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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-111
100nm分解能で位置決め!リニアエンコーダによる位置フィードバックで再現性が取れる!
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)…
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-411
50nm分解能で位置決め!フィードバック制御で再現性に優れ、検査効率向上に!
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制…
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-414
50nm分解能で位置決め!ロングステージ向けコントローラ
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて50nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)制…
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サブミクロンフィードバックステージコントローラ FC-114
100nm分解能で位置決め!ロングステージ向けコントローラ
サブミクロンフィードバックステージと組み合わせて100nm分解能位置決め装置として使用できます。 ステージに内蔵されているリニアエンコーダからの位置情報をもとにフィードバック(フルクローズドループ)…
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総合フィードバックステージシステムカタログ(大気・真空)第5版
リニアエンコーダでナノメートル分解能・高再現性・高保持性を実現したステージ!百mmオーダーのストローク!
シグマテックが設計・製造・販売を行っている、大気用高分解能位置決め装置及び真空対応高分解能位置決め装置 (フィードバックステージシステム)の総合カタログ。 フィードバックステージ ・ フィードバック…
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サブミクロンフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)
サブミクロン分解能で位置決め!エンコーダ内蔵で再現性に優れ、20~400mmストロークのステージ
■高分解能、再現性 コントローラ内蔵のモータードライバーによりサブミクロン分解能でステージを動作させ、 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御しているため、 高分…
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