真空対応1nmフィードバックステージFS-1020UPX(V)

【真空で使用可能】1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置…

が可能 ○テーブルサイズ：60mm×60mm ○テーブル移動量：20mm ○対応真空度：10-４Pa ○耐荷重：49N ○最小分解能：1nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-911 ●その他機能や詳細については、お問合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1020UPX / XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

最小分解能：1nm 最大移動速度：5mm/sec（FC-911使用時） ストローク：20mm テーブルサイズ：□60mm 内蔵スケール：クオーツガラス 対応コントローラ：FC-911...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ　50mm動作

【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で…

ズ：120mm×120mm ○テーブル移動量：50mm ○繰返し位置決め精度：±20nm ○対応真空度：10^-４Pa ○最小分解能：10nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-511...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY

【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1050UPX(V)

[真空対応]1nm高分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決めス…

な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ：120mm×120mm ○テーブル移動量：50mm ○対応真空度：10-４Pa ○最小分解能：1nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-911 □　詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください　□...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)

[1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ

が可能 ○テーブルサイズ：80mm×80mm ○テーブル移動量：40mm ○対応真空度：10-４Pa ○耐荷重：49N ○最小分解能：1nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-911 □　詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください□...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ　100mm動作

【10nm分解能】真空中で使用可能なリニアエンコーダ内蔵のロングステー…

：120mm×120mm ○テーブル移動量：100mm ○繰返し位置決め精度：±20nm ○対応真空度：10^-４Pa ○最小分解能：10nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-511...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ　20mm動作

【真空中で使用可能】10nm分解能で動作するリニアエンコーダ内蔵の高性…

サイズ：60mm×60mm ○テーブル移動量：20mm ○繰返し位置決め精度：±20nm ○対応真空度：10^-４Pa ○最小分解能：10nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-511...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応10nmフィードバックステージ　40mm動作

【真空対応】40mmの範囲を10nm分解能で動作する高性能位置決めステ…

サイズ：80mm×80mm ○テーブル移動量：40mm ○繰返し位置決め精度：±20nm ○対応真空度：10^-４Pa ○最小分解能：10nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-511...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応5nmフィードバックステージ　50mm動作

真空中で使える　5nm分解能・高再現性・高保持性を持った高性能位置決め…

イズ：120mm×120mm ○テーブル移動量：50mm ○繰返し位置決め精度：±10nm ○対応真空度：10^-４Pa ○最小分解能：5nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-611...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応5nmフィードバックステージ　20mm動作

真空中で使える　リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステ…

ルサイズ：60mm×60mm ○テーブル移動量：20mm ○繰返し位置決め精度：±10nm ○対応真空度：10^-４Pa ○最小分解能：5nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-611...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社

真空対応5nmフィードバックステージ　40mm動作

真空中で使える　5nm分解能で40mm動作の高性能位置決めステージ

ルサイズ：80mm×80mm ○テーブル移動量：40mm ○繰返し位置決め精度：±10nm ○対応真空度：10^-４Pa ○最小分解能：5nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-611...

メーカー・取り扱い企業： シグマ光機株式会社