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20件 - メーカー・取り扱い企業
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アブソデックス(ABSODEX) AX1R/2R/4R・AXD
PR軸受けやブラケット等を別途設置する必要なく負荷をダイレクトに取り付ける…
簡単にインデックステーブルの装置を作ることができるので、 設計工数と組立工数を削減し、生産設備のシンプル化と生産効率UPに貢献します。 【生産設備のシンプル化】 複数の部品を組み合わせて構成したインデックステーブルの機構をアブソデックス1つで置換え可能。 部品点数・設計工数の削減や、省スペース・センサレス・メンテナンスフリーなど、生産設備のシンプル化に貢献。 【フレキシブル動作】...
メーカー・取り扱い企業: CKD株式会社
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PR【記録用紙発行(印刷)記録と回収記録を管理可能】文書管理クラウド『Pe…
データインテグリティ規制において記録用紙の発行/回収管理が強く求められています。 具体的には、以下です。 1)発行した文書へ一意の識別子を割り当て、発行者、日時および発行部数を台帳に記録する 2)記録後、書き損じや未使用を含む全ての印刷物を回収管理する 上記のように、記録用紙を管理するのはかなりの手間がかかります。 Perma Documentでは、記録用紙の発行/回収管理が...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社野村総合研究所
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表示器(1ch/3chタイプ)『M-601GC/603GC』
RS232Cインターフェース標準装備!優れた操作性で見やすい3タイプ表…
『M-601GC/603GC』は、トランスデューサ型真空計シリーズ対応表示器です。 大型デジタルLCD表示で見やすく、操作性も大幅に向上。 現場の利便性に追求した様々な工夫が詰まっています。 用途に合わせて1chタイプと3chタイプがご選択いただけます。 【特長】 ■ゲージ自動認識 ■大型デジタルLCD表示 ■RS232Cインターフェース標準装備 ■優れた操作性 ■見...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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取付場所の選定が容易!プロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が…
『ミニチュアゲージ』は、ガラス製ゲージ球の大きく 割れ易いという欠点を除いた金属製の小型ゲージ球です。 取付場所の選定が容易で、さらに感度や測定範囲等の ゲージの性能を損なうことなく小型化(従来の1/20当社比)。 到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの 圧力計測が1つのゲージで行なえます。 【ラインアップ】 ■MG-2 ■MG-2M ■MG-...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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部品交換のみの容易なメンテナンス!1台2役でシステムのコストダウンや管…
『M-361CP』は、大気圧~中真空を測定するピラニゲージと、 高真空~超高真空を測定するコールドカソードゲージを 組み合わせたコンビネーションゲージです。 1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムの コストダウンや管理負荷低減に貢献。 また、部品交換のみの容易なメンテナンスです。 【特長】 ■測定安定性の改善 ・新開発の放電アシスト機能によりピラニとコールドカソードの切替不良...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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高精度、低真空領域において優れた再現性!大気圧から超高真空まで広い圧力…
『M-336MX』は、低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミ...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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優れた再現性で測定が可能!熱源(フィラメント)を持たない真空計
『M-320XG』は、大気圧から1×10^-2Paまでの広い範囲にわたって、 信頼性の高い測定ができるクリスタルゲージです。 水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用し、 はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能。 あら引きゲージとしての用途以外に、チャンバの大気圧ベントの検出用の 圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定など...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲(1~80…
プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1~80amuであり、2.0Pa以下(差動排気系不要)の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。 プロセス中の品質管理や残留ガス分析などにご活用ください。 【特長】 ■プロセス中に高感度で水素を検出 ■広い圧力...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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POWER Ecoシリーズ 高性能省エネルギー型クライオポンプ
小型に加え中・大型もラインアップ!性能・省エネルギー両面で大きな優位性…
POWER Ecoシリーズの当製品は、省エネルギーの観点から、消費電力や 冷却水量を低減することを目的として開発された高性能省エネルギー型の クライオポンプです。 冷凍機の高効率化やマルチウエーブ制御により、コンプレッサ1台で運転可能な クライオポンプの台数が増えているため、1台あたりの消費電力や冷却水量が 格段に低減されています。 【特長】 ■省エネ・省資源に有効[消費電力...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2~1/3!水…
『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、 大排気速度を安い価格で得られます。 また、油など有機物は全く使用しておりませんので、油汚染のない 超高真空が得られ、運転操作が簡単で停電の場合にも無人運転ができます。 【特長...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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先端半導体パッケージの非破壊検査に対応可能な 高解像度の X線源
『G-511シリーズ』は、素早い画像取得ができ、ターゲットの 回転調整不要の透過密閉型マイクロフォーカスX線源です。 ウォーミングアップは3分以内で立上げ時の長い待ち時間を解消。 X線管寿命の自己診断機能で、計画的な装置保守に貢献します。 【特長】 ■ 110kV昇電圧1秒以内 ■ ターゲットメンテナンスフリー ■ ウォーミングアップ3分以内 ■ X線管寿命の自己診断機能 ■ オプションで1...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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高真空~超高真空装置搭載に好適!最大4ヶのオプションボード取付け可能で…
『M-833HG』は、ミニチュア B-A ゲージ専用のコントロールユニットです。 オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードを用意。 ミニチュア B-A ゲージと TC ゲージ(オプション)のコンビネーション及び、 ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、 大気圧~超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。 【特長】 ■見やすい液晶表...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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吸気口径8~12インチの小型タイプ!ヒータレスで安全な高速再生を実現し…
POWERシリーズの当製品は、実用的な排気性能やマルチ運転での温度安定性を 向上させた高性能型のクライオポンプです。 振動加速度の平均値は従来に比べ約10分の1以下(当社比)。 マルチ運転時に1台のポンプのみ再生しても、極端に起動時間が長くなる ことはなく、運転環境による起動時間の変化を最小限にしました。 【特長】 ■ヒータレスで安全な高速再生を実現 ■実用性に優れた起動...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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ボタン操作1つで機器の立ち上げから測定までが可能!高い感度、安定性、応…
『HELENシリーズ』は、小型、軽量、可搬性をコンセプトに開発した ポータブルタイプのヘリウムリークディテクターです。 機動性を重視したコンパクトタイプの「M-212LD」やダイヤフラム ポンプを搭載した「M-212LD(-D)」、ハイパワーの「M-222LD」 など、さまざまな製品をご用意。 業界でも高レベルの感度、安定性、応答性を実現しています。 【特長】 ■イージー...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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2種類のイオン源から選択可能!高速測定/高感度測定が可能な四重極型質量…
キヤノンアネルバ株式会社では、質量数410amuまで測定が可能な 高性能・高機能の四重極型質量分析計を取り扱っております。 m/Z=1~410を1秒間隔でデータ取得できる「M-401QA-MGSY/MUSY」や 8桁のダイナミックレンジで高感度の「M-401QA-MGHY/MUHY」をご用意。 UHV型(かご型)、ガス導入型(箱型)の選択が可能なほか、 低ガス放出のイオン源を採用...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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【高コスパ】キャパシタンスゲージ/コールドカソードピラニゲージ
各種真空システム搭載に好適な真空計
■『キャパシタンスゲージ』は、高精度で安定した絶対圧力を測定できる温度補正型の隔膜真空計です。 優れたゼロ点の安定性、低温度依存性、優れた対振動性が特長です。 ■『コールドカソードピラニゲージ』は、堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)とピラニゲージを組み合わせ、 大気圧から高真空まで広い圧力測定範囲を持つコンビネーションゲージです。 ※詳しくはPDF資料をご覧い...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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構成部品はすべて非磁性体!真空側と大気側をベローズで完全に遮断したベロ…
『直線導入機』は、真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、 圧力が10^-8Pa以下の超高真空領域まで使用できます。 オールメタルなのでハードベークが可能。超高真空系に適しています。 ベローズの伸縮を利用し真空内に直線運動を導入するため、操作中での リークの心配がありません。 【特長】 ■真空側と大気側とを、ベローズで完全に遮断したベローズ式直線導入機 ■構成部品は...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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圧力センサ部に小型シリコンMEMSチップを採用。外部環境からの影響を最…
温度補正型の隔膜真空計、キャパシタンスゲージ『M-342DG』 【特長】 ■高精度で安定した圧力測定 ・優れたゼロ点安定性 ・低温度依存性 ・優れた対振動性 ■コンパクト・低消費電力 ・質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト ・消費電力0.5W ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【ラインアップ】 ■M-342DG-1...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』
豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能!電源電圧は特注も対応いた…
『M-723HG、M-823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する 豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。 真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や APC(自動圧力制御)で有効なレンジホールド機能を標準装備。 「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージの コンビネーション及びゲージの自動切替を行うオー...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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無振動・無騒音!被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心…
『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超高真空、...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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特別な制御回路は必要なし!被排気系側への油回転真空ポンプ油の逆流を防止
『V-025SV』は、主に油回転真空ポンプの吸気口に取り付けて使用します。 カットバルブとベントバルブの機能を装備。停電や誤操作などによる ポンプ油の逆流防止に役立ちます。 駆動源には油回転真空ポンプで発生する真空力を利用します。従来の 自動バルブのような圧縮空気およびそのための配管は不要です。 (ポンプが動作していない状態ではバルブは開きません。) 【特長】 ■ポンプ油...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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優れた測定安定性!未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減しま…
『M-370CG』は、熱フィラメントを使用しない堅牢な コールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)です。 高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現。 優れた測定安定性で、未放電による測定停止、 圧力表示値のフラツキを低減します。 【特長】 ■高真空下での良好な起動性 ■未放電・放電遅れを解消 ■容易なメンテナンスでメンテナンスは部品交換のみ ※詳しくはPDF資...
メーカー・取り扱い企業: キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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アレルゲンの迅速なふき取り検査に!『アレルゲンアイ シリーズ』
食品製造ラインのアレルギー物質残留を、ふき取り検査で迅速に確認…
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