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57件 - メーカー・取り扱い企業
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PRしらす加工場の６０%に納品実績あり！オーダーメイド乾燥機
当社は、しらす工場の約6割に納品実績があり、多種多様な乾燥機を製造しております。 製茶加工における熱風乾燥の機器・装置をはじめとして、水産加工・食品加工のプラントなど、幅広い業種で熱風乾燥機の技術を生かした製品を創り出しています。 例えば、食品加工の分野は、お客様の製造する食品ジャンルは様々。インスタント食品の野菜や薬味、穀物などの乾燥機や、練り製品の加熱冷却装置など、いずれも製品はオーダ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社河村バーナー製作所
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PR各種ナノ粒子の超精密合成、大量生産ができます。
ULREA（アルリア）シリーズは2枚のディスク間にできるマイクロメートルオーダーの間隙を反応場、晶析場として応用した湿式法・連続式の反応装置です。 金属、合金、酸化物、複合酸化物、有機顔料など各種ナノ粒子の超精密合成・表面処理と大量生産が容易に実現できます。 その他、マイクロスフェア、ナノスフェアも容易に創製可能です。 【ULREA（アルリア）の特長】 1. 確実なスケールアッ...
メーカー・取り扱い企業： エム・テクニック株式会社
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非接触三次元測定装置
非接触三次元測定装置
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法
発生ガス濃縮装置はチャンバー内に入れた試料から発生したガスを捕集管にトラップさせる装置です。捕集管にトラップすることで微量の脱ガス成分を濃縮し、GC/MSで高感度に測定できます。試料の種類に合わせて、適したサイズの...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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樹脂やカーボン素材等、有機系の分析に強い装置を揃えました。
2018年4月2日、MSTは最新型の加工・分析装置を導入し非破壊分析サービスを開始します。電子デバイス・医薬品・食品の製品開発・品質管理など幅広い分野を対象に分析サービスを提供します。 非破壊分析は、製品を破壊することなく内部の状態を可視化す...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TD-GC/MSにより部材に付着した微量の有機汚染を分析します。
精密機器や真空装置、半導体製造装置においては、用いられる部材の汚染により製品の品質や装置の安定稼働に悪影響を及ぼすことがあります。本事例では種類の異なる使い捨て手袋でガラス部材を扱い、ガラス部材に付着した有機汚染を発...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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【分析事例】GC/MSを用いた発生ガス分析及び高分子材料の同定
熱分解GC/MSの原理とアプリケーションについて
熱分解GC/MSは、試料導入部に熱分解装置を設置したガスクロマトグラフ質量分析計です。 複雑な前処理が必要であった高分子材料についても、熱分解装置でサンプルを加熱分解することにより前処理無しでGCに導入して分析を行うことができます。 ま...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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【分析事例】TDSによる α-アルミナ（α-Al2O3）の分析
セラミックスの昇温脱離ガス分析
熱的に安定なα-アルミナは耐熱材料、半導体パッケージ、半導体製造装置の部品など、幅広い用途で 利用されており、中でも緻密質のα-アルミナは真空装置の部材としても用いられます。しかしこのような 部材が昇温された際に発生するガスは製品や装置に悪影響を及ぼすことがある...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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Fluorescence lifetime measurement
質の蛍光寿命を測定することにより発光過渡現象をよりダイナミックに把握できます。このため、蛍光寿命測定は有機EL材料などの有機材料、太陽電池、光触媒、生化学等の物性研究における有効な手段の一つです。本装置では、ピコ秒レーザーと分光器及びストリークカメラを組み合わせることにより、ナノ秒やマイクロ秒スケールの時間分解フォトルミネッセンス（ＰＬ）スペクトル測定、及び、蛍光寿命測定が可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TOC計は、試料中の全炭素量 、全有機体炭素量、無機体炭素量（IC：を…
試料中の全炭素量（TC：Total Carbon） 、全有機体炭素量（TOC：Total Organic Carbon)、無機体炭素量（IC：Inorganic Carbon）を評価することができる装置です。 ・有機成分含有量を全有機炭素量（TOC）として評価可能 ・液体試料と固体試料の測定が可能 ・全炭素量（TC：Total Carbon）、無機体炭素量（IC：Inorganic Ca...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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X線CTにより部品の非破壊観察・厚さ分布解析が可能
X線CT分析では、部品の構造や寸法を非破壊で比較・調査することが可能です。本資料では、真空装置に使用されているゴム製のOリングの測定事例を紹介します。ガスがリークしている長時間使用品を調査するため、Ｘ線CT分析および三次元画像解析を行い、新品のデータと比較しました。その結果、長時間使用品は局...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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真空中での有機物からの脱ガス挙動を調査可能です
エポキシ樹脂は半導体封止材として、また真空装置内外で接着剤や真空リーク対策として使用されています。しかし硬化後であっても加熱により脱ガスが発生する場合があり、製品や装置に悪影響を及ぼす可能性があります。TDS（昇温脱離ガス分析法）は高真空中（1...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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複数手法の分析結果より、複合的に評価
製造装置や部品に付着した異物は、製造品の不良や装置動作の不具合などに影響する場合があります。 異物を適切に分析・評価することで発生原因を究明し、不具合を改善することができます。本資料では、Siウエハ表面に...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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異物検査装置との座標リンケージ機能で特定異物の評価が可能
異物検査装置で確認された異物の成分をクリーンルーム設置のTOF-SIMSで特定することが可能です。 CMP洗浄後の異物を評価し、着目の異物から、Cuと炭化水素成分を検出しました。異物周辺には、広範囲で同じ成分...
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微小領域を狙った測定が可能
製造装置や部品に付着した異物は、製造品の不良や装置動作の不具合などに影響する場合があります。異物を適切に分析・評価することで、発生原因を究明し、不具合を改善することができます。 本資料では、金属部材上に付...
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『X線・超音波を用いた非破壊分析の基礎と事例』※希望者全員に進呈
非破壊分析の手法（超音波顕微鏡法・X線CT法）の基礎的な解説や、代表的…
【受託サービス分析対象】 ◎LSI・メモリ ◎パワーデバイス ◎光デバイス ◎電子部品 ◎太陽電池 ◎二次電池 ◎燃料電池 ◎照明 ◎ディスプレイ ◎製造装置・部品 ◎酸化物半導体 ◎バイオテクノロジ ◎医薬品 ◎化粧品 ◎日用品 ◎食品 ◎環境 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。...
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AI技術でCT画像のメタルアーチファクトを低減し画像解析精度を向上！
成の最適化を行った事例をご紹介します。 本技術によりアーチファクトを低減することができ、より鮮明な内部構造評価が可能です。 測定法：X線CT、計算科学・データ解析 製品分野：電子部品、製造装置・部品、LSI・メモリ、日用品 分析目的：形状評価、構造評価 【特長】 ■メタルアーチファクトによって遮られた構造を鮮明に観察可能 ■樹脂と金属の両方をCT観察する場合に有用 詳し...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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表面の付着成分(ポリジメチルシロキサンなど)をTOF-SIMSで評価で…
す。本資料では、付着成分として代表的なポリジメチルシロキサン（PDMS）について、保管環境が異なるSiウェハ表面の比較を行った例を紹介します。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：電子部品・製造装置・部品・その他（エレクトロニクス全般） 分析目的：表面分析・化学結合状態評価・故障解析・不良解析・その他（汚染評価、品質管理） 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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【分析事例】有限要素法による強誘電体キャパシタ金属の応力評価
昇温・降温時の異種材料間にかかる応力分布を定量化できます
W、Pt、HZOなどの線膨張係数が異なる材料から構成される積層構造において、降温時に各層に生じる応力を評価しました。 測定法：計算科学・AI・データ解析 製品分野：LSI・メモリ・電子部品・製造装置・部品 分析目的：形状評価・構造評価・応力・歪み評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TOF-SIMSは複数成分の広域イメージング評価が可能です
SIMSは通常500μm角までの測定視野となりますが、ステージを動かしながら測定することで、広域の分布評価を行えます。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：デバイス、ディスプレイ、電子部品、製造装置 分析目的：定性、イメージング、組成分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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洗浄効果評価や汚染物質の同定が出来ます
物を揮発させGC/MSで測定することができます。付着している成分の同定や洗浄前後での付着量の比較、また洗浄方法の違いによる洗浄度合いの比較をするのに有効です。 測定法：GC/MS 製品分野：製造装置・部品 分析目的：組成評価・同定 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価と酸化膜厚評価
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能
物状態として分子情報を高感度に得ることで、表面数nm～数十nmの酸化物の分布を得ることができ、イメージ分析によって空間的な分布を評価することが可能です。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：製造装置・部品 分析目的：化学結合状態評価・組成分布評価・腐食層の膜厚 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TEM_SEMによる有機EL_OLED_ゲート酸化膜の断面観察
低加速STEM観察により、低密度な膜でもコントラストがつきます
をはっきりつけることができます。密度差・平均質量差・組成差が小さい有機EL膜・Low-k膜・ゲート酸化膜・TEOS膜・BPSG膜などに適用できます。 1) TEM専用機に比べて加速電圧が低いSEM装置によるSTEM観察 測定法：TEM・SEM 製品分野：LSI・メモリ・ディスプレイ・太陽電池・照明 分析目的：形状評価・膜厚評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせくださ...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TOFーSIMSによる剥離面の汚染源の特定
次イオンを検出し、剥離面に存在した成分が何由来なのかの情報を得ることができるため、剥離原因、及び工程の調査に有効です。 測定法：TOF-SIMS・ピーリング・解体 製品分野：LSI・メモリ・製造装置・部品 分析目的：化学結合状態評価・故障解析・不良解析 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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金属組成評価として、始めにXRF分析での元素スクリーニングをお勧めしま…
ーダーの広範囲にて面分析を行うことで材料中の金属元素の分布をおおまかに調べ、特徴的な箇所のXRF点分析結果から元素組成を算出することで金属材料の推定を行いました。 測定法：XRF 製品分野：製造装置・部品・日用品 分析目的：組成評価・同定・組成分布評価・故障解析・不良解析 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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ダイヤモンドライクカーボン(DLC)やグラフェンの深さ方向分析が可能
おり、表面側では窒素が含まれるC層、奥側でCのみの層となっていることが分かりました。この方法を応用して、グラフェン膜の深さ方向分析も可能です。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：電子部品・製造装置・部品 分析目的：組成評価・同定・組成分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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洗浄成分の分布の可視化や深さ方向の分布の評価が可能
本資料ではZr酸化物からなるセラミックス表面のぬれ性に寄与する洗浄成分について、表面分布および深さ方向分布をTOF-SIMSで評価した事例を紹介します。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：製造装置・部品 分析目的：定性・分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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GDMSを用いて77元素を同時に分析することが可能です。
ため、マトリックスに関わらず含有元素が不明な試料の不純物分析に有効です。本資料では、GDMSを用いてFeCoNi合金の不純物分析を行った事例をご紹介します。 測定法 ：GDMS 製品分野 ：製造装置・部品 分析目的 ：微量濃度評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TOF-SIMSでは無機材料の変色原因のイメージングが可能
効です。 本資料ではAl酸化物のセラミックス変色部分をTOF-SIMSで分析し、イオンイメージとラインプロファイルで変色原因を示した事例を紹介します。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：製造装置・部品 分析目的：組成分布評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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ICP-MS, GDMSにより基板表面と内部とを切り分けて分析
て注目されているSiC基板について、基板表面に付着した不純物をICP-MS、基板中の不純物をGDMSで分析した事例をご紹介します。 測定法：ICP-MS・GDMS 製品分野：パワーデバイス・製造装置・部品 分析目的：微量濃度評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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成膜条件の違いによる膜の微細構造の変化を捉えることが可能です
酸化アルミニウムは優れた耐摩耗性、耐熱性などの性質から各種産業用機械・製造装置用部品などに用いられています。 また、化学的安定性や高い絶縁性も有していることから、その薄膜は触媒の担体や磁気トンネル接合の絶縁層などにも用いられています。成膜条件によってアモルファス構造や様々な...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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分析事例】XRDを用いた負荷印加前後における金属材の残留応力測定
非破壊で引張・圧縮応力を定量することが可能です
るかを調べる重要な方法の一つです。XRD（X線回折法）では、格子面間隔を測定することで残留応力を求めることが可能です。本資料では引張試験用にアルミニウム板の左右をＶ字加工した試料を作製し、引張試験用装置で引張負荷を印加する前後の残留応力の比較および、印加後の試料で残留応力の分布を確認した事例について紹介します。なお、残留応力値はsin2ψ法を用いて求めています。 詳しくは資料をダウンロード、...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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無機材料の親水・撥水箇所に特徴的な有機物の分析ができます
要です。 本資料では、表面が撥水加工されているZr酸化物セラミックス材料において、撥水性低下の原因をTOF-SIMSを用いて評価した事例を紹介します。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：製造装置・部品 分析目的：組成評価・同定 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察
Csコレクタ（球面収差補正機能）付きSTEM装置により、超高分解能観察（分解能0.10nm）が可能となりました。原子量に敏感なHAADF※-STEM像は多元系結晶構造を直接理解できる有効なツールです。今回、酸化物半導体中微粒子の評価を行いましたの...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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部材同士を接触させ、実プロセスに近い環境での脱ガス評価が可能
の脱ガスは、ボイドの原因となることが知られています。 以下に、銅板にはんだを乗せた状態でTDS分析(昇温脱離ガス分析)を行った事例を紹介します。TDSは部材の加熱に伴う脱ガスを評価可能です。TDS装置内で銅板とはんだを接触させ同時に加熱することで、実プロセスに近い環境での脱ガスを捉えることができました。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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真空環境下における有機物の脱ガス成分を評価可能
TDSは真空環境下で試料を昇温し、脱離したガスをモニターする手法です。有機物の測定を行う場合、多量の脱ガスによる装置汚染で測定が困難となる場合がありますが、あらかじめ試料量や分析条件を調整し脱ガス量をコントロールすることにより、分析が可能となります。 以下に有機フィルムについて、TDS分析を行った結果を示します...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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白色LED中のチップ、蛍光体の発光特性の確認
体（主に黄色）を光らせることにより白色を演出しています。そのため、発光特性の向上や劣化原因の調査においては半導体チップ・蛍光体それぞれの発光特性の確認が必要です。 顕微フォトルミネッセンス（PL）装置は微小な領域を狙っての発光特性を確認することが可能です。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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製品に悪影響を及ぼすガスを確認できます
エッチングガス等の腐食性ガスは、半導体や電子部品、装置等の劣化に大きな影響を与えます。 以下に、TDS(昇温脱離ガス分析法)を用いて腐食性ガスを捉えた事例を示します。腐食性ガスであるHClが、試料の昇温に伴って脱離することが確認されました。 TDS...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TDSにより有機膜からの脱ガス成分評価、温度依存性評価が可能です
TDSは高真空中（1E-7 Pa）で試料を昇温し、試料から脱離するガスを質量分析計を用いて調査する手法です。真空装置であるため有機物の多量の脱離を嫌いますが、試料量を調整することによりTDSで評価が可能です。 レジスト膜についてTDS分析を実施した例を以下に示します。有機物、水、H2S、SO2などレジスト膜起因...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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Csコレクタ付STEMによる原子レベル分解能EDX分析
TEMの球面収差を補正したCsコレクタ付TEM装置を用いることで、高分解能で素子の断面構造観察を行うことができます。 本事例ではCIGS薄膜太陽電池の光吸収層の高分解能(HR)-STEM観察とEDX元素分布分析を行ったデータを紹介します。4種類の...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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【分析事例】カールフィッシャー電量滴定法における試料導入方法
カールフィッシャー滴定法
カールフィッシャー電量滴定法は水分量を評価する方法であり、試料の性状に応じて装置への導入方法が異なります。ここでは電量滴定する際の二つの試料導入方法を紹介します。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TEM：透過電子顕微鏡法
球面収差補正機能(=Csコレクタ)つきSTEM装置では、原子レベルでの高分解能観察･高感度分析が可能です。分解能は約0.10nmです。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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照射X線により発生する蛍光X線を検出し、エネルギーや分光結晶で分光する…
・測定範囲の全エネルギー（Na～U）が同時に短時間で測定可能 ・未知試料の分析に適している ・非破壊分析 ・特殊な試料を除き、前処理不要、大気中での分析が手軽に行える ・ハンドヘルド型の装置で動かせない大型試料の元素分析が可能 ...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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純水やウエハ洗浄液等、様々な溶液の高感度分析が可能です
ウエハ洗浄工程で使用した洗浄液中の金属量や、装置や建屋に併設された配管内を通る純水中の金属量など、ICP-MSは溶液中の金属量を高感度に分析することができます。また、溶液の種類も純水・酸・アルカリ等、各種対応でき、分析する金属元素の濃度領域はpp...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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雰囲気制御下での処理 クライオ加工 冷却 SEM： 走査電子顕微…
チウムイオン二次電池材料や、加工・観察時の熱で変質する有機系材料等の試料は、TEM・SEMを用いて本来の構造を観察することが困難でした。 大気暴露することなく（雰囲気制御）FIB付き高分解能SEM装置で観察することで、粒子や電解質等の本来の状態を知ることが出来ます。また冷却にも対応しており、熱による変質も抑えることが可能です。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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ICP-MS：誘導結合プラズマ質量分析法
ICP-MSを用いたSiウエハ表面の金属汚染評価の目的には、Siウエハ自体の汚染評価以外にも、半導体装置内の汚染評価、Siウエハ暴露による作業環境場の評価などもあり、Siウエハ表面の分析は様々な目的で行われます。ICP-MS分析ではSiウエハ表面の金属汚染量を高感度に取得でき、さらに目的に応じて評価領...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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数μmの深さまで深さ方向分析を行います
XPSは表面敏感な手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能です。 XPSでは深さ方向の組成分布に加えて結合状態の評価も可能なため、装置部材表面の変色の原因調査などに適しています。 本資料ではターボ分子ポンプの羽の変色部について、XPSで評価した事例を紹介します。...
メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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PR
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【ユーザーインタビュー】再生医療技術研究を加速させた測定装置とは
期待の再生医療技術ダイレクトリプログラミング研究を加速させた測…
シスメックス株式会社 再生医療事業分野 -
凍結乾燥機の試験乾燥
フリーズドライ装置導入を検討されているお客様へ試験乾燥実施中で…
日精株式会社 本社