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PR抗バイオフィルム試験(ISO4768)準拠試験、様々な目的に沿った分析…
当社で行っている「抗バイオフィルム試験」についてご紹介いたします。 「洗浄液などのバイオフィルムの分解効果を評価したい」「サンプルの バイオフィルムを作らない最小濃度を決めたい」などの目的に沿った バイオフィルムに関連した評価試験をご提案。 また、分析で使用する菌種は、大腸菌をはじめ、緑膿菌、黄色ブドウ菌、 表皮ブドウ菌、ミュータンス菌ですが、その他の菌種での分析や採取 した菌...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社同仁グローカル
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細胞培養液成分を最大16項目同時測定する分析装置!分析解説資料有
PR【細胞培養液分析解説資料進呈】最大16項目を4分30秒で同時測定・分析…
『BioProfile FLEX2』は、細胞培養液成分を最大で16項目同時分析可能な細胞培養環境自動分析装置です。 わずか4分半で代謝・増殖・分化などの培養状況を数値化でき「細胞製造プロセスの継続判断」「大量生産を見据えた培養環境づくり」「GMP対応に向けた品質管理・基準の文書化」などの効率化に貢献します。 複数の形状のサンプル容器を備え、必要な検体量は135~265μLと少量。化学物質、ガス測定...
メーカー・取り扱い企業: ノバ・バイオメディカル株式会社
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微小領域の面分析による分布の均一性評価と有機物の同定・推定
ているか均一に分布しているかの違いで異なります。そこで、TOF-SIMSを用いて、フッ素系化合物の分布の観察を行いました。その結果、不均一に分布していることがわかりました。また、1μm角の領域で定性分析を行うこと で、フッ素系膜はKrytoxであることがわかりました。 測定法:TOF-SIMS 製品分野:電子部品・日用品 分析目的:組成評価・同定・組成分布評価 詳しくは資料をダウ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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高い再現精度で評価可能
デバイスの微細化により、極浅い領域における不純物の深さ方向分布評価が必要とされています。正確な評価を行うためには、通常よりも低いエネルギー(1keV以下)の一次イオンビームを用いたSIMS分析が必要になります。今回、B+を低エネルギーでイオン注入したSiウエハを1keVの酸素イオンビームを用いて、日をまたいで、6回測定した結果から算出したBの面密度の相対標準偏差は3%以下であり、極浅い不...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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液体試料中の陽イオン成分の分析が可能です
ンを起こして不良となることが考えられるため、マイグレーションを助長する成分を評価することが重要です。 本事例ではイオンクロマトグラフィー(IC)を用いて、プリント基板から溶出した陽イオン成分の定量分析を行った事例を紹介します。このようにICは固体試料表面の腐食成分の評価に有効な手法です。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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薄膜の表面吸着ガス、膜中からの脱離ガスを評価可能
Si基板上SiN膜に関するTDS分析結果を示します。 100℃近傍までの低温域では脱ガスが少なく、試料の表面に吸着成分が少なかったことが分かります。 一方、試料の温度が上昇するに従い、m/z 2(H2)、m/z 18(H2O)、m...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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導結合プラズマ(ICP)を励起源として用いた無機元素分析の手法です
ICP-MSは溶液を分析するため、固体分析では作製が難しい標準試料を比較的容易に調製することが可能です。そのため、溶液中の極微量な無機元素を精確に定量する場合に頻繁に用いられています。 ・高感度・低バックグラウンドな...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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特定の質量イオンを解離・フラグメント化させ、質量分析計で検出
GDMSは固体試料の組成について、主成分から微量成分まで同時に分析し、試料内に存在する不純物の半定量分析を行う手法です。濃度換算には装置付随の相対感度係数(RSF)を使用します。分析値は主成分元素と目的元素のイオン強度と、RSFから算出した値であり、半定量値です。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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雰囲気制御下での測定面出し加工により成分の変質を抑制
有機ELを搭載した市販のデジタルオーディオプレーヤーについて、雰囲気制御下で測定面を出すことで加工による変質を抑えて、成分の定性分析を行いました。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であるこ…
試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です。 スパッタイオン源を用いて、深さ方向に無機・有機物の分布分析が可能です。 ・有機・無機化合物の構造解析・同定が...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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SIMS:二次イオン質量分析法
SIMSによる半導体素材SiGeの不純物の定量・組成評価では、分析時に下記を考慮する必要があります。 ●Ge濃度に応じた適切な定量補正を行わないと不純物定量値は本来の値に比べて50%以上異なることがある。定量評価を行うためには各組成に応じた標準試料が必要。 ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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イオンを検出器で検出し、定性・定量をおこなう分析手法です
液体クロマトグラフィー(LC)は、クロマトグラフ法の一種に分類され、液体状のサンプルをクロマトグラフィーの原理により成分の分離を行います。ここで分離された成分の検出を質量分析計で行うものを液体クロマトグラフィー質量分析法(LC/MS)と言います。 LC/MSは有機化合物の定性・定量を行う分析手法です。 ・分子量が比較的大きいまたは極性が比較的高い成分の分析に有効...
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二次イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含ま…
す。SIMSは、これらの粒子のうちイオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含まれる成分の定性・定量を行う手法です。 ・高感度(ppb~ppm) ・HからUまでの全元素の分析が可能 ・検出濃度範囲が広い(主成分元素から極微量不純物まで) ・標準試料を用いて定量分析が可能 ・深さ方向分析が可能 ・数~数十nmの深さ方向分解能での評価が可能 ・数μm角までの微小領...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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発光特性の解析から試料の比較が可能です。
トルは励起波長、蛍光波長、蛍光強度の3種類の情報を持ち、蛍光指紋とも呼ばれます。蛍光光度計は感度が高く、また3D蛍光スペクトルは情報量が多いという特徴を有しており、食品や化粧品、日用品、環境排水等の分析への応用が期待されています。3D蛍光スペクトルの解析に多変量解析を使用することで、データの次元を圧縮・削減し特徴を可視化して捉えることが可能です。本資料ではその一例として、オリーブオイルについて分析...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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急冷凍+SEM観察により、粒子が分散している様子を画像で確認! ★第…
状態の変化や粒子の変形が起こるため、どのように分散しているのかを調べるには不向きな測定法です。 MSTでは、液体試料内で微粒子がどのように分散しているかを直接評価するため、クライオ加工+SEM分析(クライオSEM分析)を行って評価が可能です。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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光沢面・つやなし面の違いを評価
アルミホイルは、2枚重ねでローラーによって圧延し製造され、ローラーに接する外側は光沢面に、アルミ同士が接した内側はつやなし面になります。それぞれの面の極表面に存在する成分を比較しました。 PDMS(シロキサン)、BHT(酸化防止剤)、DOP(可塑剤)、アミン(m/z 182, 242)、アミド(m/z 256, 284)、カルボン酸(m/z 255, 283)など一般的な有機物系二次汚染物質は見...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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アウトガス中のシロキサンをngオーダーで定量します
シリコーン製品からアウトガスとして発生するシロキサンは、揮発しやすく基板等に付着しやすい成分です。シロキサンが付着すると、光学系レンズの曇り、膜の剥離や密着不良、リレー回路の接点障害などの悪影響が出ることが知られており、シロキサンのアウトガス量を調査しておくことは重要です。 本資料では、シリコンチューブを200℃で加熱した際の環状ジメチルシロキサンの発生量を調査した事例を紹介します。。...詳し...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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有機成分を壊さず深さ方向分析が可能になりました! 従来より空間分解能…
有機ELの小さな画素など狭い領域を狙って測定を行う場合、従来のTOF-SIMS測定では深さ方向の評価が困難でした。 MSTでは測定条件を改良することで、有機成分を壊さず狭い領域の分析が可能となりました。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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【分析事例】熱分解GC/MSダブルショット法による添加剤の同定
TG-DTAとGC/MSを用いた複合解析
TG-DTA(熱重量-示差熱)分析とGC/MS分析を併用することで、最適な温度条件を選んで未知の高分子材料及び含有する揮発性有機化合物をそれぞれ同定することが可能です。市販製品のプラスチック部分の熱分解温度を調べ、熱分解温度以下での...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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Ni/Auめっきの昇温脱離ガス分析(TDS)
る場合があります。めっき膜に含有されているガスについて調査するには、高真空中で試料を昇温させて脱離したガスを測定できるTDSが有効です。 SUS部材上にNi/Auめっきを施した試料について、TDS分析を行った結果を示します。めっき膜からH2, HCN, H2S, HClの脱離が確認できました。また、定量値の算出を行いました。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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容易に広い領域の結晶情報を得ることが可能
EBSDを利用して結晶性試料の方位解析ができる手法です。 電子回折法より容易にかつ広い領域の結晶情報を得ることができます。 EBSP:Electron Backscatter Pattern、SEM-OIM、OIMとも呼ばれます。 ・単一結晶粒の面方位の測定が可能 ・測定領域の配向測定が可能 ・結晶粒径観察が可能 ・双晶粒界(対応粒界)観察が可能 ・特定結晶方位の抽出が可能 ・...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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故障箇所を迅速に特定
EMSは、半導体デバイスの異常動作に伴い発生する微弱な発光を検出することで、故障箇所を迅速に特定できる手法です。EMMS、PEM、EMIとも呼ばれます。 ・測定波長領域(可視域から近赤外域)に対して透明な材料のみ評価可能 ・クラック・結晶欠陥・ESDによる酸化膜破壊・Alスパイクによるショートなどの内部の欠陥を低損傷で捉えることが可能...発光源としては、空間電荷領域でのキャリアの電界加速...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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OBIRCHは、光を当てることによって発生する欠陥箇所の熱により、抵抗…
OBIRCHは、光を当てることによって発生する欠陥箇所の熱により、抵抗が変化することを利用して、異常箇所の特定を行う手法です。 ・配線やビア内のボイド・析出物の位置を特定可能。 ・コンタクトの抵抗異常を特定可能。 ・配線ショート箇所を特定可能。 ・DC電流経路を可視化。 ・ゲート酸化膜微小リークを捉えることが可能。...1.レーザを被観察領域に走査する。レーザ照射された配線部位は温度...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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【分析事例】有機薄膜太陽電池電極界面および有機膜の分散状態評価
雰囲気の影響を最小限に抑えた総合的な評価解析が可能です
有機デバイスは酸素や水に影響されやすい材料を使用したデバイスです。MSTでは雰囲気の影響を最小限に抑えたサンプル搬送・加工方法・測定環境を整え分析を行っており、より真に近い状態評価が可能です。XPS分析で有機膜と電極の界面の状態評価を評価しました。有機膜表面に存在するチタニアの組成、結合状態を確認できます。TOF-SIMS分析でバルク・へテロ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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高分子フィルムの水酸基評価
XPSにて定量することが可能です。PVA中のアルコール基を無水トリフルオロ酢酸(TFAA)によって化学修飾して評価した事例を紹介します。 測定法:XPS・化学修飾 製品分野:電子部品・日用品 分析目的:組成評価・同定・化学結合状態評価 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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結晶構造から活物質の劣化状態を評価
in situ(オペランド)XRD測定を行うことで、各充電状態(SOC:State of Charge)の結晶構造評価も可能です。 測定法: XRD・Raman・SEM, 製品分野:二次電池 分析目的:組成評価・同定、組成分布評価、形状評価、構造評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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電池セルの作製・劣化試験・解体・劣化による状態変化の調査まで一貫評価
液にLiPF6/EC:DECを用いて作製した電池セルを60℃の恒温槽にて4.2V充電状態で約1週間放置する劣化試験を行いました。その後、Ar雰囲気中で解体・洗浄し、負極グラファイトのTOF-SIMS分析を行いました。 試験前ではバインダおよび電解質塩由来のフラグメントが確認され、試験後では電解質塩の劣化により生成したと考えられるLi3PO4やPF3OおよびLi2CO3由来のフラグメントが確認され...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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アルコール消毒前後でマスク表面の形状を比較
で観察した結果を紹介します。アルコール消毒後では、繊維の形状が変化し、また消毒前の特徴的な凸形状が少なくなっていることがわかりました。 測定法: SEM 製品分野:日用品、ウイルス対策関連品 分析目的:形状評価、構造評価、劣化調査・信頼性評価、製品調査 詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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赤外吸収法により非破壊で格子間酸素・炭素濃度を定量
シリコン単結晶中の格子間酸素及び炭素原子濃度をFT-IR分析により非破壊で求めることが可能です。透過法により測定したスペクトルの格子間酸素または炭素による吸収のピーク高さから算出します。 算出方法は、電子情報技術産業協会(JEITA: Japan Elec...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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酸化物デバイスにおける局所元素分布を酸素同位体を用いて高感度に評価
酸化物ReRAMでは、電場印加に伴う酸素拡散がメモリ動作(抵抗変化)と関連しているとされていました。 SIMS分析では同位体を測定可能であるため、同位体18Oイオン注入技術を利用すれば、酸素拡散の追跡が可能となります。18Oを局所的に注入した素子に対し、電場印加により動作領域となるブリッジ構造を形成し、元素マッ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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汚染成分を同定し、汚染発生工程を推定
な種類が存在します。汚染原因調査の際、フッ素系の種類の定性を行うことで、原因となった工程を調べることが可能となります。そこで、表面敏感なTOF-SIMSを用いて水はじきのよい場所に何が付着しているか分析を行いました。 各工程で使用しているフッ素系のオイルは、種類によってフラグメントパターンが異なることを利用し、指紋照合を行ったところ、工程Bのオイルに相当する物質が付着していることがわかりました。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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微小・極薄の残渣をイメージとして捉えます
が高い、熱耐性がある等)が進み、腐食性が大きくなり、残渣の問題も重要度を増しています。そのため、フラックスを除去することが求められています。プリント基板電極部の異物について、TOF-SIMSを用いた分析を行った結果、フラックスの成分が検出されました。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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切断できない大きな部品でも表面汚染を適切にサンプリングして測定
Al材表面に水はじきのよいシミがあることがわかりました。そのシミ部をテープに付着(転写)させ、TOFSIMSで分析を行いました。 「シミ部を転写させたテープ表面」からは、「Al材表面のシミ部」と同じフラグメントが検出されており、シミの原因物質がテープに転写されているものと考えられます。このように、原因物質をテ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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Slice&Viewデータから各物質の体積計算が可能
粒子などミクロンオーダーの体積計算を行うことが可能です。これにより、一定体積中の各物質の存在比率や平均体積等の情報を得ることができます。 本事例ではリチウムイオン二次電池正極のSlice&View分析結果から活物質の体積を計算し、存在比率を算出した事例をご紹介します。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TEM:透過電子顕微鏡法
透過電子顕微鏡での電子回折法は、試料への電子線の入射の仕方によって3つに分類されます。それぞれの特徴とデータ例を示します。評価対象物のサイズや分析目的に応じて、適切な手法を選択する必要があります。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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サンプルを加熱することによって生じる重量変化・示差熱・熱量および揮発成…
。 重量の増減とDTAによる熱的変化から酸化還元、熱分解、吸脱着、蒸発、揮発などの状況を測定することができます。 ■DTA:Differential Thermal Analysis(示差熱分析) 基準物質とサンプルを同時に加熱し、両者の温度差を熱電対によって測定し、連続的に記録します。温度差の変化から、熱的変化の有無や反応の種類がわかります。 ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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適切なサンプリングと顕微測定で異物周辺情報の影響を軽減
サンプリングを併用した顕微FT-IR分析が有効な異物の評価事例を紹介します。 下地の影響がほとんど無い電極上異物はフラックスと同定されましたが、プリント基板上異物からは異物由来の情報が取得できませんでした(図1)。無機結晶上にサンプリン...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギ…
EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測し、元素分析や組成分析を行う手法です。EDS: Energy Dispersive X-ray Spectroscopyとも...
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サンプル冷却により充電後のSi負極の構造を評価可能
Siは高容量負極活物質の候補の一つですが、充放電時の非常に大きな体積変化のためにサイクル劣化が激しいと言われています。今回、充電後のSi負極の状態を確認するために、雰囲気制御環境下で解体して冷却FIB加工を行い、SEMにて断面形状を観察しました。室温で断面観察を行った場合は、膜の収縮・観察面の荒れ・孔発生等の大きなダメージが見られる一方で、冷却しながら観察を行うことでSi負極の変質を抑えて試料本来...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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表面汚染を除去してXPSによる評価を行います
XPSは表面敏感な手法のため、大気等による有機付着物由来のCが主成分レベルで検出されます。こういった有機付着物由来のCの影響を減らすことは、膜本来の組成を評価する上で重要です。 通常、有機付着物の除去にはArイオンスパッタを用いますが、スパッタによるダメージにより膜本来の組成,結合状態が評価できない場合があります。Arイオンスパッタを使用せず、表面酸化層をウェットエッチングを用いて除去することで...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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XRD・XAFSによる複合解析で、より詳細な評価が可能
high-k材料や強誘電体として注目されているHfZrOx膜は、結晶構造によって誘電率等の物理的性質が大きく変化することから、結晶構造の同定・各結晶構造の含有割合の算出が重要な評価項目です。 通常XRDやXAFSによって評価可能ですが、一方の手法だけでは詳細な解析が困難な場合でも、これら2つの手法を組み合わせることでより詳細な情報が得られます。今回、XRDとXAFSの複合解析によって、HfZrO...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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DSC(示差走査熱量)測定による熱物性評価
二液混合型のエポキシ樹脂について、DSC(示差走査熱量測定法)を用いて硬化温度及び耐熱性の指標となるガラス転移温度(Tg)を調査しました。硬化前の樹脂をDSC測定したところ、約103℃付近から急激な発熱反応が開始するのが確認されました(図1)。これは昇温加熱により樹脂の重合(硬化)が起きたためです。更に、硬化後の樹脂を室温まで空冷した後、再度DSC測定したところ、樹脂のガラス転移に起因するベースラ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TOF-SIMSによる高分子・樹脂・フィルムの表面改質層の最表面の評価…
細胞培養シャーレの表面では、細胞の密着性(接着性)を高めるために、疎水性のプラスチック表面を親水性に変える処理が行われています。今回、親水処理を行ったシャーレの表面についてXPS,TOF-SIMSで評価した結果、OH,CHOが増加していることがわかりました。XPSで定量的な評価を行い、TOF-SIMSで定性的な評価を行うことで、表面がどのように変化したかを捉えることが可能です。 ...詳しいデー...
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サンプルを冷却しセパレータの形状をより正確に評価
電池の主要構成材料であるセパレータは、この材料の多孔性・形状等が電池の特性・安全性を左右します。現在主流のポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、あるいはその複合材料等高分子系材料は軟化点が低くPEでは125℃程度、PPでは155℃程度となります。軟化点の低いPP製のセパレータ構造観察において、試料の冷却を行って変質を抑えて評価した事例をご紹介します。...詳しくは資料をダウンロード、または...
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ミクロンからセンチオーダーの異物・汚れをイメージとして捉えます
液晶パネルの量産化において、欠陥(異物・汚れ)を除去することが求められています。そこで、原因となる異物・汚れが何に起因するか調査することは、歩留まり向上に有効です。 液晶パネルの異物・汚れを評価した事例を紹介します。TOF-SIMSではμm~cmオーダーの洗浄残渣をイメージとして捉えることが可能です。また、標準スペクトルとの比較により、成分の推定が可能です。...詳しいデータはカタログをご覧くだ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TOF-SIMSにより表面付着物成分を同定します
粘着テープの残渣は、製造工程において密着不良・剥離の原因となります。不良の原因として残渣が疑われる場合、表面付着物の成分とその分布を調べることができるTOF-SIMSが有効です。 粘着テープをSiウエハ表面に張り、剥がした後のSiウエハ表面および粘着テープの表面をTOF-SIMSで測定した事例をご紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...
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XAFS:X線吸収微細構造
配向性有機膜である自己組織化単分子膜(SAM膜)は表面の濡れ性や吸着性といった膜の機能・物性が配向性・配向角によって変化します。 放射光を用いたXAFSでは、ピーク強度のX線入射角依存性を解析することで有機膜材料の配向性・配向角の評価を行うことが可能です。...詳しいデータはカタログをご覧ください...
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EBSD:電子後方散乱回折法
TEM(NBD:Nano Beam Diffraction)のような薄片化加工を行うことなく、バルク状態での測定が可能です。 SEM特有の高い空間分解能を持ち、比較的高い歪み感度を持っています。 また、局所的な格子歪みをテンソルデータとして検出できる可能性があります。...詳しいデータはカタログをご覧ください...
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XRD:X線回折法
2次元検出器を用いて測定を行うと、回折角(2θ)に加えてあおり方向(χ)の情報も同時に得られます。観測される2次元回折像は材料の結晶性や配向性などの特徴を可視化することが出来るため、配向性が特性に影響する材料の評価に有効です。...詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。 ...
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FIB:集束イオンビーム加工
試料から直接小片を取り出し(マイクロサンプリング)、FIB加工を行うことができます。...詳しいデータはカタログをご覧ください...
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電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定…
EELS分析とは、電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定する手法です。物質の構成元素や電子構造を分析することができます。 TEMに付属している元素分析装置(EDX)と比較して、...
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基板側からの測定ができるように基板を削って薄片化
二次イオン質量分析法(SIMS)では、試料表面の凹凸、イオン照射により表面側に存在する原子が奥側に押し込まれるノックオン効果やクレーター底面粗れ等の現象により、急峻な元素分布を得られない場合があります。この問題を解決...
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ご依頼から納品までの流れをまとめました。
49-2525まで、お気軽にどうぞ。 ↓ ◆お打ち合わせ・お見積もり MST営業担当があなたの元へお伺いして打ち合わせ後、お見積書を発行します。 ↓ ◆サンプル受け渡し 分析する材料・製品は、お打ち合わせ時に直接お預かり可能です。 宅配便でお送りいただくことも可能です。 ↓ ◆分析 熟練の専門スタッフが分析を行います。 ↓ ◆速報データ 分...
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Cuスペクトルの複合解析
Cu2p3/2スペクトルとCuオージェスペクトル等の解析から、Cu表面の結合状態・定量評価・膜厚評価が可能です。 主な応用例として、Cu配線のCMP処理・洗浄の評価、Cu電極の錆・変色調査が挙げられます。 以下、各種処理を施したCu表面状態および酸化膜厚についてまとめます。 (クリーンルーム環境下にて処理し、直後に測定を行うことが可能です。)...詳しいデータはカタログをご覧ください...
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【分析事例】Li二次電池負極の充放電サイクル試験後の劣化評価
電池セルの作製から充放電サイクル試験から解体、劣化成分量の調査まで
二次電池の劣化のメカニズムを調べる際に、電極表面の付着物を解析することが重要となっています。MSTではサンプルを雰囲気制御下でTOF-SIMS測定を行いますので、電極最表面の化学状態を大気暴露による変質無く評価することが可能です。 また、充放電サイクル試験から電極表面の測定まで一貫して行うことで、充放電の状態と電極表面の付着物の状態の相関を調べることができます。...詳しいデータはカタログをご覧...
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太陽電池(PV)の組成評価や同定・膜圧評価・形状評価・結晶構造評価など…
極直下のドーパントの濃度 分布を定量的に評価した事例、成膜したCIGS薄膜の組成について、ICP-MSで 高精度に定量した事例、CIGSとCdSがヘテロエピタキシャル接合している様子 などを、分析図・構造図・模式図などの各種データを掲載して、わかりやすく ご紹介しております。 ■その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...
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分析を行うサンプルをMSTにお送りいただく際の送り方をまとめました。
◆ウェハ ・元素分析 枚葉ケース・FOSB・チップケースなどでお送りください。 ・有機汚染評価 できれば、同一試料を2枚ご用意いただき、測定面同士を合わせて、アルミホイル艶消し面で、二重に包んでください。 ...
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試料表面(数nm程度の深さ)の元素の種類・存在量の評価
存在する元素の種類・存在量に関する知見を得る手法です。 ・固体材料の表面(深さ数nm)の定性・定量が可能 ・微小領域(数十nm~サブミクロン程度)の定性・定量が可能 ・主成分元素の深さ方向分析・線分析・面分析の測定が可能 ・SiやAl等、幾つかの元素については酸化物状態及び金属状態の評価が可能 ・SEM像による着目箇所の特定が可能...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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試料表面(数nm程度の深さ)の元素の種類、存在量、化学結合状態評価に有…
ESCA : Electron Spectroscopy for Chemical Analysis とも呼ばれています。 ・固体表面(約2~8nm)の元素の定性・定量が可能 ・化学結合状態分析が可能 ・非破壊で分析が可能 ・深さ方向分布(イオンスパッタを併用)の測定が可能 ・絶縁物の測定が可能 ・雰囲気制御下での測定が可能...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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XRDは、回折パターンから試料の結晶構造情報を得る手法です。
・結晶性物質の同定が可能 ・結晶子サイズの評価 (数nm~100nm)が可能 ・結晶化度の評価が可能 ・配向性の評価が可能 ・歪み量・応力の評価が可能 ・非破壊で分析が可能 保有装置の特徴 ・室温~1100℃までの加熱分析が可能 ・ビーム径100μmまでの微小部測定が可能 ・N2、He、Ar、真空での雰囲気制御が可能 ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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高速液体クロマトグラフ法(HPLC)は、液体中の成分を固定相と移動相の…
・有機酸のような高極性で比較的低分子な化合物も分析可能 ・脂質など低極性化合物も分析可能 ・ポストカラム法を用いることで、分離しきれなかった夾雑成分の影響を除くことが可能 ・高分子の定量および分子量分布測定が可能...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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IP法は、研磨法の一種でイオンビームを用いて加工する方法です
きに試料表面から試料原子が弾き飛ばされるスパッタリング現象を利用して、試料表面を削り取る方法です。 イオン種は通常試料との化学反応の心配のない希ガス(MSTではAr)が用いられます。加工面のAES分析では遮光板成分(Ni,P)は検出下限以下でした。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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