【熱設計および熱設計コンサルティング事例】基板の詳細熱設計

プリント基板は重要な放熱経路！配線パターンの影響を考えていますか？

熱設計および熱設計コンサルティング事例をご紹介します。 重要な放熱経路であるプリント基板。 サイズの小さな部品では、ほとんどの熱が基板を伝わって逃げるため、 配線パターンの粗密を、正確にモデル化することが必要不可欠です。 そこで当社は、電子機器専用熱設計支援ツール「FloTH...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ

AK3000型故障診断ツール『Attacker III』

実装基板の不良解析、実装部品の特性解析を実現

『Attacker III』は、実装基板の不良解析に威力を発揮する AK3000型故障診断ツールです。 不良部品の特性解析、通電状態で回路の特性解析ができます。 故障基板に搭載されているどの部品が不良なのか、良品基板と比較するこ...

メーカー・取り扱い企業： 京西テクノス株式会社

【FloTHERM 採用事例】自動車分野の電子機器熱設計

FloTHERMで自動車1台まるごと熱解析～自動車分野の電子機器熱設計…

自動車には、パワーコントロールユニットやLEDバックライトといった 多くの電子機器が搭載されています。 IGBT構造の熱設計と冷却手法の検討をはじめ、車載用インパネの熱設計や ECU基板の構想段階の熱設計などを行うことが可能です。 【事例】 ■IGBT構造の熱設計と冷却手法の検討 ・ハイブリッド車や電気自動車のキーコンポーネントであるIGBTモジュールの 　内部構造をモ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ

電子機器専用熱設計支援ツール『Flotherm XT』

各種電子機器のサプライチェーンを構成するすべての企業の熱設計担当者にご…

成技術を、3次元CAD上で利用可能にしたSOLIDWORKSベースの 電子機器専用の熱流体解析ツールです。 3次元CADとのシームレスな連携を特長としながら、半導体パッケージの モデル化や基板のモデル化など熱設計に必須のモデル化技術を メカ設計者でも容易に適用できる環境をご提供します。 また、熱流体解析技術としてはカットセルを用いた独自の “マルチコントロールボリューム”コンセ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ

【FloTHERM 採用事例】すべての電子機器の熱流体解析に

半導体パッケージから基板、筐体まで！様々な電子機器に適用する熱流体解析…

・内部構造がわからなくても、半導体パッケージの詳細モデルを作成し、部品内部の正確な温度予測を実現 ■FloTHERM PCB 　・モデル作成・環境条件選択・計算実行の3ステップで解析完了、回路・基板設計者の部品配置検討をサポート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ

【μ-EXCELの静電流版の紹介】

導体内の電流密度と電極間の抵抗を算出します

静電流版では導体内の電流密度と電極間の抵抗を算出します。サーミスタ・電熱線・プリント基板・センサー電極など多様なテーマに対応します 詳細は【解析ノウハウ.com】の「163 ex静電流版の紹介 」をご覧ください ポイントはこちら ・静電流版は導体内の電流分布を確認します ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

超音波プローブの発振制御による表面検査技術

メガヘルツの超音波伝搬状態に関する非線形現象を利用

メガヘルツの超音波伝搬状態に関する非線形現象を利用することで 　対象物の表面状態に関する新しい特徴を検出することが可能です。 特に、発振・受信の組み合わせによる 　応答特性を利用した 　基板部品の表面検査や、精密洗浄部品の事前評価・・・に関して、 　超音波振動の新しい評価パラメータとなる基本技術です。 表面弾性波の伝搬現象に関する、超音波のダイナミック特性を 　測定・解析・評...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ・ソフト販売だけではなく、受託解析も実施しております。 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。 information...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

電子機器専用熱設計支援ツール『Flotherm』

半導体パッケージから筐体サイズまで、様々な電子機器の解析が可能！

エレ・メカ協調設計の実現をサポートします。 【特長】 ■ヒートシンクやPCBなどの電子機器特有な部品形状のテンプレートを多数搭載 ■約4,000種類の形状・物性ライブラリを利用可能 ■基板CADやメカCADの設計データを活用したモデル作成も可能 ■半導体パッケージモデルを取り込むことで、より高精度な温度の予測を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ

PCB統合CAMシステム『PC-AutoCAM』

機能、精度、コストそのすべてにハイパフォーマンスを実現！

PCB統合CAMシステム「PC-AutoCAM」は、プリント基板製造に必要な機能が全て揃ったオールインワンのCAMシステムです。 各種CAD/CAMシステムとの受け渡しに使用されている様々なデータの 入出力が可能な「ガーバーデータ編集」や、DFMデータ解...

メーカー・取り扱い企業： ダイナトロン株式会社

【熱設計および熱設計コンサルティング事例】熱のお悩みを解決！

熱設計に関する様々な領域において、コンサルティング・サービスをご提供！

【サービス内容（抜粋）】 ■熱設計ツールの提供 　・電子機器専用熱設計支援ツール　FloTHERM 　・電子機器専用熱設計支援ツール　FloTHERM XT 　・回路・基板設計者向け熱設計支援ツール　FloTHERM PCB 　・半導体パッケージ部品データ作成Webツール　FloTHERM PACK 　・熱設計プロセスナビゲータ　Thermocalc ■総合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ

統合電磁界解析ソリューション Ansys Electronics

高速でコスト効率に優れた業界をリードする電磁界解析ソフトウェア群

アンテナ、コネクタ、導波管、モータ、バスバーなどの3次元モデルや、基板、半導体パッケージなど広範囲の製品の解析が可能であり、様々な電磁界解析に対応するために、解析対象に合わせてAnsys HFSS、Ansys Maxwell、Ansys SIwave、Ansys Q3...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ

【熱設計コンサルティング事例】数値解析アカデミートレーニング講座

実測と解析の結果を合わせるノウハウをご紹介するセミナーを開催！

【講座内容】 ■基礎編 　・セラミックヒータの温度測定 　・基板の温度測定 　・実測と解析の比較 ■自然冷却編 　・ヒートシンクの効果の確認 　・TIMの接触熱抵抗低減効果の確認 　・筐体への接触熱電動による冷却実験 ■矯正空冷編 　・ファンの風量...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ

熱設計支援ツール『FloTHERM』ジュール発熱解析機能について

配線の微小化や電流量の増大によるジュール発熱の影響を考慮した高精度な解…

【「FloTHERM」の特長】 ■電子機器に特化した多種の形状テンプレート ■豊富な形状・物性ライブラリ ■基板CADデータ、メカCADデータの取り込み機能 ■FloTHERM PACKで作成した半導体パッケージモデルの利用 ■一瞬で完了する完全自動メッシュ作成機能 ■電子機器に特化した高速ソルバー ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ

【解析事例】多種多様な熱流体システム技術構築

電子機器に対する冷却設計にご利用いただいた事例などをご紹介！

最適化の計算条件は、入力変数に内側フィンの枚数、ベースの厚み、 フィンの高さ、フィンの厚みを設定し、幅、長さ、全体の高さは固定値として、 最適化計算を実施、最適形状を抽出を実現。 さらに、基板上の部品配置の最適化計算にも活用されています。 【特長】 ■汎用的な技術を構築し製品開発に貢献 ■大規模計算、ユーザー数の増加、多拠点化などに対応できるCFDツール ■計算時間の短縮が見...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IDAJ

電磁界解析ソフト　【μ-EXCEL　静電流版】

プリント基板では配線内の電流密度から発熱推定！シンプルな解析ですが、様…

静電流版では導体内の電流密度と電極間の抵抗を算出します。サーミスタ・電熱線・プリント基板・センサー電極など多様なテーマに対応します 詳細は【解析ノウハウ.com】の「163 ex静電流版の紹介 」をご覧ください ポイントはこちら ・静電流版は導体内の電流分布を確認します ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

電場解析ソフト　【μ-EXCEL　静電流版】

プリント基板では配線内の電流密度から発熱推定！シンプルな解析ですが、様…

静電流版では導体内の電流密度と電極間の抵抗を算出します。サーミスタ・電熱線・プリント基板・センサー電極など多様なテーマに対応します 詳細は【解析ノウハウ.com】の「163 ex静電流版の紹介 」をご覧ください ポイントはこちら ・静電流版は導体内の電流分布を確認します ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

電界解析ソフト　【μ-EXCEL　静電流版】

プリント基板では配線内の電流密度から発熱推定！シンプルな解析ですが、様…

静電流版では導体内の電流密度と電極間の抵抗を算出します。サーミスタ・電熱線・プリント基板・センサー電極など多様なテーマに対応します 詳細は【解析ノウハウ.com】の「163 ex静電流版の紹介 」をご覧ください ポイントはこちら ・静電流版は導体内の電流分布を確認します ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

電磁場解析ソフト　【μ-EXCEL　静電流版】

プリント基板では配線内の電流密度から発熱推定！シンプルな解析ですが、様…

静電流版では導体内の電流密度と電極間の抵抗を算出します。サーミスタ・電熱線・プリント基板・センサー電極など多様なテーマに対応します 詳細は【解析ノウハウ.com】の「163 ex静電流版の紹介 」をご覧ください ポイントはこちら ・静電流版は導体内の電流分布を確認します ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

【解析ノウハウ.com】μ-EXCEL 静電流版の紹介

プリント基板では配線内の電流密度から発熱推定！シンプルな解析ですが、様…

静電流版では導体内の電流密度と電極間の抵抗を算出します。サーミスタ・電熱線・プリント基板・センサー電極など多様なテーマに対応します 詳細は【解析ノウハウ.com】の「163 ex静電流版の紹介 」をご覧ください ポイントはこちら ・静電流版は導体内の電流分布を確認します ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミューテック

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』 はプラズマ反応炉や化学蒸着(CVD)な…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ・ソフト販売だけではなく、受託解析も実施しております。 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。 information...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CVD装置用　解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ・ソフト販売だけではなく、受託解析も実施しております。 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。 information...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CC…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「対向ターゲット式ス…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介 外部回路としてπ 型マッ…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…

時間でガス流れを評価できます ●スパッタ粒子モジュールはマグネトロンスパッタ装置などにおいて、 ターゲットからスパッタされた原子のプラズマおよび中性ガス中の挙動を 　 求めるもので、対向基板上へのフラックス分布などが短時間で評価が可能 ※その他機能や詳細については、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社