株式会社三明本社／静岡市、支店／東京・沼津・中部・大阪、営業所／横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸

株式会社三明　会社案内

最高の品質と心のこもった行動でお客様の満足を追求するFA技術商社です

(株)三明は静岡市の清水区に本社を構えるFAソリューションプロバイダです。 国内外に支店・営業所を16ヵ所設けており、その土地に沿ったご提案が可能です。 グループ会社である「制御エレクトロニク…

検査をロボットで！ニーズに合わせたロボットと検査カメラを組合わせ

現場のお悩みに合わせたロボットシステムをご提案いたします

検査をロボットで行うことにより、 検査だけでなく他の作業も連続して行うことが可能となります。 パレタイジングや組立、整列など、プラスの作業によって従業員の負担軽減が見込めます。 人と同じ空間…

三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト】シリーズ

研究開発から、小LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」のローコストな露光装置/マスクアライナーをご提案！

　株式会社三明では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「LAシリーズ片面マスクアライナー」や、 両面プロセスのローコストアシストモデル「BAシリーズ正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスの …

新自動化・少人化提案！無軌道AGVに人協働ロボットを搭載

ワイヤレス給電による24時間連続運転で工場内の自動化を進めませんか？磁気テープ不要のライダースラム方式マッピングでレイアウト変更

ニデックドライブテクノロジー（旧日本電産シンポ）製AGV「S-cart」に 安川電機製人協働ロボット「MOTOMAN-HC10」を搭載した移動型人協働ロボット『AGBOT』をご提案いたします。 …

マニュアル両面マスクアライナー『BA100/160/200』

露光光源照度分布は±5％以内！デスクトップ型と自立型のモデルをラインアップ

『BA100/160/200』は、上下両面に高位置精度パターニングするマニュアル型の両面マスクアライナーです。 デスクトップ型でウェハサイズ4inの「BA100」と6inの「BA160」に加え、…

半自動露光装置『半自動マスクアライナー』

4inと8inサイズをご用意！アライメント露光が可能な多品種量産用半自動露光装置！

株式会社三明で取り扱っている『半自動マスクアライナー』をご紹介します。 当製品は、露光光源が照度分布±5％以内の多品種量産用半自動露光装置です。 自動ギャップ調整から手動アライメント、自動…

量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』

サイズは4inと8inをご用意！〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております

当社が取り扱う量産工程用露光装置『全自動マスクアライナー』を ご紹介します。 シンプル構造で低価格を実現。 〇型□型試料に対応した高い汎用性を有しております。 4inサイズの「ALA4…

ムラビューワー

ナノクラスの微細な変化も見逃さない！半自動で欠陥を判別して可視化することが可能

『ムラビューワーシリーズ』は検査の常識を変える 「見えない・見えにくい」欠陥を「くっきり・鮮やかに」に 確認できる新感覚のスコープです。 ガラス・水晶・サファイア等の表面に残るナノサイズの微…

PECプロセス装置

シンプル構造で低価格を実現！GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹介

当社が取り扱う『PECプロセス装置』をご紹介します。 光源・波長はUVA、UVCから選択でき、エッチング溶液加熱により 高速な深堀エッチングが可能。 タッチパネル入力でエッチングリンスを…

UVナノインプリントステッパー

2～8インチウェハ対応！デバイス製作に必要な高精度アライメントを備えています！

当社が取り扱う『UVナノインプリントステッパー』をご紹介します。 大型樹脂モールドを使用したロール転写方式で、一括全面転写が可能。 また、高精度な転写圧力制御で、追加オプションとして加熱機…

ウェハ・エッジビューワー『SIM-2300EG』

録画機能搭載！貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対応

『SIM-2300EG』は、録画機能搭載のウェハ・エッジビューワーです。 ウェハの薄さが求められる昨今のプロセスで、バックグラインド時の 「チッピング」や「クラック」、貼合せ時の「異物付着」や…

カスタマイズ対応検査装置『SIM 3000』

300mm×300mmサイズなどの大型ワークに対応！カスタマイズ可能なベースモデル

『SIM 3000』は、お客様のご要望に応じて、様々な機能をカスタマイズする ことが可能な、カスタマイズ対応検査装置のベースモデルです。 1μmサイズの異物、欠損、キズ、ムラなどを自動検出。 …

スプレーコーター

立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応！水や低粘度液体から高粘度液体まで微細化

『スプレーコーター』は、低粘度から高粘度の薬液に対応し、 微細な凹凸に塗布ができます。 微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、 キャビティ、トレンチ構造部分など、…

アライメントシステム『Cuty-Aligner-Man』

各種アプリケーションにも対応！面倒な設計を解決し、そのまま簡単に手動操作できます

『Cuty-Aligner-Man』は、アライメント用UVW軸ステージを手動で操作する スタンドアロン-システムです。 面倒な設計を解決し、そのまま簡単に手動操作可能。操作方法は 「Joy …

エンコーダ付きステッピングモータでサーボモータ並みの精度を実現

『Si servo3』は2相ステッピングモータにエンコーダを取り付け サーボ並みの精度に引き上げた「ステッピングサーボ」です。

専用ソフトウェア使用により上位コントローラレスで動作可能。 サーボ制御により位置情報および速度情報を高精度にフィードバックし 脱調レスで高精度な位置決めと滑らかな動作が可能です。 動…

パラレルリンク・アクチュエータ『PRMシリーズ』

コンセプトは「ダレデモ」！生産状況の変化に即応した体制の構築が可能

『PRMシリーズ』は、手軽に使えるアクチュエータ感覚のパラレルリンクです。 小型軽量ですので、デスクの上を作業台としてすぐにでも使用することが可能。 ロボットのように安全柵や、安全管理責任者の…