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卓上ホットプレート 2モデル <250℃仕様/350℃仕様>
コンパクトでありながら、高性能。 幅広いプロセスに対応。
のプロセス開発においては、 ホットプレートの性能が、プロセスパフォーマンスを見極める大きな要因となります。 タイマー制御のピンアップ機構により、正確な時間管理を実現。 ウェーハ間の均一な熱処理を可能にしました。 標準250℃モデルに加え、高温350℃モデルもご用意。 また、処理前後に均一な冷却が必要な場合は、卓上クールプレートも ご利用いただけます。 【特長】 ■高精...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社 SCREEN SPEサービス
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