小型基板洗浄機『Ecclear』【小型基板に対する洗浄に最適！】

2インチ未満の小型基板の洗浄・乾燥に特化した小型基板洗浄機！新規材料に…

『Ecclear』は、直径2インチサイズ未満の小径基板を洗浄・乾燥する装置です。独自に開発した小径基板専用の 洗浄・乾燥機構により、高いレベルの清浄度が達成可能になりました。研究開発で使用する小さな基板や、バイオチップ・光学部品・メムスパーツなどの洗浄...

メーカー・取り扱い企業： Orbray株式会社

JOHNANの基板修理（基板解析・予防保全 ・基板複製 等）

長年、電子部品・電子機器の関わる基板設計、基板実装・組立で培った技術を…

当社は、様々な業界分野の装置・機器の故障でお困りのお客様に貢献します。 【当社のサービス】 ・解析修理サービス ・オーバーホールサービス（予防保全） ・基板複製サービス ・生産中止部品（EOL）調達サービス サービスに関わる詳細は、当社ウェブサイトをご覧ください。 https://www.johnan.com/repairs/ また、上...

メーカー・取り扱い企業： JOHNAN株式会社

BeagleBone Black用ソーラ／バッテリチャージャ基板

BeagleBone Blackを屋内外の無電源地域で利用できるように…

テキサス・インスツルメンツ社製のLinux／ARMシステム：BeagleBone Blackボードをバッテリー／ソーラーで運用するためのバッテリチャージャ回路基板の商品です。 本商品（OELBBBPWR01）とモバイルルーター、LANハブを併用すると便利です。電力線要らず、通信線要らずのBeagleBone Blackのケーブルレス化・無電源地域利用を実現...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社光電子技研

噴流式ガラス基板温調システム『クリスタルジェット』

温度管理の高精度化！大型基板への対応が可能な噴流式ガラス基板温調システ…

『クリスタルジェット』は、液晶パネル生産を支えるキーデバイスとして 広く世界中で採用されている噴流式ガラス基板温調システムです。 新たな空調システム“高効率顕熱空調機”を採用し、冷却のみでの 精密温度制御を実現。 レイアウトに合わせたカスタマイズが可能なほか、全面層流タイプや 小風量タイプな...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社朝日工業社 本店　エンジニアリング企画開発部

金 /銀 / アルミ / ITO コート基板

金 /銀 / アルミ / ITO コート基板 (スライドガラス / …

、半導体等、多種多様な研究用途に原子間力顕微鏡(AFM)、走査型電子顕微鏡(SEM)、透過型電子顕微鏡(TEM)他電子顕微鏡全般でご使用ください。 スライドガラスのみならずシリコンウエハや雲母基板もございます。金(Au)/銀(Ag)/アルミ(Al)/ITOコートがメインです。 高反射率の金蒸着スライドはSEMによる反射電子像【BSE(Back Scattered Electrons)】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和貴研究所 千葉県松戸市小金原7-10-25

基板修理サービス

メーカーサポート終了後で仕様書や回路図のない機械の故障原因を解析し、再…

当社は長年培ってきた基板修理技術を用いて、様々な業界分野の装置・機器の故障でお困りのお客様に貢献します。 ・メーカーサポート期間が終了して、メーカーに修理依頼できない ・仕様書や回路図がない ・基板や部品が焼損し...

メーカー・取り扱い企業： JOHNAN株式会社

スパッタリング装置『MiniLab-026』

小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…

ース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）。 フレキシブルにカスタマイズが可能な豊富なオプション部品を揃えております...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

紫外線反射防止膜(AR) 波長:350~410nmを効率よく透過

優れた紫外線透過率を実現し、ご利用予定の光源(高圧水銀ランプや各種レー…

はありませんか？ ・紫外線（UV-A）領域の反射を抑えたい。 ・365nmや405nmなど開始剤に反応する波長の透過率を上げたい。 ・UV領域は膜厚が薄く、制御が難しいと聞きましたが・・ ・基板、成膜材料が限られると聞きましたが、対応可能ですか？ ・成膜後の測定難易度が高いと聞いているが対応可能ですか？ ◆優れた紫外線透過性を実現します！ 多層の誘電体膜を成膜することにより、基板...

メーカー・取り扱い企業： 安達新産業株式会社 本社

≪はんだ・基板・溶融・ろう付≫加熱その場観察に好適【IR-HP】

チップ部品等の微小実装部品から基板（□100mm）、固体・粉末の溶融、…

■大型加熱観察装置「IR-HPシリーズ」の特長 チップ部品等の微小実装部品から基板（□100mm）、固体・粉末の溶融、ろう付け等のその場観察を実現します！ ▼特徴▼ ・サンプルだけの赤外線集光で基板などの試料を秒速高温均一加熱 ・クリーン加熱とクリヤーな加熱観察・簡単構...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社米倉製作所

小型スパッタ装置『SS-DC・RF301』

小型設計ながら性能はキープ！高温での基板加熱が可能なスパッタ装置

『SS-DC・RF301』は、2"マグネトロンカソードと基板加熱機構をそれぞれ 1基搭載した小型スパッタ装置です。 シンプルな設計により、事務机の約半分のスペースに設置可能。 基板上下機構を採用し、ターゲットと基板間の距離を任意に設定できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

ＰＴＦＥ製「ウェハー・基板・チップ用洗浄治具」

ウェハーや繊細な基板やチップなどの貴重なサンプルに傷をつけたり変形させ…

「NR1675　基板・チップ洗浄治具」につきましては、特注品対応も一品一様でお作りしております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロンケミカル 本社

海外製機器の基板修理（工作機械、業務用機器、理化学機器等）

海外製機器の不具合や品質トラブルに対応します。各種工作機械、業務用機器…

当社は、海外製機器の不具合、品質トラブルによる故障に対して解決策を提案し、修理致します。仕様書や回路図がない場合も対応可能です。様々な業界分野の装置・機器の基板修理に対応します。 （実績例）工作機器、業務用機器（液晶モニタ等）、印刷機器、理化学機器（研究ラボ機も含む）、厨房機器、縫製機器 等 また、上記サービス以外にも、様々な基板修理サービスを...

メーカー・取り扱い企業： JOHNAN株式会社

ホール洗浄機「RM-8」

コストパフォーマンスに優れたエアー洗浄機 ブラシと高圧エアーを使用し…

高圧エアーとブラシの併用で、基板の表面と穴の中を洗浄する装置です。 基板表面の凹凸の中のゴミを高圧エアーとブラシで除去します。 デモ機もご用意しておりますので、お気軽にお問合せください。 【RM-8特長】 ●強力な洗浄...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レヨーン工業

WETプロセス装置　枚葉スピンプロセッサー

装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現可能です。

WETプロセス装置 枚葉スピンプロセッサーは、基板をスピン回転及びスプレーにて洗浄/リンス後、高速スピン回転で乾燥を行ないます。 装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現することができます。（例：現像→エッチング→洗浄、乾燥） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

産廃費大幅削減、CO2白煙無し、磁力熱分解処理装置SWP-120

燃料不要電気のみ、月額約10万円、有害ガス排出無し、産廃費大幅削減、プ…

石油化学製品、プラスチック、樹脂製品、ウレタン、発泡スチロール、フィルム、シート、固化した塗装ゴミ、ゴム製品、プリント基板、電線、木材、梱包材、紙、売れ残った衣服、軍手、ウェス等ごみを燻焼処理しわずかな灰にしランニングコストが非常に低い、脱炭素社会に適した磁力有機廃棄物燻焼炭化炉装置SWP-120。従来のSWP-120...

メーカー・取り扱い企業： カッティングエッジ株式会社

小型スパッタ装置

対応基板は最大φ1インチまで処理が可能！デュアルガスノズルを備えた装置

カソードを搭載した 実験用高真空小型制膜装置です。 放電用にマッチングユニット付きのRF電源を一台装備。 酸化反応スパッタリングに対応できるデュアルガスノズルを備えます。 また、対応基板は最大φ1インチまで処理が可能です。 【特長】 ■1.3インチマグネトロンスパッタカソードを搭載 ■放電用にマッチングユニット付きのRF電源を一台装備 ■酸化反応スパッタリングに対応でき...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

卓上用クリーンローラーRYS-5296K／ホール洗浄機RM-8

小型ワークに好適なクリーンローラーとプリント基板の表面及び穴の中を洗浄…

96K』は、クリーンロールと粘着テープを採用し、コンパクトで 小さい小型ワークに好適な卓上タイプのクリーンローラーです。 また、「RM-8」は、高圧エアーの利用とブラシの併用で、 プリント基板の表面及び穴の中を洗浄する装置となっております。 低騒音（70dB未満）と省エネルギー性も優れています。 【RYS-5296K特長】 ■クリーンロールと粘着テープを採用 ■コンパクト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レヨーン工業

加熱工程ウエハホットチャック　PH050

最高温度300℃対応！小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレート。

加熱工程ウエハホットチャック　PH050は小型ウエハ・ガラス基板用ホットプレートです。ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。プレートはアルミ合金、黒アルマイト処理、レ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

G6乾燥機

9分割制御方式のため、基板上の温度管理を均一にできます

『G6乾燥機』は、LCD基板上に印刷された塗膜を基板裏面(反塗布面側) により加熱することで、ガラス基板を加熱乾燥させる製品です。 乾燥時に起きる、ピンムラ対策として、Φ1mmのワイヤーで 基板受け渡しを行います。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IPC

イオンアシスト蒸着用TELEMARKイオンソースシリーズ

イオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供します

TELEMARK製のイオンアシスト蒸着に最適なイオンソースを提供いたします。イオンアシスト蒸着（IAD）技術は余分な基板加熱なしに高密度で安定な成膜可能なプロセスです。TELEMARKのグリッドレスイオンソースシステムは独自のデザインのイオン源により、ガラス、プラスチック、金属の様々な基板で安定なイオンアシスト蒸着を...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

産廃費大幅削減可、CO2白煙無し　磁力熱分解処理装置SWP-80

電気代月額約7万円、燃料不要、有害ガス無し、産廃処理費大幅削減、タイヤ…

SWP-80は、石油化学製品、ゴム製品、樹脂製品、ウレタン、塗装ゴミ、プラスチックごみ、プリント基板、電線、木材、紙、食品等ごみを燻焼処理しわずかな灰にしてしまう、環境にやさしくランニングコストが非常に低い、脱炭素社会 / カーボンニュートラル社会に適合した磁力有機廃棄物熱分解処理装置。CO2、ダ...

メーカー・取り扱い企業： カッティングエッジ株式会社

工業用加熱炉

熱利用技術に精通した強みを生かし、各種工業炉に対応いたします。

【説明】触媒生産ラインの熱処理炉です。 触媒用熱処理炉（ターンテブル式） 【説明】触媒生産ラインの熱処理炉です。 ＯＡ部品加熱炉 【説明】各種ＯＡ機器部品の熱処理炉です。 基板加熱炉（連続式窒素雰囲気炉） 【説明】電子機器の基板を無酸素の状態で加熱する連続炉です。 ガラス管熱処理装置（電気式赤外線加熱方式） 【説明】ガラス管のアニール装置です。 鋼板熱処理...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社正英製作所

スピンコーター ACT-300A2 レンタル

株式会社リブテラステクノロジーズでは、アクティブ社製スピンコーターほか…

基板サイズ：～Φ150mm （Max.Φ6インチ、□110ｍｍ) ワーク（基板）の重量：300ｇ以下 カップ内径：Φ300mm 外形寸法：W350×D450×H扉閉325(扉開640)mm 電源：1Φ 100V-10A　50 / 60Hz 回転制御速度：0～6000rpm 回転精度：±1rpm以下 (負荷時) 基板吸着圧力：-70 ～ -80kPa 真空ポンプ排気量：12L/min以上...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リブテラステクノロジーズ

コンパクトレーザーMBE装置『PAC-LMBE』

扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用…

『PAC-LMBE』は、拡張性の高い超高真空レーザーMBE（PLD）システムです。 基板加熱ユニットとして、赤外線ランプ加熱と半導体レーザー加熱の いずれかを選択可能。6種類のターゲットが使用できます。 また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を 簡単交換...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パスカル

モバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』

スキャニングRHEEDを標準装備！モーター駆動コンビナトリアルマスクを…

『MC-LMBE』は、操作性の高いコンパクトな超高真空レーザーMBE（PLD） システムです。 1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニットを搭載。 モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着しています。 また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を 簡単交換できます。 【特長】 ■操...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パスカル

メンテフリーのPOCTや体外診装置の開発に、500万回耐久ポンプ

軽量、高精度、安価、高い耐久性を実現する新たなピストンポンプ 500…

時間最適化。ISO13485,FDA21 CFR Part820の要求を満たし、UL認可、RoHS法、REACH法対応 ・バリデーションやキャリブレーション不要（バックラッシュ補正構造） ・制御基板の有無を選択。（制御基板：コマンドで微妙な液体の動きを簡単制御。多彩なエラーログも自動発信） ・低コスト ・現状（2022年）でも短納期 ・圧力センサー：1μｌの液漏れ感知など ・コンパクト...

メーカー・取り扱い企業： テカンジャパン株式会社

多段乾燥機

加熱された基板を冷却します

『多段乾燥機』は、LCD基板上に印刷された塗膜を基板裏面(反塗布面側) により加熱することで、ガラス基板を加熱乾燥させる製品です。 冷却バッファー基盤供給と搬出を行うローダー・アンローダー移載用 ロボットにより構成さ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社IPC

クリーンステーション『FB-1590』

効率よく清掃・集塵！穴明・外形加工用プリント基板エアー吹付洗浄装置

『FB-1590』は、基板孔の粉塵除去に最適なプリント基板エアー吹付洗浄装置です。 手元を邪魔されないので効率よく清掃・集塵できます。 ダスト処理はビニール袋にて手を汚さずに簡単に処理が可能。 また、フードと集...

メーカー・取り扱い企業： 日本精密株式会社

【クリーンニング装置】ホール洗浄機『RM-8』

プリント基板の表面及び穴の中を洗浄！低騒音（70dB未満）と省エネルギ…

『RM-8』は、高圧エアーの利用とブラシの併用で、 プリント基板の表面及び穴の中を洗浄する装置です。 200Kgの重量で、サイズは、W1,280×D1,320×H1,070mm。 低騒音（70dB未満）と省エネルギー性も優れています。 【仕様】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社レヨーン工業

ナノ粒子生成装置「レーザーアブレーションシステム」(LA)

ターゲットにパルスレーザーを照射してナノ粒子を生成させる技術です。基板…

固体ターゲットにパルスレーザーを照射して数nmから数10nmのナノ粒子を生成させる技術です。減圧雰囲気中で基板への成膜、また流動化している粒子に対してのコーティングも可能です。また、任意の溶媒中でナノ粒子の分散したサスペンションを調製することも可能です。金属やセラミックス材料など無機物はもちろんのこと、医薬...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社奈良機械製作所

『基板洗浄装置』

小型洗浄から自動洗浄まで！培われた洗浄技術を駆使し、環境負荷低減を実現

『基板洗浄装置』は、島田テクノロジー株式会社が取り扱っている製品です。 半導体・フラットパネル分野で培われた洗浄・乾燥技術を駆使し、高品質・ 低ダメージなどさまざまな洗浄ニーズにお応えします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 島田テクノロジー株式会社

プラズマで密着性・接着性の改善、向上！【SURTECH 出展】

【粉体への表面処理や、金属同士の接着性など】プラズマにて表面処理をする…

攪拌しながら処理することにより、ドライ環境のまま微粒子表面を均一に表面改質することが出来ます。 ３方式のプラズマモードを選択可能で、目的の表面改質に合わせた好適なプロセスを実現出来ます。 【基板用平行平板プラズマ処理装置】 表面を粗面化することで、ノイズを出さずにメッキ処理が可能！ 無廃液化・低ランニングコストを実現。 「PC-RIEシリーズ」は、中型液晶基板、プリント基板等のアッシン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

コンパクト卓上スピンコーター（最小・最軽量クラス）

Ｒ＆Ｄ小型卓上スピンコーター。 ＭＡＸ２インチ用軽量コーター。真空ポ…

・小型卓上スピンコーター　（型式：labo-coat-2） ・安価な価格設定、コンパクト設計　 ・持ち運びが便利な軽量ハンディータイプ　 ・基板吸着テーブル：材質 デルリン ＊本体標準付属品。形状・サイズは変更可能。 ・吸着方式：真空ポンプ による吸着 ＊真空ポンプは本体内蔵されてます。 ・独自開発の制御基盤システムで...

メーカー・取り扱い企業： ネクス株式会社

積層薄膜作製装置

多層塗りによる厚膜の作製！スピンコータに液だれ防止が工夫されている装置

の変更、工程の保存が任意に出来るプログラムとなっております。 【特長】 ■スピンコーティング、乾燥、焼成をCPUシステムにより、任意に変更可能 ■各工程は、手動、自動、両操作が出来る ■基板形状は丸、角、両方出来る ■スピンコータに液だれ防止が工夫されている ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

ナノインプリンター『NM-0401』

4連続転写が可能！3種類のナノインプリント機能を備えたナノインプリンタ…

【仕様】 ■装置構成：装置本体(クリーンルーム対応)・冷却水循環装置 ■基板サイズ ・モールド：φ2インチ以下 ・試料基板：φ4インチ以下 ■基板温度調整範囲：20～200℃ ■ステップ&リピート：X,Y方向±15mm ■外径寸法（mm）： ・本体装置：630...

メーカー・取り扱い企業： 明昌機工株式会社

ホットプレート用チャンバー 「PHH-300型」

電子部品、基板等の信頼性評価、特性評価、バーンインなどに最適です。

ホットプレート用チャンバー 「PHH-300型」は、電子部品、基板等の信頼性評価、特性評価、バーンインなどに最適です。 【仕様カスタマイズ】 ○温度制御範囲　25～200℃、0.1℃単 ○温度分布　±1.5% ○プレートサイズ　300×200mm ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

2次元抵抗加熱蒸着装置

蒸着源はボートタイプ！基板は支柱上のプレートに取付けられており高さは任…

『2次元抵抗加熱蒸着装置』は、簡単に2つの材料を抵抗加熱により蒸着出来る 装置です。 蒸着源はボートタイプで、基板は支柱上のプレートに取付けられており、 高さは任意に変更可能。 排気系は、DPとRPを併用しておりますので、短時間で高真空が得られます。 【特長】 ■SUS製上チャンバーには、CF7...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

UVオゾンクリーナー

2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去！

『UVオゾンクリーナー』は、ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着 している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。 洗浄室内が0.02MPaの加圧状態に保持することができる安心の密閉構造です。 また、その他の機種では標準...

メーカー・取り扱い企業： フィルジェン株式会社

大面積/メートルサイズホットプレート 「PH20807型」

大型ガラス基板に対応したホットプレートです。

大面積/メートルサイズホットプレート 「PH20807型」は、大サイズのガラス基板、素材関連の評価、製造プロセス、試験工程用として、さまざまな加熱工程に適用可能です。 ホットプレートの設置面への固定方法などもカスタム対応いたします。 【仕様カスタマイズ】 ○温度制御範囲...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社MSAファクトリー

Pbフリー対応フラックス洗浄システム”マイクロクリーナー”

高品質を要求される電子回路・電子部品の洗浄に！　Pbフリー対応フラック…

【洗浄装置】 ●MC3HD-1.5E● 寸法：1230x850x1200mm 電源：三相　200V 16A 洗浄処理能力：A5サイズ約10枚/hr 適用基板サイズ：200x165mm(max.) ●MC3HD-6E● 寸法：2000x1200x1810mm 電源：三相　200V 58A 洗浄処理能力：A5サイズ約40枚/hr 適用基板サイ...

メーカー・取り扱い企業： 化研テック株式会社

低VOC一液フラックス洗浄システム　マイクロクリーナーECO

電子回路・電子部品のフラックス洗浄！高品質だけでなく環境とコスト（Ec…

【洗浄装置】 ●MC2HD-2PE● 寸法：1253x800x1290mm 重量：200kg 電源：三相　200V 20A 洗浄処理能力：A5サイズ約25枚/hr 適用基板サイズ：200x165mm(max.) ●MC2HD-5PE● 寸法：2300x1200x1800mm 重量：400kg 電源：三相　200V 61A 洗浄処理能力：A5サイズ約80枚...

メーカー・取り扱い企業： 化研テック株式会社

femto-Spotter＜FS-100M-sysDA＞

高精度アライメントデスクトップ型！自動検出機能で確実な塗布を実現

o-Spotter」の塗布システム、 高精度アライメントデスクトップ型『FS-100M-sysDA』をご紹介します。 正確なアライメントを実現する高精度ビジョンシステムを搭載。 様々な基板に対応できるステージシステムで、柔軟なプログラミングで 種々の基板へ正確に塗布を実現します。 【特長】 ■正確なアライメントを実現する高精度ビジョンシステムを搭載 ■様々な基板に対応でき...

メーカー・取り扱い企業： DiNOV株式会社

XYテーブル『XY-500Nシリーズ』

サンプルの固定に好適！測定ニーズに合わせて3種類からお選びいただけます

『XY-500Nシリーズ』は、最大荷重1000Nまで対応の薄型XYテーブルです。 X方向・Y方向にサンプル位置の微調整が可能。 基板など細かい位置合わせが必要なサンプルの圧縮・引張測定に好適で、 測定ニーズに合わせて3種類からお選びいただけます。 【特長】 ■X方向、Y方向にサンプル位置の微調整が可能（XY-500N-...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イマダ

【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置

小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全て…

【GB対応 MiniLab-026/090主仕様】 ◉ 基板サイズ：最大Φ6"(026）、最大Φ10"（090） ◉ チャンバ：SUS304製 UHV対応（*090はスライドドア式, 背面メンテナンスドア） ◉ 19inch制御ラックは作業ベンチ下に収納...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

卓上型サーマル式 / プラズマ支援 原子層堆積（ALD）装置

Arradiance社製卓上型ALD装置　卓上型ながらプラズマユニット…

ラズマ・ガス入力を備えた300W空冷ダイレクトICPプラズマヘッド 最大300°Cまで調整可能なリアクター(反応器)温度 低蒸気圧用の材料供給加圧アシスト機能付き 試料ステージは直径200mm基板まで選択可能 450℃加熱ステージも選択可能 Arradiance GEMFlowソフトウェアは、 扱いやすく、成膜レシピの作成も簡単に行えます。 温度、ガス流量、高速ALDバルブ、高周...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイチ・ティー・エル HTL（エイチティーエル）