マイクロリアクターULREA（アルリア）シリーズ

PR各種ナノ粒子の超精密合成、大量生産ができます。

ULREA（アルリア）シリーズは2枚のディスク間にできるマイクロメートルオーダーの間隙を反応場、晶析場として応用した湿式法・連続式の反応装置です。 金属、合金、酸化物、複合酸化物、有機顔料など各種ナノ粒子の超精密合成・表面処理と大量生産が容易に実現できます。 その他、マイクロスフェア、ナノスフェアも容易に創製可能です。 【ULREA（アルリア）の特長】 1. 確実なスケールアッ...

メーカー・取り扱い企業： エム・テクニック株式会社

凍結乾燥機の試験乾燥

PRフリーズドライ装置導入を検討されているお客様へ試験乾燥実施中です！

弊社では、フリーズドライ装置導入を検討されているお客様を対象に試験乾燥を実施しております。 試験機を実際に見ながらご説明し、ご質問等にお答えします。 今までにも製薬会社様、食品会社様、化粧品会社様など、多くのお客様が試験乾燥を実施してきました。 ご興味のある方はお気軽にお問い合わせください。...共和真空技術株式会社の工場は埼玉県熊谷市にございます。 様々な試験機を設置している東工...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置『P-500』

新設計により視認性と機能アップ！自動化装置・遠隔操作用装置に適していま…

『P-500』は、10^-2Pa～10^-4Pa以下の高真空からイオンポンプ又は ノーブルポンプを運転する制御装置です。 表示は緑色の大型LEDを採用し、離れた位置からの視認性を向上。 従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS適合を 実現しています。 充実したI/0機能に加...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ピラニゲージ（Niフィラメント）『M-351PG』

再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応し…

ピラニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など さまざまな装置にお使いいただけます。 【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

キヤノンアネルバ株式会社　会社案内

社会の発展に貢献！超真空技術を用いた高付加価値製品を提供

当社は、1967年の設立以来今日まで長年培った真空技術や成膜加工技術で、 真空薄膜製造装置や真空コンポーネント製品の開発・製造・販売・サービス事業を 展開しております。 「真空技術で未来を拓く」をテーマに掲げ、高付加価値製品を お客さまへ提供し、市場の発展に貢献してまいりました...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力…

クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせた 　コンビネーションゲージ ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空バリアブルリークバルブ

全金属製で450℃までのベーキングが可能！広範囲にわたりガス流量の調節…

『超高真空バリアブルリークバルブ』は、導入ガス流量の調節を 必要とする真空装置に使用する製品です。 調節可能最少リーク量が6.7×10^-9Pa・m3/sec以下と きわめて微少流量領域からのガス導入が可能。 また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですの...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

四重極型質量分析計『M-101/201QA-TDM』

高度な分析に対応する優れた基本性能！低ガス放出のイオン源を採用したトラ…

QA-TDM』は、高感度・高機能で低ガス放出を実現した PC制御専用の四重極型質量分析計です。 検出器に2次電子増倍管を使用し、イオン化電圧、エミッション電流の 細かい設定が可能。薄膜製造装置のガス分析から加速器ガス分析等 幅広く使用されています。 また、当社では各種真空装置の残留ガスモニタに適した低価格版の 「M-070QA-TDF」もご用意しております。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『電流端子』

超高真空領域まで使用可能！熱的特性・機械的特性・電気的特性に優れていま…

ジに溶接した、 各種『電流端子』を揃えております。 これらの端子は、絶縁特性がよく機械的および熱的に丈夫で、 しかもリークのおそれがないという特性を持っています。 そのため、超高真空装置や熱的負荷の大きい装置に用いられ、 高い信頼性を得ています。 【特長】 ■実績あるロー付け技術とICFフランジにより、高温のベーキングに対応 ■熱的特性・機械的特性・電気的特性に優れてい...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ガス導入バルブ『951-7179 インレットバルブ』

軸シールにベローズを使用！ガス導入時大気の混入する心配がありません

『951-7179 インレットバルブ』は、真空装置内に特定ガスを 導入するための製品です。 軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、 真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用。 高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ICF付接続部品(フィッティング・アダプタ)

ICFフランジ付きで超高真空まで使用可能！種類が豊富ですので、用途に合…

装置を組み立てるにあたり、配管接続のためいろいろの素子を用います。 当社の取り扱う接続素子は、ICFフランジで接続する系列のもので、 超高真空装置本体およびそのあら引き系に使用されています。 フイッティング、メタルアダプタ、ガラスアダプタ、φ15アダプタの ラインアップがあります。 【特長】 ■種類が豊富 ■用途に合わせて使用可能 ■ICFフランジ付き ■超高真空まで使用可...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

透過密閉型 マイクロフォーカスX線源『G-311シリーズ』

ターゲットの回転調整が不要！高解像度で高速撮影を可能にする工業用非破壊…

『G-311シリーズ』は、高輝度で高拡大率、素早い画像取得が 可能な透過密閉型マイクロフォーカスX線源です。 ターゲットの回転調整が不要で、装置稼働率が向上。 立上げ時の長い待ち時間が解消され、長期保管後の エージングが不要です。 【特長】 ■海外運用に対応 ■高倍率で高撮影スループット ■計画的な装置保守に貢献 ■1...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』

豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能！電源電圧は特注も対応いた…

『M-723HG、M-823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する 豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。 真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や APC（自動圧力制御）で有効なレンジホールド機能を標準装備。 「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージの コン...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ワイドレンジ電離真空計『M-833HG』

高真空～超高真空装置搭載に好適！最大4ヶのオプションボード取付け可能で…

『M-833HG』は、ミニチュア B-A ゲージ専用のコントロールユニットです。 オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードを用意。 ミニチュア B-A ゲージと TC ゲージ（オプション）のコンビネーション及び、 ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、 大気圧～超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。 【特長】 ■見やすい液晶表...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』

圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換！ワイドレンジ電離真空計

は、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。 入力電圧はワイド電圧。 外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、 CEマーキング、RoHSに対応しています。 自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロセス圧力の測定、 制御などにご使用いただけます。 【特長】 ■外部入出力 ■RS-232C通信機能を標準装備 ■入力電圧はワイド電圧 ■CEマーキング...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『真空スイッチ』

大気とのシールは溶接構造なので、超高真空に接続可能！各種真空系の制御信…

N・OFF2点制御信号が得られ、作動圧力の変化もわずかです。 また、真空側はすべてSUS-304を使用しており、大気とのシールは溶接構造 なので高真空に接続可能。 そのため、自動化真空装置等の保護及び安全回路用スイッチとしても 使用できます。 【特長】 ■単極双投接点を備えている ■作動圧力の上限または下限において、ON・OFF2点制御信号が得られる ■真空側はすべてS...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空部品『直線導入機』

構成部品はすべて非磁性体！真空側と大気側をベローズで完全に遮断したベロ…

運動を導入するため、操作中での リークの心配がありません。 【特長】 ■真空側と大気側とを、ベローズで完全に遮断したベローズ式直線導入機 ■構成部品はすべて非磁性体なので、磁気を嫌う真空装置系に適している (954-7626、7627は除く) ■全機種共ハンドル1回転で1mmの直線移動量で、ハンドル目盛りは20等分 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

透過密閉型 マイクロフォーカスX線源『G-511シリーズ』

先端半導体パッケージの非破壊検査に対応可能な 高解像度の X線源

は、素早い画像取得ができ、ターゲットの 回転調整不要の透過密閉型マイクロフォーカスX線源です。 ウォーミングアップは3分以内で立上げ時の長い待ち時間を解消。 X線管寿命の自己診断機能で、計画的な装置保守に貢献します。 【特長】 ■ 110kV昇電圧1秒以内 ■ ターゲットメンテナンスフリー ■ ウォーミングアップ3分以内 ■ X線管寿命の自己診断機能 ■ オプションで1秒以下のパルス出力が可...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

あら引きバルブ『Vシリーズ』

小型化と低価格を実現！高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブ…

『Vシリーズ』は、10^-4Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。 真空シールおよび軸シールにふっ素ゴム(バイトン)Oリングを使用。 高真空装置用バルブ、超高真空装置のあら引きバルブとして好適です。 また、圧空駆動式バルブに使用しているエアーシリンダは、開閉用の ポジションセンサスイッチを装備しています。 【特長】 ■10^-4...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

超高真空L型ポリイミドバルブ

ポリイミド樹脂を使用！最高300℃までの繰り返しベーキングに耐えること…

リイミドバルブ』は、10^-8Pa程度の超高真空領域まで 使用できる製品です。 真空シールには耐熱温度が高くガス放出の少ないポリイミド樹脂を使用。 150℃以上のベーキングを伴なう超高真空装置用バルブとして適しています。 また、バルブボディにはオーステナイト系ステンレス鋼を、軸シールにも オーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを使用しています。 【特長】 ■10-8Pa程...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社