食品工場・卸のデジタル化は衛生管理から！タブレットで簡単入力！

PR衛生管理を含むすべての間接業務をトータルで効率化。デジタル化をじっくり…

『ezHACCP（イージーハサップ）』《プレミアム版》は、パソコンやタブレットで食品関連事業者の効率化を支援するためのクラウドサービスです。 衛生管理計画の作成や日々の記録の継続は大変な作業ですが、 本ソフトならどなたでも簡単に取組むことが可能。 1日の操作も数分で終了しますので、煩わしい業務が格段に効率化します。 また、面倒な準備は一切不要で、衛生管理計画の作成から 実施状況の記録や管理まで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフナーズ

精度の高い熱風調整が可能な熱風発生器

PR要望に合わせた技術仕様でカスタム設計！より精度の高い熱風調整やコントロ…

『熱風発生器』は、当社の基幹技術です。 今まで培ったノウハウと実績をもとに、お客様のご要望に合わせた技術仕様で カスタム設計を行い、より精度の高い熱風調整やコントロールが可能です。 【熱風発生器ラインナップ】 ＜直下式熱風発生器（バーナー）＞ ■エネルギー効率が高い ■800℃程度の高温まで対応 ■熱風にバーナーの燃焼排ガスを含むので、加熱物の用途が限定される ＜間接式熱風...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社河村バーナー製作所

高温マスフローコントローラ　MC-3000L-TC series

多彩な機能を持った高性能デジタルマスフローコントローラMC-3000L…

の特許技術で1.0％F.S.の高精度を実現した、1.125インチサイズの高温用デジタルマスフローコントローラです。 水蒸気などの高温ガス制御に最適です。 【特長】 ○RoHS対応 ○使用温度120℃、ベーキング温度150℃（非通電）が可能 ○デジタルインターフェイスRS-485を装備 ○独自特許技術のセンサを搭載 ○高温対応・高精度のデジタルMFC ※その他機能や詳細につい...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

在庫あり！調湿ガス供給装置『Humi Cruise』

温度5～85℃における湿度10～90％を無結露・高精度で制御。既設の分…

『Humi Cruise』は、分析装置や試験装置への ガス媒体を通じた水分供給が可能な調湿ガス供給装置です。 二温度分流式湿度発生法を用いた制御方式により、氷点下環境試験から 自動車分野向け85℃／85％rhの環境試験、 高温環境での水分制御などに対応可能。 また、新素材の開発、バイオ・高分子研究や静電気対策...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社第一科学

デバイスネット対応マスフローコントローラ　MC-5000L

デバイスネットDeviceNet対応の超高性能マスフローコントローラで…

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデバイスネット対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デバイスネットインターフェイスのデジタルマスフ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

全自動運転に対応！調湿ガス供給装置『Humi Cruise』

結露防止機能で長時間運転を実現！供給用保温ホースとの一体化でコンパクト

◎燃料電池の評価試験 ◎細胞や有機物の低温高湿試験 ◎水分によって影響のある繊維・紙・毛髪を対象とした試験　…など 【仕様】 加湿方法：飽和槽バブリング方式 加湿源：純水又は精製水 温度範囲 ：+5～+80℃　※特注チャンバー（別売）により-10～+180℃も可能 温度安定性：±0．5℃以内（飽和槽内） 湿度範囲：10～90％rh　※ただし-36～+80℃DP以内 湿度安定性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社第一科学

冷窒素ガス装置

ガスの種類を問わず、自在に温度コントロール！ダイレクト冷却方式を採用し…

『冷窒素ガス装置』は、熱拡散複合セラミック「CZ-80」を使用した 特殊熱交換器によって、ガス体の温度を冷却することができます。 空気から取り出した常温の窒素ガスをパイプラインを通じて、本機の 超低温（-100℃以下）の特殊熱交換器に接続して、 -50℃以下の 超低温度ガスに変換するダイレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社西研デバイズ

液体用マスフローコントローラ　LC-3000L series

当社独自センサにより各種液体流量を精密制御します

ローコントローラです。 0.01〜2.0g/min (C2H5OH換算) の流量制御が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。 【特長】 ○リンテック独自の周囲温度補償方式の流量センサによる長期流量安定 ○ボディ面幅28.6mm、バルブ一体型構造のコンパクト設計 ○汎用デジタルインターフェイスを装備（RS-485準拠） ○ピエゾアクチュエータ採用による高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

半導体プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

スパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

低濃度二酸化塩素ガス発生装置『SCL-3019LDC』

紫外線を照射し、低濃度二酸化塩素ガスを噴霧！一様流エアシャワーに設置い…

ワーメータにてカートリッジ交換時間を お知らせすることができます。 【特長】 ■低濃度 ■人や物への付着菌や、設置空間の浮遊菌を除菌 ■任意の空間の濃度をコントロールできる ■吸込み温度を制御し、好適温度にて二酸化塩素ガスを発生させられる ■既設ロッカーに流用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 三宝電機株式会社

バックプレッシャーレギュレータ『MODEL6800SERIES』

最大流量は0.8L/min、1L/min、10L/min！パネル取付に…

『MODEL 6800 SERIES』は、耐圧0.8MPa(G)のバックプレッシャー レギュレータです。 接続は標準がRc1/4で、オプションがRc1/8。環境温度は5～60℃です。 また、パネル取付に好適な入口出口配置で、一次側圧力を一定化します。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【標準仕様(一部)】 ■一次側設定圧力 　・6...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

ガス置換装置『GR-8NSO型シリーズ』

炉体開閉タイプを採用！無酸素ガス状態の確認が容易な製品をご紹介

メタン菌等 の培養が簡単に可能。専用の気密培養装置(加圧培養試験管)に針を刺すこと によって、ツマミ一つで真空排気と無酸素ガス注入加圧を行うことができます。 また、反応管はフロントパネルの温度調節器により、温度設定が容易で 適温に維持することが可能です。 【特長】 ■還元銅カラムの状態を、管状炉を開ける事により目視確認できる ■管状炉の反応管を通すことにより、混合ガス中の酸素...

メーカー・取り扱い企業： オルイー株式会社

フローメータ内蔵型ガス混合装置『PMG-1A』

配管をナイロンチューブで行う事で低価格を実現！優れた安定性と再現性を装…

確実容易で、本装置に接続する負荷の圧力に変動が 生じても安定した混合ガスが一定供給されるようになっております。 【特長】 ■安定性、再現性に優れたガス混合装置 ■優れた機密性 ■優れた温度特性 ■清浄性 ■定流量装置として使用可能 ■微少流量のガス流量制御が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

ガス精製装置『深冷吸着式ガス精製装置 Model-TKA』

-196℃で液化しないガスに適用可能！各種不純物を吸着除去します！

『深冷吸着式ガス精製装置 Model-TKA』は、液体窒素温度(-196℃)で 各種不純物を吸着除去します。 常温では吸着しないN2やCH4も吸着除去することができます。 当製品は、-196℃で液化しないガスに適用可能です。 【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

ANKOM RF　ガスプロダクションシステム

ワイヤレス（無線）方式によるガス生成量の計測

、セプタポート付き試料瓶を 使えば、実験中に液体の採取や、ヘッドスペース解析のためのガスを採取 することができます。 【特長】 ■測定データおよびグラフをリアルタイムに表示 ■測定した温度・気圧データはエクセルファイルで保存 ■設定した圧力で自動排気し、排気分を補正した累積圧力値を表示 ■発生したガスや試料の採取が可能 ■モジュールを最大50個まで追加できる拡張性　など ...

メーカー・取り扱い企業： 三紳工業株式会社

ワゴン型除菌装置　Weraser 奏（かなで）

ワゴン型除菌装置！二酸化塩素ガスを20ｍ/秒で放出！空間に素速く拡散し…

【重量】 約25kg （キャスターストッパ付き薬液重量は含まず） 【電源】 AC100V(60Hz 50Hz) （電源コード1.8mアース付き） 【消費電力】 380W 【動作温度】 2～40℃ （結露・凍結なきこと） 【タンク容量】 2ℓ 【薬液消費量(連続運転)】 2ℓ/3室の除菌 （室内容積250m3を二酸化塩素ガス濃度5ppmにした場合） 【最大風...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トラステック愛知 本社

除染システムの概要

ガス濃度は380ppmで固定！温度・湿度条件に基づいて、曝露時間を決定…

除染システムは、ガス発生機・ガス計測器・ガス回収機で構成されており、 ガスを室内に供給、室内の空気を吸引します。 ガス計測器(CDM-5)は、二酸化塩素ガス濃度の計測装置で、計測器Bで 吸引したガスが計測器Aに送られ、ガス濃度を測定。 ガス濃度はガス発生機にて表示され、供給するガスを調整します。 また、ガス回収機(CDR-SH)二酸化塩素ガスの回収装置で、活性炭フィルターで 二...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トラステック愛知 本社

高性能マスフローコントローラ　MC-3000L series

当社独自の自己温度補正方式（米国、日本特許）のセンサを採用した高性能デ…

独自の特許技術で1.0％S.P.の高精度を実現し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したデジタルマスフローコントローラです。 【特長】 ○高性能1.125インチサイズ・デジタルマスフローコントローラ 　 (ピエゾバルブ、高精度(S.P.保証）、デジタル制御） ○アナログマスフローコントローラとの互換性を維持 ○汎用インターフェースRS485が使用可能 ○標準でメタルシール...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

ローコストガス混合器『CUBE GMシリーズ』

必要最小限の構成により低価格を実現！安定した混合ガスの供給が可能！

ケージングなど 幅広い用途でご使用頂けます。 【特長】 ■マスフローコントローラ「C1000シリーズ」と制御電源「PA01PS」で 　構成したユニットタイプの低価格ガス混合器 ■圧力・温度の影響を受けにくく、安定した混合ガスの供給が可能 ■対応ガス種：不活性ガス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： エフコン株式会社 本社

超小型クリーン・ドライ・エア発生装置 Mini-CUBEシリーズ

大気圧露点-70℃以下のクリーン・ドライ・エアを供給！簡単操作の小型装…

【仕様(抜粋)】 ■エア発生量：10.0NL/min ■エア圧力：0.2MPa ■環境周囲温度：5～35℃ ■環境周囲湿度：10～80%RH ■装置寸法：310mm(W)×392mm(D)×310mm(H) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡

水素ガス発生装置『HK-Plusシリーズ』

FID、FPD検出器に必要な高純度水素ガスの供給源に最適！

：<0.1 ■流量（ml/min.）：250 ■最大供給圧力（kPa）：700 ■使用水：超純水もしくは純水 ■水タンク容量（L）：2 ■電源：AC100V/2.0A ■設置環境 　・温度：15～40℃ 　・湿度：0～80% ※結露しないこと ■寸法WDH（mm）：230×360×430 ■質量（kg）：20 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エアーテック

炭酸ガス発生装置

シロッコファン内蔵！ダイレクト連続放電点火装置で、着火が確実に出来ます…

ガスを有効利用すると共に、濃度も均一に することが出来ます。 【特長】 ■シロッコファン内蔵 ■一台で単棟に均一な濃度の炭酸ガスを供給することが可能 ■外部接点端子付で外部信号(濃度、温度)での制御運転が出来る ■各種安全装置を装備 ■ダイレクト連続放電点火装置で、着火が確実に出来る ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フィスカ

レヒラー社製縦軸型フルコーンノズル（型番：419）大流量タイプ

≪Lechler≫独自構造で特許取得済490/491型番の大流量タイプ…

材質：SUS316L（鋳造） 最大使用温度：400℃ 推奨圧力：0.1MPa（最大圧力1MPaまで）...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社 本社

EtherCAT対応マスフローコントローラ　MC-5000C

EtherCATに対応した高精度マスフローコントローラです

当社独自の自己温度補正方式のセンサを採用（米国、日本特許）し、各種面実装規格（1.125インチ）に対応したEtherCAT対応のマスフローコントローラ 【特長】 ○デジタルインターフェイスのデジタルマスフロー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

VD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、 粒子法を用いたプラズマ・希薄流体…

VD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

スパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はマグネトロンスパッタ装置を得意とする …

VD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする 粒…

スパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

CVD装置用　解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする 粒子…

スパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

VD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」RFマグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「RFマグネトロンスパッタ解析」…

ルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:CCPによるクリーニング処理

Particle-PLUS解析事例紹介「CCPによるクリーニング処理」…

ルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

事例:Particle-PLUS:GEC-CCP装置プラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「GEC-CCP装置のプラズマ解…

ルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズ…

D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとしてカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「AC マグネトロン…

VD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

VD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS:誘電体標的のRFマグネトロン

Particle-PLUS解析事例紹介「誘電体標的のRFマグネトロンス…

ルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」2周波CCPのプラズマ解析

Particle-PLUS解析事例紹介「2周波CCPのプラズマ解析」シ…

ルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

Particle-PLUS解析事例紹介 "容量結合プラズマ（CC…

VD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 「対向ターゲット式ス…

VD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマ…

VD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

VD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介 外部回路としてπ 型マッ…

VD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

「Particle-PLUS」は 真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

VD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

VD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…

VD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社