purgeable Organic Carbon）を用いた海水の分析事例を紹介します。TOCを再現性良く測定することができ、他にも塩を含む...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】デヒドロアスコルビン酸の分析

飲料中のデヒドロアスコルビン酸の分析が可能です

近年、清涼飲料水の市場規模が拡大しており、美味しさを一層高めるため種々の検討が行われています。そのひとつとして、清涼飲料水中に適量のデヒドロアスコルビン酸が含まれていると、風味が改善されるとの報告があります。デヒドロアスコルビン酸は、飲料等に酸化防止剤として含まれているL-アスコルビン酸の酸化によっても生成されるため、試料中の正確な値を得るためには、試料開封後速やかな分析が必要です。本資料では試料...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】フコイダン食品規格基準の分析

MSTはJHFA規格基準（フコイダン食品）の指定検査機関です

フコイダンは海藻類に含まれる高分子の多糖類であり、抗ガン作用等の様々な機能性が報告されています。公益財団法人日本健康・栄養食品協会（JHFA）が2017年7月にフコイダン食品の規格基準を公示し、MSTは申請に係る分析が可能な指定検査機関に登録されました。JHFA規格では、オキナワモズク、メカブ、ガゴメ昆布の3種について、フコイダン食品規格が定められています。試験項目には原料や製品中のフコイダン含有...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】三次元培養ヒト皮膚表面の微細形状観察

AFMにより、皮膚表面におけるナノスケールの凹凸を可視化

医薬品・化粧品の有効性・安全性試験において、近年動物実験代替法の開発が進められており、中でも三次元培養皮膚による試験方法が注目されています。本事例では、化粧品（ローション剤）の経皮吸収試験を実施した三次元培養ヒト皮膚を、AFM（原子間力顕微鏡法）で測定しました。皮膚表面の微小形状を視覚的に評価でき、また、任意の箇所の粗さを数値データで評価することも可能です。大気条件下で測定することにより、真空条件...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】食品中混入成分のスクリーニング検査

食品中に農薬・薬物が混入していないかを高精度に分析します

食品への異物混入事件が度々世の中を騒がせており、平成26年1月に実施された内閣府の「消費者行政の推進に関する世論調査」で最も関心が高い消費者問題は「食品の安全性」という結果となりました。 食品の安全性を担保するためにMSTでは原因調査のための精度の高い分析を行っており、食品中に一日摂取許容量以上に農薬が混入しているか否かを判別することが可能です。除草剤グリホサートを少量添加した味噌汁を分析した結...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】エッセンシャルオイル中のにおい成分の評価

固相マイクロ抽出(SPME) を用いたにおい成分の濃縮分析

人がにおいとして知覚する揮発成分の濃度は非常に低い場合があり、揮発成分の分析に使用されている通常のHS（ヘッドスペース）法によるGC/MS測定では検出できない場合があります。 固相マイクロ抽出（Solid-Phase Micro Extraction : SPME）を使用することで、揮発成分を濃縮してGC/MSに導入することが可能となり、多くの微量含有成分を検出できます。 本資料では微量なエッ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】アクリル樹脂の定性

TOF-SIMS分析による成分の推定が可能です

アクリル樹脂は、ケイ酸塩ガラスに比べ、加工性・透過率・安全性などが優れているため、有機ガラスとして航空機や自動車などの窓ガラス、レンズやプリズムなどの光学用器具・医療用材料・日用品・工芸品などの広い用途があります。代表的なアクリル系の標準試薬について、TOF-SIMSで質量スペクトルを取得しました。MSTでは分析対象の質量スペクトルと標準試薬の質量スペクトルとを比較することで、検出されたフラグメン...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】TDSによる銅板・はんだの同時加熱分析

部材同士を接触させ、実プロセスに近い環境での脱ガス評価が可能

はんだを用いた金属の接合は、エレクトロニクス分野において欠かすことのできない工程のひとつです。 金属とはんだが接触した状態で加熱した際の脱ガスは、ボイドの原因となることが知られています。 以下に、銅板にはんだを乗せた状態でTDS分析(昇温脱離ガス分析)を行った事例を紹介します。TDSは部材の加熱に伴う脱ガスを評価可能です。TDS装置内で銅板とはんだを接触させ同時に加熱することで、実プロセスに近...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】農薬一斉分析法の開発

対象の成分についてオーダーメイドの分析法を開発します！

MSTでは、お客様のご要望によって分析法の検討・開発からご依頼を受託することが可能です。本例では、水中の農薬成分の一斉分析法の開発を行いました。従来、農薬の分析は成分ごとに前処理や測定法が分かれ煩雑です。複数の成分が一度に測定可能であれば、試料量や分析コストを抑えることができ、より効率的な分析が可能になります。本例では、前処理に固相抽出を用い、測定にLC/MS/MSを用いることによって、低濃度域ま...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

製品採用事例No.12 世界初の３Dプリントドリンク技術

世界初の技術がつくるユニークなサービス「PRINT A DRINK」の…

オーストリアのPRINT A DRINK社は、世界で初めて飲み物の中に3Dプリントができる技術を確立した会社です。ハイエンドの産業用ロボットを使い、マイクロリットル単位の飲み物を球状にしてカクテルに注入することができます。 PRINT A DRINK社の技術を使うと、1分以内でさまざま...

メーカー・取り扱い企業： 高砂電気工業株式会社

【分析事例】リートベルト解析法による粉末結晶材料の構造精密化

粉末X線回折データから結晶構造の精密化が可能です

本資料では、リチウムイオン二次電池の正極活物質として利用されているLi(Ni,Mn,Co)O2の粉末X線回折データに対するリートベルト解析事例を紹介します。シミュレーションによって実測の粉末X線回折データを再現するような結晶構造モデルを求めることで、格子定数・各サイトの占有率・カチオンミキシングの割合などの結晶構造パラメーターを精密に算出することが可能であり、これらを基に材料物性を考察することがで...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】プリント基板からの溶出成分の分析

液体試料中の陽イオン成分の分析が可能です

日常の様々な場所で電子機器が使われるようになり、製品の信頼性確保が重要となっています。 プリント基板は高温・高湿度の環境で、配線に用いられているCuがマイグレーションを起こして不良となることが考えられるため、マイグレーションを助長する成分を評価することが重要です。 本事例ではイオンクロマトグラフィー（IC)を用いて、プリント基板から溶出した陽イオン成分の定量分析を行った事例を紹介します。このよ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】反応熱分解GC/MS法によるポリエステルの分析

ポリエステルの詳細な構造解析が可能

ポリエステルなどの縮合系高分子の構造解析を行う際、通常の熱分解GC/MS法では分解生成物が複雑で構造推定に到らない場合があります。このような時、誘導体化試薬を共存させて熱分解を行う、反応熱分解GC/MS法が有効です。本事例ではポリエチレンテレフタレート（PET）をテトラメチルアンモニウムヒドロキシド共存下で熱分解した例を紹介します。通常の熱分解法では多数のピークが観測されたのに対し、反応熱分解法で...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】NPT-IGBT中ドーパント調査

イメージングSIMSによって局在する元素の評価が可能

NPT-IGBTエミッタ側の50μm角の領域についてイメージングSIMS測定を行いました。図1に分析によって得られた11B,Asのイオンイメージを示します。11BとAsは同じ領域に注入されていることがわかります。 また、通常の分析では検出領域全体の各元素の平均濃度が算出されてしまいますが、イメージングSIMS測定においては、部分的にデプスプロファイルを抽出することができるため、面内に局在するドー...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】成膜成分のウエハ裏面への回り込み評価

ベベル部近傍にて金属成分の定量的な評価が可能

半導体デバイス製造において、歩留まり向上の観点からウエハ裏面に残留する金属を除去することが求められており、金属成分の残留量を定量的に把握することが重要です。 ベベル部から500umの範囲で裏面に残留する金属濃度分布を調査するため、TOF-SIMSを用いて評価を行いました。TOF-SIMSはベベル部近傍のみの金属成分を検出する空間分解能を有しており、濃度既知の標準試料を用いることで濃度を定量的に算...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】洗浄リンス液中の有機物残渣量評価

TOCやLC/MS/MSによる評価が可能です！

製造過程における有機物汚染は製品の性能に大きく影響を与えます。洗浄工程のリンス液のような液体試料中の有機物分析では、全有機体炭素（TOC）計や液体クロマトグラフ-タンデム質量分析計（LC/MS/MS）を用いた評価が可能です。ここでは、工業用界面活性剤の一つであるNPnEO（ノニルフェノールエトキシレート）についてTOCとLC/MS/MSを用いた評価例を紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧...

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【分析事例】SiCSchottkyBarrierDiodeの測定

SiC中積層欠陥の検出事例

SiCはパワーデバイス用途向けなどに近年盛んに研究・利用が進んでいます。SiCは種々のポリタイプを持つため、積層配置が乱雑になる積層欠陥などが容易に発生するという問題を持ちます。この欠陥の検出法の一つとして、試料を光で刺激した際に放出される光を分析するフォトルミネッセンス（PL）法があります。 マッピング測定を行い欠陥起因の発光を検出した事例を紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧くださ...

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【分析事例】Liの結合状態分析

他元素を波形解析することでLiの結合状態別存在比を算出出来ます

リチウムイオン二次電池において、SEI層(固体電解質界面)は電池の寿命に大きく関わる要素であり、そこに含まれるLiの化学種を知ることは重要です。Li自身はケミカルシフトが小さく直接の評価が困難ですが、結合相手元素（C,O,F,P）を波形解析で状態分離することにより、Liの結合状態別存在比を算出することが出来ます。サイクル試験前後のLiの状態評価をしたところ、試験後では試験前に比べて、Li2CO3,...

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【分析事例】界面および深さ方向分解能について

SIMS：二次イオン質量分析法

異種材料間の界面のSIMS分析プロファイルは、深さ方向にある幅をもって変化します。これはSIMS分析の特性上、イオンビームミキシングとスパッタ表面の凹凸（ラフネス）の影響を受けるためです。検出している不純 物は、混ぜ合わされた深さまでの平均化した情報となり、深さ方向に幅を持った領域のイオンを検出します。 そのため、界面位置は一般に主成分元素のイオン強度が50％になる位置と定義しています。......

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】貼り合わせウエハ内部の空隙調査

超音波顕微鏡による内部空隙の観察事例

パワーデバイスやMEMSデバイスなどに用いられる、貼り合わせシリコンウエハを作成する際、貼り合わせ工程において界面に局所的に空隙が発生する事があります。 300mm貼り合わせウエハ内部を超音波顕微鏡を用いて観察しました。その結果、複数箇所にて1mm～20mm程度の複数の空隙があることを確認しました。本手法によって、貼り合わせウエハ内部の密着性評価が可能となります。...詳しいデータはカタログをご...

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【分析事例】ZnO膜の組成・不純物の三次元分布評価

イメージングSIMS分析により面内分布を可視化

デバイス作成の要素の一つである膜組成の均一性と不純物の分布状態をイメージングSIMS分析により評価しました。 測定後のデータ処理により、平面イメージ（図1）・断面イメージ（図2）・任意箇所の深さ方向分布プロファイル（図3, 4）・ラインプロファイルを得ることができます。構成材料・不純物の分布から、プロセス・膜質改善に繋がる情報を得ることができます。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】高分子表面のイオン照射による損傷層の評価

GCIB（Arクラスター）を用いることで損傷層の成分・厚さ評価が可能

高分子材料の表面にイオン照射を行うことにより、表面特性の変化が生じます。この変化を利用し、機能性材料の開発など広い分野で研究が行われています。イオン照射後、表面状態にどのような変化が生じたのか評価することは、効率的な研究・開発に重要です。 TOF-SIMS分析では、スパッタイオンビームにGCIB（Gas Cluster Ion Beam）を用いることで、高分子材料表面のイオン照射による損傷層（ダ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST