クリーンルーム連続監視システムソフトウェア「CMS」

製造ライン及び製造装置の清浄度測定に最適。多点清浄度監視システム。

本システムは、半導体、液晶、精密電子部品、製造装置、医薬品、食品等の製造ラインおよび製造装置内の清浄度を、各測定ポイントに設置し、連続監視データを通信によりモニタリングソフトウェア(CMS)にてデータを取込むシステムです。 清浄度監視システムは、「CMS」の標準版とPart11対応版2種類をご用意しております。 チューブ切替式（マニホールド式）との混在システムも可能です。 温度、湿度、差圧、...

メーカー・取り扱い企業： トランステック株式会社

パーティクルセンシングモニター『AES-FPシリーズ』

精密部品の製造工程やクリーン度が必要な作業環境における空気清浄度管理の…

『AES-FPシリーズ』は、クリーンルームやクリーンブース、半導体・フィルム・食品の製造工程、印刷工程、病院施設などの清浄度管理を求める環境で、0.3μm（もしくは0.5μm）以上の粒子の常時監視が可能なモニターです。クラス（Class）値で浮遊粒子の見える化に対応し、HACCP管理にも役立ちます。センサユニットは、生産装置等への組み込み用途にも適したコンパクト設計で、狭小スペースへの設置が可能で...

メーカー・取り扱い企業： 神栄テクノロジー株式会社